P-611.1 ｜ 小型ピエゾステージ

小型ピエゾステージの製品概要

44x44mmのコンパクト設計でナノメートルの精度！超高性能小型ステージ

P-611.1ピエゾステージは、わずか44×44mmのフレクシャガイドナノポジショニングシステムです。このシステムは、コンパクトなサイズにも拘わらず、サブナノメートルの分解能で最大120μmのストロークを実現しています。これらの製品は、干渉計の光路長補正、顕微鏡や走査アプリケーションにおけるサンプル位置決めなどに適しています。特徴として、セラミックコーティングを施したピエゾドライブ、そして静止摩擦／動摩擦のないフレクシャガイドシステムを備えています。P-611ピエゾステージはすべて、ナノメートルの精度
と比類なき信頼性でミリセカンドの応答を実現します。

この製品の利用用途

● マイクロ機械加工
● 顕微鏡
● マイクロマニピュレーション
● 半導体試験