P-561 ｜ PIMars™ XYZ軸開口部付ピエゾステージ

PIMars™ XYZ軸開口部付ピエゾステージの製品概要

66×66mmのセンター開口部は光透過式アプリケーションに最適！最大６軸のカスタマイズも可能！

PIMars™ピエゾステージは、高速かつ高精度の多軸スキャニング／ナノポジショニングシステムで、ナノメートルレンジの平坦度と直進度を誇ります。66×66mmのセンター開口部は、ニアフィールド走査／共焦点顕微鏡やマスク位置決めなどの、光透過式アプリケーションに最適です。

この製品の利用用途

● 走査型顕微鏡
● マスク／ウェハー位置決め
● 干渉計
● 各種計測
● バイオテクノロジー
● マイクロマニピュレーション