P-517~P-527 ｜ 多軸開口付ピエゾステージ

多軸開口付ピエゾステージの製品概要

サブナノメートルの分解能！多軸ステージ

高い動作性をもつP-517およびP-527多軸ピエゾナノポジショニングステージは、XYθZ、XY、およびXYZの構成で、リニアストロークが最大200×200×20μm、回転レンジは最大4mradの範囲での位置決めが可能です。66×66mmのセンター開口部は光透過式アプリケーションに最適です。同じサイズのZ/チップ/チルトバージョンとして、モデルP-518、P-528、およびP-558が有り、また、最大6軸のステージ製品があります。

この製品の利用用途

● メトロロジー
● 干渉計
● 光学
● リソグラフィ
● ナノポジショニング
● 走査型顕微鏡
● マスストレージ装置試験
● レーザーテクノロジー
● マイクロ機械加工