Physik Instrumente メーカー公式情報
N-216 ｜ NEXLINE® ハイパワーピエゾナノステッピングドライブ
NEXLINE® PiezoWalk®ドライブによるロングストロークと高分解能、高剛性ステージ
NEXLINE® ハイパワーピエゾナノステッピングドライブ の販売情報
NEXLINE® ハイパワーピエゾナノステッピングドライブの製品概要
NEXLINE® PiezoWalk®ドライブによるロングストロークと高分解能、高剛性ステージ
■ ストローク：20mm
■ 分解能：0.03nm（オープンループ）、
5nm（クローズドループ）
■ 保持力最大800N
■ 静止時に自動ロック
■ 非磁性および真空対応の動作原理
■ クリーンルーム対応
この製品の利用用途
● 半導体製造
● 半導体の試験
● ウェハー検査
● ナノリソグラフィ
● ナノインプリント
● ナノ計測
● アクティブ振動ダンピング
● 強磁場での動作
NEXLINE® ハイパワーピエゾナノステッピングドライブの詳細情報
| メーカー | Physik Instrumente |
|---|---|
| メーカー製品情報ページ | https://www.pi-japan.jp/ja/products/linear-actuators/piezowalk-actuators-with-high-force-and-stability/n-216-nexline-linear-actuator-1000765/ |
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