A-523 ｜ 高精度 Z Tip/Tilt エアベアリングステージ A-523

高精度 Z Tip/Tilt エアベアリングステージ A-523の製品概要

1枚の薄型プラットフォームで、3軸動作可能な高精度エアベアリングステージ

ダイレクトドライブ式の高精度Zチップ／チルトエアベアリングステージ。

パラレルキネマティック方式の多軸システムとして設計されており、Zおよびチップ／チルト動作で使用できます。

小型で超高精度を実現したほか、非接触部品の組合わせにより、摩擦のないモーションプラットフォームによって優れた性能・品質・寿命を提供します。

コントローラ「A-81x／A-82xシリーズ」と組合わせると、サーボチューニングの最適化と負荷をかけた状態でZステージの構成と配線が行え、すぐに使用が可能です。

【特徴】
・トラベルレンジ： Z軸±2.5 mm、θX, θY軸 ±1°
・耐荷重：8 kg
・プラットフォーム：直径 250 mm
・高さ：60 mm

※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

この製品の利用用途

・ウェーハ検査
・ファイバー位置決め
・光学系位置決め
・フラットスクリーン検査
・マスクレスリソグラフィー
・マイクロLED製造
・などの高精度アプリケーション