A-311 ｜ XY軸エアベアリングステージ A-311

XY軸エアベアリングステージ A-311の製品概要

スキャンアプリケーションや高精度の位置決めに最適

エアベアリングを備えた高精度XY平面スキャナーで、フラットなデザインにより積み重ねられたXYステージ。効率的でコンパクトな設計で、設置スペースが限られている機械のスペースを節約することが可能。

・スキャンアプリケーションや高精度の位置決めに最適
・クリーンルーム対応
・移動範囲は300mm×300mm
・147Nまでの耐荷重
・1nmまでの解像度

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