A-110 ｜ 直動エアベアリングステージ A-110

直動エアベアリングステージ A-110の製品概要

スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適

磁気的にプリロードされた空気ベアリングおよび内蔵光学リニアエンコーダーによるリニアサーボモーター駆動です。

これらの非接触部品を組み合わせることにより、最高のパフォーマンス、品質、製品寿命を持つ無摩擦モーションプラットフォームが実現しました。

エアベアリングステージシリーズには、「XY軸小型エアベアリングステージ」、「XY軸大型エアベアリングステージ」、「エアベアリングロータリーステージ」などもございます。

【特長】
・非接触完全プリロード空気ベアリング
・スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適
・クリーンルームに対応
・カスタマイズ可能
・内蔵光学リニアエンコーダー

【主な仕様】
・テーブルサイズ：160mm×200mm
・移動長さ最大：400mm
・最大ペイロード：10kg
・非接触完全プリロード空気ベアリング
・アイアンレス コギングフリー リニアモーター
・内蔵光学リニアエンコーダー
・最大分解能：1nm
・最大速度：1m/sec
・最大加速度：3g

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

この製品の利用用途

・計測
・光学アライメント
・半導体
・フラットパネルディスプレイ
・高精度スキャニング
・クリーンルームでの使用　など