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111-47703 | ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA-30D

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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA-30D の販売情報

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111-47703

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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA-30Dの製品仕様

スペック 【仕様】
型式:DA-30D
排気速度:50Hz 30L/min、60Hz 36L/min
到達圧力:6.7×103Pa
電源:1φ100V(50/60Hz)
質量(kg):11.8
吸気管径(0.0φ×I.Dφ):9.0×5.0
最大寸法(W×L×H):212.0×278.0×245.0

※サーマルプロテクター(内蔵)

■特長
クリーンな真空が得られるダイアフラム型(半導体製造などにおけるクリーンルーム内での使用については使用条件をお問い合せください)
・低騒音・低振動
他の方式に比べ低騒音・低振動を実現。
■用途
・真空チャック、ウエハー吸着搬送、フィルム吸着
・自動機械用、放送機械用、光学機械用
・真空ピンセット、医療機器用、印刷機械用
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