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111-47701 | ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA-20D

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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA-20D の販売情報

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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA-20Dの製品仕様

スペック 【仕様】
型式:DA-20D
排気速度:50Hz 20L/min、60Hz 24L/min
到達圧力:5.3×103Pa (アンローダーバルブ付)9.3×101Pa
電源:1φ100V(50/60Hz)
質量(kg):7.2
吸気管径(0.0φ×I.Dφ):9.0×5.0
最大寸法(W×L×H):118.0×236.0×184.0

※サーマルプロテクター(内蔵)
※アンローダーバルブ(オプション)

■特長
クリーンな真空が得られるダイアフラム型(半導体製造などにおけるクリーンルーム内での使用については使用条件をお問い合せください)
・低騒音・低振動
他の方式に比べ低騒音・低振動を実現。
■用途
・真空チャック、ウエハー吸着搬送、フィルム吸着
・自動機械用、放送機械用、光学機械用
・真空ピンセット、医療機器用、印刷機械用
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