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111-47704 ｜ ダイアフラム型ドライ真空ポンプ　ＤＡ－６０Ｓ

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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ　ＤＡ－６０Ｓ の販売情報

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111-47704

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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ　ＤＡ－６０Ｓの製品仕様

スペック 【仕様】
型式：DA-60S
排気速度：50Hz 60L/min、60Hz 72L/min
到達圧力：21.3×103Pa
電源：1φ100V（50/60Hz）
質量（ｋｇ）：11.8
吸気管径(0.0φ×I.Dφ）：9.0×5.0
最大寸法（W×L×H)：212.0×278.0×245.0

※サーマルプロテクター（内蔵）

■特長
クリーンな真空が得られるダイアフラム型（半導体製造などにおけるクリーンルーム内での使用については使用条件をお問い合せください）
・低騒音・低振動
他の方式に比べ低騒音・低振動を実現。
■用途
・真空チャック、ウエハー吸着搬送、フィルム吸着
・自動機械用、放送機械用、光学機械用
・真空ピンセット、医療機器用、印刷機械用
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