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スペック | 【仕様】 型式:DA-30D 排気速度:50Hz 30L/min、60Hz 36L/min 到達圧力:6.7×103Pa 電源:1φ100V(50/60Hz) 質量(kg):11.8 吸気管径(0.0φ×I.Dφ):9.0×5.0 最大寸法(W×L×H):212.0×278.0×245.0 ※サーマルプロテクター(内蔵) ■特長 クリーンな真空が得られるダイアフラム型(半導体製造などにおけるクリーンルーム内での使用については使用条件をお問い合せください) ・低騒音・低振動 他の方式に比べ低騒音・低振動を実現。 ■用途 ・真空チャック、ウエハー吸着搬送、フィルム吸着 ・自動機械用、放送機械用、光学機械用 ・真空ピンセット、医療機器用、印刷機械用 |
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