東京精密_三次元座標測定機 ZEISS PRISMO®

三次元座標測定機 ZEISS PRISMO® PRISMO® 幅広い環境条件下で安定した NEW ⾼精度・⾼速測定を実現する スタンダードタイプ 精度・耐環境性・速度・汎用性、 全てを兼ね備えた三次元座標測定機 Linecan2 VAST XTR VAST XT （オプション） gold （オプション）ROTOS VAST ZEISS ViScan RDS （オプション） （オプション） XXT DotScan（オプション） （オプション） VAST（オプション（）オプション） gold スタイラス自動交換システム （標準…※画像は一部オプション含む） ⾼精度と耐環境性を⾼レベルで両⽴ 精度保証温度範囲 15 〜 30 ℃ (7/9/5 〜 9/24/7 サイズ） 保証精度E0, MPE = 0.9+L/350 μmを実現。さらには15 〜 30℃の幅広い温度環境下においてもE0, MPE=1.2+L/250 μmという高い精度を誇ります。（7/9/5 〜 9/24/7 サイズ） 8 Coordinate Measuring Machine

カ ー ル ツ ァイ ス シ ZEISS PRISMO® シリーズ共通の特長 リ ー ズ 高 精 度 ガイドの伸縮に影響されないスケール保持方法 固定端 ローラーによる自由支持点 ⾼精度・⾼速でのスキャニング エアベアリングによる4 方向 温度変化によるガイドの伸縮 測定を実現するアクティブス からのガイド支持で駆動時の に影響を受けない独⾃のフロー キャニングセンサ VAST gold ねじれを防止 ティングスケール保持方式 ZEISS PRISMO®シリーズが標準搭載している測 各軸ガイドを上下左右の4 方向からエアベアリ 各軸のスケールを、一方をガイドに固定し、も 定用センサ VAST gold は、測定力を常に一定 ングで支持することで、駆動時の測定機のねじ う一方を開放して取り付ける独⾃方式により、 に保ち、さらに測定力の掛かる方向もワーク表 れを抑制。ねじれが抑制されることで安定した 温度変化によるガイド伸縮の影響をスケール 面に対して法線方向になるよう制御することが 駆動を⾏えるため、高速でも高精度に測定する が受けない構造です。さらに、スケールそのも できます。この測定力の制御により、スタイラ ことができます。 のにも熱による伸縮が極めて小さい素材を採 スのたわみ量を最小かつ一定に抑えて補正し、 用。精度に直結するスケールだからこそ、万全 高精度・高速でのスキャニング測定を実現し の熱対策を施しています。 ます。 (µm) 温度膨張の誤差要因 12.5 11.5 温度膨張率の不確かさ 温度測定誤差 10 ※スケール温度分布の偏り 8 テスト条件 : 温度変化 2℃、測長長さ 500mm のとき 6 5.6 スケール 4.33 4 2.03 Zerodur®＊ 0.05 0 2 -0.33 スチール 0.50 0.58 0 Aluminium Titanium Steel CFK Standard CFK ThermoFit アルミニウム チタン スチール 従来カーボン サーモフィット Glass 0.50 1.95 -2 in µm 温度変化による伸縮量の比較 温度膨張の誤差要因比較 （1…℃温度変化時の 500…mm あたりの各材質伸縮量：μ m） ブリッジ部に温度変化の影響が極めて少ない 環境温度に左右されない測⻑システム 材質を使用 ZEISS PIRMO® ultra/verity/fortis は、各軸のスケール素材に熱膨張係 数がほぼゼロに等しい Zerodur® ( ゼロデュア、熱膨張係数はスチール ブリッジの Y 軸左側にはカーボン素材 ThermoFit® を、その他の部分 の約 1/230）を採用。高精度測定や精度保証温度範囲の拡大を実現し にはセラミック素材を採用。どちらの素材も高剛性で軽量、かつ熱膨 ています。 張係数が低いため、駆動や温度変化によるブリッジの歪みを最小限に * スタンダードタイプの ZEISS PRISMO® は、熱膨張係数が小さいガラスセラミック 抑制することができます。 素材をスケールに使用 Coordinate Measuring Machine 9

三次元座標測定機 ZEISS PRISMO®シリーズ 高効率 スキャニングパラメータの新設定により、スキャニング測定速度が 2 倍以上に大幅アップ スキャニングパラメータの見直しにより、従来機の円測定時の速度をあらゆる形状測定時に発揮できるようになりました。大幅な測定速度の向上によ り、さらなる検査の効率化を実現します。 「VAST Navigator」により⾼精度かつ⾼速 「VAST Performance」 FlyScan 機能により でスキャニング測定 穴や切り欠き形状を気にせずスキャニング (VAST gold/XT gold/XTR gold 使用時 ) 測定 (VAST gold/XT gold/XTR gold 使用時 ) 測定移動時に変化する力（加速度）によるスタイラスや測定機の変形 切り欠き形状部をまるで連続面であるかの如くスキャニング測定でき をリアルタイムに補正できるNavigator 機能を搭載。高速スキャニン る機能です。切り欠きのあるワークピースの内外周や穴壁面の測定、 グ測定時の精度を格段に高めることができ、信頼性の高い測定を短時 平面度評価において凹形状部を避けることなく測定でき、絶大な時間 間で⾏える優れた技術です。 短縮を可能にします。 10 Coordinate Measuring Machine

カ ー ル ツ ァイ ス シ リ ー ズ 高効率 新機能「ZEISS VAST Rotary Table Axis (ZVRA、オプション ) 」により ロータリテーブルの設定を⾼速化 ZEISS VAST Rotary Table Axis は、ロータリテーブルを用いた測定の前に⾏う設定（回転軸の定義）を、簡単かつ短時間で実施できる機能です。通常の方 法でははロータリテーブル上に設置した校正球を 60°ごと、つまり6 ポジションで各 6 回ずつ、計 36 回プロービングする必要がありますが、 ZEISS VAST Rotary Table Axisでは、ロータリテーブル天板上のくぼみにスタイラスの先端を差し込み、そのままテーブルを 1 周回転させるだけで設定が完了します。 *ZEISS VAST Rotary Table Axis の使用には、VAST gold センサおよびスタイラス差し込み用のくぼみのあるロータリテーブル RT-AB 用の天板が必要です 「CALYPSO VAST probing」により 「VAST Performance」 QuickChange 機能 ポイント測定を⾼速化 によりスタイラス交換を⾼速化 ワークピースへのコンタクトから測定値の取り込みまでの時間を通常 スタイラス交換動作を測定機の最高速度で⾏うことのできる機能で よりも短くとることで、ポイント測定の所要時間を大幅に短縮できる機 す。ワークピースの形状が複雑な場合など、複数のスタイラスシステム 能です。本機能のオン / オフの切り替えも簡単に⾏え、高精度測定が必 を頻繁に交換しながら測定する際に検査工程のタクトタイム短縮に貢 要な箇所は通常の測定モードで、素早く測定したい箇所は CALYPSO 献します。 VAST probing で測定することで、素早くかつ適切な測定結果を得るこ とができます。 Coordinate Measuring Machine 11

三次元座標測定機 ZEISS PRISMO®シリーズ 高汎用性 「mass テクノロジ」により接触・非接触問わず様々なセンサを搭載可能 測定機 1 台で様々な測定センサを付け替えられるmass (multi application sensor system) テクノロジを搭載。 標準搭載の VAST gold による高精度アクティブスキャニング測定から、ラインレーザセンサ LineScan2 による⾃由曲面の高速非接触測定、⽩⾊光距 離センサ DotScan による鏡面やエッジの非接触測定や透明体の厚み測定、さらには VAST gold に接続できるセンサ ROTOS による表面粗さ測定まで、 多様な測定ニーズに対応できる優れた汎用性を備えています。 ロータリテーブルで複雑形状ワークを ⾼精度かつ効率的に測定 ( オプション ) 測定機本体の 3 軸とロータリテーブルの回転軸を同期する4 軸スキャニング測定により、⻭⾞やインペラ、航空機エンジンブレードなどの複雑形状の ワークを、回転させながら最小限のスタイラス構成で測定できます。複雑形状の高精度測定、スタイラスコストの削減、さらにはスタイラス交換回数 減による測定時間の短縮も実現できる一石三鳥のオプションです。 12 Coordinate Measuring Machine

カ ー ル ツ ァイ ス シ リ ー ズ 高安全性 ⾼速測定と安全性を両⽴ 予期せぬ事故を防止 測定機と一体化した安全装置 (レーザスキャナ ) 安全性を⾼めた新カバー 高速移動時の安全性を考慮し、レーザスキャナによる安全機構を本体 ZEISS PRISMO family は、ドイツ製品安全法（ProdSG）やその他の安 に統合。スキャナの検知エリアに人や物が侵入すると⾃動で減速し、 全衛生要件に基づき製品の試験を⾏う DGUV ( 社団法人ドイツ法定災 人や物が検知エリアの外に出ると高速移動を⾃動で再スタートします。 害保険 ) による認証を取得しています。その取得に際してカバー類を 一新しており、可動部の隙間を削減したほか、ねじ頭部がカバーから 飛び出さないよう改良しました。 エコロジカル & エコノミカル エア供給の “アイドリングストップ ” 電源の “ ⾃動 ON/OFFタイマー ” 「ZEISS AirSaver」 新機能「ZEISS PowerSaver」 ⾃動⾞のアイドリングストップのように、本体待機時に圧縮空気の供給 予め曜日や日にちに特定の時刻を設定しておくことで、測定機の電源 を⾃動的に停止する機能です。ジョイスティック操作や CNC 測定の開 を⾃動で ON/OFF できる機能です。この機能を活用することで、例え 始時には、圧縮空気の供給を⾃動的に再開します。不必要なエア消費 ば、オペレータ出勤時間前に電源 ON、それまでは電源 OFF の設定を を抑えることで電力消費を低減でき、ランニングコスト削減につながり することにより、温度ならしのために夜間測定機の電源を入れたまま ます。 にしたり、オペレータが早朝に出勤し電源を入れたりする必要がなくな ります。 Coordinate Measuring Machine 13

三次元座標測定機 ZEISS PRISMO® ultra PRISMO® ultra 最⾼水準の⾼精度を実現 NEW ZEISS PRISMO® シリーズ最上位モデル “妥協のない精密技術” 高精度部品の研究開発や基準ゲージの校正検査など、… 極めて高い精度を要求される測定に応えるために誕生した… 三次元座標測定機 LineScan2 RDS （オプション）（オプション） VAST VAST ZEISS ViScan gold XXT DotScan （オプション） （オプション）（オプション） スタイラス自動交換システム （標準…※画像は一部オプション含む） 最⾼水準の⾼精度を実現 素材に Zerodur Ⓡを採用した超⾼分解能 超高分解能スケールの搭載や、温度変化による スケールを搭載 測定結果への影響を最小化する様々な技術により ZEISS PRISMO®シリーズで最も高い分解能 E0, MPE = 0.5+L/500 μm の高精度を実現 0.02 μmスケールを各軸に搭載。さらに、スケール素材には しています。 熱膨張係数の極めて小さい Zerodur®( ゼロデュア ) を採用しており、 環境温度の変化による精度への影響を最小限に抑制します。 14 Coordinate Measuring Machine

カ ー ル ツ ァイ ス シ リ ー ズ ⾼精度を実現する、進化した CAA 補正技術 ガイドの真直度誤差を 64 の格子に細かく分割して補正するFineCAA を採用。 さらに、校正時に測定力を変えて同一箇所を複数回プロービングする ことでスタイラスや校正球のたわむ度合いを求める「テンソル校正」 により、測定結果からたわみ誤差を取り除くことで高精度測定を実現し ています。 温度変化による測定結果への悪影響を 最⼩化 定盤の前面・後面の上下に搭載した温度センサで定盤に生じている 温度勾配を検出。 CAA による補正方法を拡張して温度変化による定盤のゆがみを補正 定盤前面・後面の温度センサ します。さらに、測定機底面に断熱材を用いることで、床からの熱放射 を遮断し測定結果への影響を防ぎます。 測定機底面の断熱材 振動や傾きによる精度への影響を防止する アクティブダンピングシステム エア式のアクティブダンピンシステムを標準搭載しており、測定機を常 に水平に保ち、床からの振動伝達を低減。 振動や測定機の傾きによる測定結果への影響を抑えた、信頼性の高 い測定を実現します。 Coordinate Measuring Machine 15

三次元座標測定機 ZEISS PRISMO® verity PRISMO® verity PRISMO® ultra のノウハウを注入し NEW 精度向上を実現した 1ランク上の⾼精度タイプ ZEISS…PRISMOⓇ…の精度をさらに向上 従来よりも1ランク上の高精度測定を実現する 高精度三次元座標測定機 Linecan2 （オプション） VAST XTR VAST ZEISS ViScan RDS gold ROTOS XXT DotScan （オプション） （オプション） （オプション（）オプション） VAST（オプション）（オプション） gold スタイラス自動交換システム （標準…※画像は一部オプション含む） 温度変化による影響が極めて⼩さい Zerodur ®スケールを搭載 各軸のスケール素材に熱膨張係数の極めて小さな Zerodur®( ゼロデュア) を採用しており、環境温度の変化による精度への影響を最小限に抑制することで 極めて高い精度を実現しています。 16 Coordinate Measuring Machine

カ ー ル ツ ァイ ス シ リ ー ズ ZEISS PRISMO Ⓡ ultra の補正技術を継承し、⾼精度化を実現 シリーズ最上位機種ZEISS PRISMO® ultraで⻑年培ったノウハウをもとに改良したCAA補正技術により、 高い精度を誇るZEISS PRISMO® をさらに上回る高精度 E0, MPE = 　0.7+L/400 μmを実現しています。 (7/9/5・9/12/7・9/15/7・9/18/7 サイズ、19 〜 22℃ ) 超高精度タイプ ZEISS PRISMOⓇ ultraと、スタンダードタイプ ZEISS PRISMOⓇの中間に位置する 高精度タイプの測定機です。 Coordinate Measuring Machine 17

三次元座標測定機 ZEISS PRISMO® fortis PRISMO® fortis 現場設置・オートメーションと NEW ⾼精度を両⽴した現場対応タイプ ZEISS…PRISMOⓇの耐環境性をさらに高め、 精度保証範囲を18 〜 40℃まで拡大 厳しい温度環境下への設置が可能な 現場対応型高精度三次元座標測定機 Linecan2 （オプション） VAST XTR VAST ZEISS ViScan gold RDS ROTOS XXT DotScan（オプション） （オプション） （オプション）（オプション） （オプション（）オプション） VAST gold スタイラス自動交換システム （標準…※画像は一部オプション含む） 精度保証温度範囲を 18 〜 40℃に拡大し、生産現場への設置に対応 ZEISS PRISMO® fortis は、シリーズ 最 上 位 機 種 の ZEISS PRISMO Ⓡ ultraと同じく、定 盤 の 前 面・ 後 面 の 上 下 に 搭 載した 温 度 センサを搭 載。 温度勾配によって生じる僅かな定盤の歪みまで補正することができます。さらに、熱膨張係数が極めて小さい Zerodur（® ゼロデュア） スケールの搭載と合わせ、高精度でありながら温度環境の過酷な生産現場でも使用できる、広い精度保証温度範囲を実現しました。 生産現場でも安定した測定が可能な U-Stone 仕様（オプション） アクティブダンピングシステム Loading Systemと組み合わせた際にも十分な アクティブダンピングシステムを搭載し、現場環境で 測定範囲を確保できる、U 字型の定盤を搭載した 生じる振動の測定結果への影響を低減します。 U-stone 仕様をご用意しています。 18 Coordinate Measuring Machine

カ ー ル ツ ァイ ス シ リ ー ズ Loading System により、ワークの搬送や設置の⾃動化に対応（オプション） ●個別のご要望に応じてカスタマイズしご提案いたしますので、詳細は弊社営業担当までご相談ください。 ブレードなど航空機部品の測定を大幅に効率化 NEW! 新モデル ZEISS PRISMO Ⓡ 7/12/7 fortis aero ZEISS PRISMO Ⓡ fortis に、当 モ デ ル に の み 搭 載 される新 機 能「ZEISS VAST Rotary Table(ZVR)」と埋込型ロータリテーブル RT-AB( 天板φ315 or 400 mm) を加えた新モデルが登場。ZEISS VAST Rotary Table はロータリテーブルの回転 速度を大幅に向上する機能で、ロータリテーブルを利用した 4 軸スキャニング 測定の高速化により、ブレードやブリスクといった航空機部品をきわめて効率よ く測定することができます。 ● Z EISS VAST Rotary Table使用時のロータリテーブル回転速度 最大 　58 % UP 　※慣性モーメント≦ 8 kgm2 時 最大 340 % UP 　※慣性モーメント≦ 1 kgm2 時 ● ブレード断面測定時間の一例 最大 　70% 削減 Coordinate Measuring Machine 19

三次元座標測定機 ZEISS PRISMO®シリーズ 仕 様　ZEISS PRISMO® ZEISS PRISMOⓇ ZEISS PRISMOⓇ 型式 7/9/5 7/9/7 9/12/7 9/15/7 9/18/7 9/24/7 12/18/10 12/24/10 12/30/10 12/42/10 16/24/10 16/30/10 16/42/10 X (mm) 700 700 900 1200 1600 測定範囲 Y (mm) 900 900 1200 1500 1800 2400 1800 2400 3000 4200 2400 3000 4200 Z (mm) 500 650 650 1000 1000 最大許容長さ測定誤差 E0, MPE , E150, MPE (μm) 0.9+L/350… 0.9+L/350… 0.9+L/350… 1.5…+…L/350… 2.0…+…L/300… (1.2+L/250) (1.2+L/250) (1.2+L/250) (1.8…+…L/300) (3.4…+…L/270) 繰返し範囲の最大許容限界 R0, MPL (μm) 0.8 0.8 0.8 1.1 1.5 VAST gold/ 最大許容シングルスタイラス形状誤差 PFTU, MPE (μm) 1.0 1.0 1.0 1.3 1.9 VAST XT gold 最大許容スキャニングプロービング誤差 MPE ）/ THP (μm) 1.3… 1.7… 1.7… 1.7… 2.5… （ オプション τ =40 τ =40 τ =40 τ =…40 τ =…40 VAST XTR gold …21… 19…〜…21… 18…〜…22… 18…〜…22… 18…〜…22… 18…〜…22… （オプション） 環境温度 (℃ ) 19…〜…21… 19…〜 (15…〜…30) (15…〜…30) (15…〜…30) (18…〜…28) (18…〜…24) (18…〜…28) (18…〜…24) 温度条件 (℃/day) 1.8(5.0) 1.8(5.0) 1.8(5.0) 1.8(5.0) 1.8(1.8) 2.0(5.0) 2.0(1.8) 温度変化 (℃/hour) 0.8(2.0) 0.8(2.0) 0.8(2.0) 0.8(2.0) 0.8(0.8) 1.0(2.0) 1.0(0.8) 温度勾配 (℃/m) 0.8(1.0) 0.8(1.0) 0.8(1.0) 0.8(1.0) 0.8(0.8) 1.0(1.0) 1.0(0.8) 最大許容長さ測定誤差 E0, MPE , E40, MPE (μm) 1.6+L/350… 1.6+L/350… 1.6+L/350… 2.2…+…L/300… 3.2…+…L/250… (2.1+L/300) (2.1+L/300) (2.1+L/300) (2.9…+…L/250) (3.7…+…L/200) 繰返し範囲の最大許容限界 R0, MPL (μm) 0.8 0.8 1.1 1.5 VAST XXT 最大許容シングルスタイラス形状誤差 PFTU, MPE (μm) 1.7 1.7 1.7 1.9 3.0 （オプション） 最大許容スキャニングプロービング誤差 MPETHP (μm) 2.5… 2.5… 2.5… 3.5… 3.5… τ =50 τ =50 τ =50 τ =…68 τ =…68 …22…… 18…〜…22… 18…〜…22… 18…〜…22… 18…〜…22… 測定精度 ＊ 1 温度条件 環境温度 (℃ ) 18…〜 (18…〜…26) (18…〜…26) (18…〜…24) (18…〜…26) (18…〜…24) ViSCAN 最大許容長さ測定誤差＊2 EU(XY) (μm) 10+L/350 10+L/350 10+L/350 10+L/300 10+L/250 （オプション） 画像プローブプロービング誤差＊2 PFV2D (μm) 10 10 プロービングエラー MPE (μm) 2.9 2.9 -8 PF(OT) 球形状標準偏差 1 σ (μm) 0.9 0.9 プロービングエラー MPE -25 PF(OT) (μm) 12 12 LineScan2 球形状標準偏差 1 σ (μm) 4 4 （オプション） プロービングエラー MPE m) 20 20 -50 PF(OT) (μ 球形状標準偏差 1 σ (μm) 5 5 プロービングエラー MPE -100 PF(OT) (μm) 50 50 球形状標準偏差 1 σ (μm) 12 12 最大許容単一方向長さ測定誤差 E 1mm Uni:Tr:ODS,MPE (μm) 1.6…+…L/350 1.6…+…L/350 2.2…+…L/300 3.2…+…L/250 最大許容プロービング寸法誤差（25 点） PSize.Sph.1x25:Tr:ODS,MPE (μm) 5 5 最大許容単一方向長さ測定誤差 EUni:Tr:ODS,MPE (μm) 1.9…+…L/350 1.9…+…L/350 2.5…+…L/300 3.5…+…L/250 DotScan＊3 3mm （オプション） 最大許容プロービング寸法誤差（25 点） PSize.Sph.1x25:Tr:ODS,MPE (μm) 5 5 最大許容単一方向長さ測定誤差 E 10mm Uni:Tr:ODS,MPE (μm) 2.9…+…L/350 2.9…+…L/350 3.5…+…L/300 4.5…+…L/250 最大許容プロービング寸法誤差（25 点） PSize.Sph.1x25:Tr:ODS,MPE (μm) 5 5 温度条件（環境温度） (℃ ) 18…〜…22 18…〜…22 ガラスセラミックスケール ガラスセラミックスケール 測長スケール ガラスセラミックスケール Y：スチールスケール Y：スチールスケール 分解能 (μm) 0.2 0.2 材質 はんれい岩 はんれい岩 使用可能幅 (mm) 885 885 1060 1406 1690 テーブル 使用可能奥行き (mm) 1220 1220 1520 1820 2120 2720 2420 3020 3620 4820 3020 3620 4820 床からテーブル面までの高さ (mm) 880 880 890 630 680 680 スタイラス取付面までの高さ（VAST gold 仕様） (mm) 585 695 695 1069 1369 ワーク Xガイド下端までの高さ (mm) 720 820 820 1228 1515 最大積載質量 (kg) 1200 1200 1300 1500 2000 2000 2500 3500 3500 案内方式 エアベアリング エアベアリング ジョイスティックモード (mm/sec) 0…〜…70 0…〜…70 各軸方向 (mm/sec) 最大…300 最大…300 駆動速度 CNC モード ベクトル方向 (mm/sec) 最大…520 最大…520 スキャニング速度（Navigator 機能使用時） (mm/sec) 最大…350 最大…350 各軸方向 (mm/sec2) 最大…1200 最大…1200 最大…1200 最大…800 最大…800 駆動加速度 ベクトル方向 (mm/sec2) 最大…2070 最大…2070 最大…2070 最大…1380 最大…1380 供給圧力 (MPa) 0.6…〜…1.0 0.6…〜…1.0 使用圧力 (MPa) 0.5 0.5 空気源 50 50 消費量 (NL/min) （本体待機時に圧縮空気供給を自動停止、ジョイスティック操作・CNC…測定時に… （本体待機時に圧縮空気供給を自動停止、ジョイスティック操作・CNC…測定時に… 自動再開して節電・ランニングコストを抑制する Air…Saver…機能搭載） 自動再開して節電・ランニングコストを抑制する Air…Saver…機能搭載） 供給電圧 (V/%) AC100…±…10 AC100…±…10 電源 周波数 (Hz/%) 50/60…±…3.5 50/60…±…3.5 消費電力 (VA) 2500 2500 幅 (mm) 1641 1641 1816 2171 2571 本体寸法 奥行き (mm) 1809 1809 2109 2409 2709 3337 3009 3677 4277 5477 3677 4277 5477 高さ (mm) 2980 3060 3090 3550 3590 3890 外形寸法・質量 ＊4 本体質量 (kg) 1700 1800 2300 2950 3460 4740 6100 7350 9600 13000 11000 13000 17000 最小天井高さ (mm) 3130 3210 3240 3750 3790 4090 本体搬入時高さ＊6 (mm) 2210 2360 2360 2410 2660 3050 本体正面から見て手前 (mm) 600 600 エリアセンサ (レーザスキャナ) 本体正面から見て奥 (mm) 300 500 の検知エリア ＊5 本体正面から見て左 (mm) 500 500 本体正面から見て右 (mm) 300 300 *1…E0,…MPE,…E150,…MPE 及び R0,…MPL の試験及び評価方法は、ISO…10360-2:…2009…(JIS…B…7440-2:…2013) に準拠します。 … PFTU,…MPE の試験及び評価方法は、ISO…10360-5:…2010…(JIS…B…7440-5:…2013) に準拠します。 … MPETHP の試験及び評価方法は、ISO…10360-4:…2000…(JIS…B…7440-4:…2003) に準拠します。 … 上記精度は下記スタイラスを使用した場合の数値です。なお、L（mm）は任意の長さです。 … VAST…gold/VAST…XTR…gold/VAST…XT…gold… 先端ボール直径 8…mm、長さ63.5…mm　　VAST…XXT… 先端ボール直径 5…mm、長さ30…mm 20 Coordinate Measuring Machine

カ ー ル ツ ァイ ス シ リ ー ZEISS PRISMOⓇ ZEISS PRISMOⓇ ズ 型式 7/9/5 7/9/7 9/12/7 9/15/7 9/18/7 9/24/7 12/18/10 12/24/10 12/30/10 12/42/10 16/24/10 16/30/10 16/42/10 X (mm) 700 700 900 1200 1600 測定範囲 Y (mm) 900 900 1200 1500 1800 2400 1800 2400 3000 4200 2400 3000 4200 Z (mm) 500 650 650 1000 1000 最大許容長さ測定誤差 E0, MPE , E150, MPE (μm) 0.9+L/350… 0.9+L/350… 0.9+L/350… 1.5…+…L/350… 2.0…+…L/300… (1.2+L/250) (1.2+L/250) (1.2+L/250) (1.8…+…L/300) (3.4…+…L/270) 繰返し範囲の最大許容限界 R0, MPL (μm) 0.8 0.8 0.8 1.1 1.5 VAST gold/ 最大許容シングルスタイラス形状誤差 PFTU, MPE (μm) 1.0 1.0 1.0 1.3 1.9 VAST XT gold 最大許容スキャニングプロービング誤差 MPETHP (μm) 1.3… 1.7… 1.7… 1.7… 2.5… （ オプション）/ τ =40 τ =40 τ =40 τ =…40 τ =…40 VAST XTR gold （オプション） 環境温度 (℃ ) 19…〜…21… 19…〜…21… 19…〜…21… 18…〜…22… 18…〜…22… 18…〜…22… 18…〜…22… (15…〜…30) (15…〜…30) (15…〜…30) (18…〜…28) (18…〜…24) (18…〜…28) (18…〜…24) 温度条件 (℃/day) 1.8(5.0) 1.8(5.0) 1.8(5.0) 1.8(5.0) 1.8(1.8) 2.0(5.0) 2.0(1.8) 温度変化 (℃/hour) 0.8(2.0) 0.8(2.0) 0.8(2.0) 0.8(2.0) 0.8(0.8) 1.0(2.0) 1.0(0.8) 温度勾配 (℃/m) 0.8(1.0) 0.8(1.0) 0.8(1.0) 0.8(1.0) 0.8(0.8) 1.0(1.0) 1.0(0.8) 最大許容長さ測定誤差 E0, MPE , E40, MPE (μm) 1.6+L/350… 1.6+L/350… 1.6+L/350… 2.2…+…L/300… 3.2…+…L/250… (2.1+L/300) (2.1+L/300) (2.1+L/300) (2.9…+…L/250) (3.7…+…L/200) 繰返し範囲の最大許容限界 R0, MPL (μm) 0.8 0.8 1.1 1.5 VAST XXT 最大許容シングルスタイラス形状誤差 PFTU, MPE (μm) 1.7 1.7 1.7 1.9 3.0 （オプション） 最大許容スキャニングプロービング誤差 MPETHP (μm) 2.5… 2.5… 2.5… 3.5… 3.5… τ =50 τ =50 τ =50 τ =…68 τ =…68 測定精度 ＊ 1 温度条件 環境温度 (℃ ) 18…〜…22…… 18…〜…22… 18…〜…22… 18…〜…22… 18…〜…22… (18…〜…26) (18…〜…26) (18…〜…24) (18…〜…26) (18…〜…24) ViSCAN 最大許容長さ測定誤差＊2 EU(XY) (μm) 10+L/350 10+L/350 10+L/350 10+L/300 10+L/250 （オプション） 画像プローブプロービング誤差＊2 PFV2D (μm) 10 10 プロービングエラー MPEPF(OT) (μm) 2.9 2.9 -8 球形状標準偏差 1 σ (μm) 0.9 0.9 プロービングエラー MPE (μm) 12 12 -25 PF(OT) LineScan2 球形状標準偏差 1 σ (μm) 4 4 （オプション） プロービングエラー MPEPF(OT) (μm) 20 20 -50 球形状標準偏差 1 σ (μm) 5 5 プロービングエラー MPE 50 -100 PF(OT) (μm) 50 球形状標準偏差 1 σ (μm) 12 12 最大許容単一方向長さ測定誤差 E 50 1.6…+…L/350 2.2…+…L/300 3.2…+…L/250 1mm Uni:Tr:ODS,MPE (μm) 1.6…+…L/3 最大許容プロービング寸法誤差（25 点） PSize.Sph.1x25:Tr:ODS,MPE (μm) 5 5 最大許容単一方向長さ測定誤差 E S,MPE (μm) 1.9…+…L/350 1.9…+…L/350 2.5…+…L/300 3.5…+…L/250 DotScan＊3 3mm Uni:Tr:OD （オプション） 最大許容プロービング寸法誤差（25 点） PSize.Sph.1x25:Tr:ODS,MPE (μm) 5 5 最大許容単一方向長さ測定誤差 E 10mm Uni:Tr:ODS,MPE (μm) 2.9…+…L/350 2.9…+…L/350 3.5…+…L/300 4.5…+…L/250 最大許容プロービング寸法誤差（25 点） PSize.Sph.1x25:Tr:ODS,MPE (μm) 5 5 温度条件（環境温度） (℃ ) 18…〜…22 18…〜…22 ガラスセラミックスケール ガラスセラミックスケール 測長スケール ガラスセラミックスケール Y：スチールスケール Y：スチールスケール 分解能 (μm) 0.2 0.2 材質 はんれい岩 はんれい岩 使用可能幅 (mm) 885 885 1060 1406 1690 テーブル 使用可能奥行き (mm) 1220 1220 1520 1820 2120 2720 2420 3020 3620 4820 3020 3620 4820 床からテーブル面までの高さ (mm) 880 880 890 630 680 680 スタイラス取付面までの高さ（VAST gold 仕様） (mm) 585 695 695 1069 1369 ワーク Xガイド下端までの高さ (mm) 720 820 820 1228 1515 最大積載質量 (kg) 1200 1200 1300 1500 2000 2000 2500 3500 3500 案内方式 エアベアリング エアベアリング ジョイスティックモード (mm/sec) 0…〜…70 0…〜…70 各軸方向 (mm/sec) 最大…300 最大…300 駆動速度 CNC モード ベクトル方向 (mm/sec) 最大…520 最大…520 スキャニング速度（Navigator 機能使用時） (mm/sec) 最大…350 最大…350 各軸方向 (mm/sec2) 最大…1200 最大…1200 最大…1200 最大…800 最大…800 駆動加速度 ベクトル方向 (mm/sec2) 最大…2070 最大…2070 最大…2070 最大…1380 最大…1380 供給圧力 (MPa) 0.6…〜…1.0 0.6…〜…1.0 使用圧力 (MPa) 0.5 0.5 空気源 50 50 消費量 (NL/min) （本体待機時に圧縮空気供給を自動停止、ジョイスティック操作・CNC…測定時に… （本体待機時に圧縮空気供給を自動停止、ジョイスティック操作・CNC…測定時に… 自動再開して節電・ランニングコストを抑制する Air…Saver…機能搭載） 自動再開して節電・ランニングコストを抑制する Air…Saver…機能搭載） 供給電圧 (V/%) AC100…±…10 AC100…±…10 電源 周波数 (Hz/%) 50/60…±…3.5 50/60…±…3.5 消費電力 (VA) 2500 2500 幅 (mm) 1641 1641 1816 2171 2571 本体寸法 奥行き (mm) 1809 1809 2109 2409 2709 3337 3009 3677 4277 5477 3677 4277 5477 高さ (mm) 2980 3060 3090 3550 3590 3890 外形寸法・質量 ＊4 本体質量 (kg) 1700 1800 2300 2950 3460 4740 6100 7350 9600 13000 11000 13000 17000 最小天井高さ (mm) 3130 3210 3240 3750 3790 4090 本体搬入時高さ＊6 (mm) 2210 2360 2360 2410 2660 3050 本体正面から見て手前 (mm) 600 600 エリアセンサ (レーザスキャナ) 本体正面から見て奥 (mm) 300 500 の検知エリア ＊5 本体正面から見て左 (mm) 500 500 本体正面から見て右 (mm) 300 300 *2…ViSCAN…倍率 1x での値です。 *3…DotScan は工場出荷オプションとなります。 *4……寸法及び外観図は本体のみです。本体とは別にコントローラ(W × D × H:…800 × 800 × 840) 及び PCラック(W × D × H:…800 × 700 × 700) が付属します。 *5…別ページのイラストもご参照ください。 *6……測定機搬入の際は、搬入経路の高さ、特に入り口などの間口・高さの確認をお願い致します。… 開口高さは、各測定機の搬入台車などの高さ約 200…mm を加えた高さが必要です。 Coordinate Measuring Machine 21

三次元座標測定機 ZEISS PRISMO®シリーズ 仕 様　ZEISS PRISMO® ultra ZEISS PRISMOⓇ ultra 型式 7/10/5 9/13/7 12/18/7 12/18/10 12/24/10 16/24/10 16/30/10 X (mm) 700 900 1200 1600 測定範囲 Y (mm) 1000 1300 1800 2400 2400 3000 Z (mm) 500 650 650 1000 1000 E 00 1.2+L/500 1.9+L/400 最大許容長さ測定誤差 0, MPE (μm) 0.5+L/500 0.5+L/500 0.9+L/5 E150, MPE (μm) 0.8+L/500 0.8+L/500 1.2+L/500 1.5+L/500 2.5+L400 VAST gold 繰返し範囲の最大許容限界 R0, MPL (μm) 0.4 0.4 0.5 0.7 0.8 最大許容シングルスタイラス形状誤差 PFTU, MPE (μm) 0.5 0.5 0.6 0.8 1.1 最大許容スキャニングプロービング誤差 MPETHP (μm) 0.9 τ =40 0.9 τ =40 0.9 τ =40 1.1 τ =40 1.6 τ =45 最大許容長さ測定誤差 E0, MPE , E40, MPE (μm) 1.6+L/350 1.6+L/350 2.2+L/300 2.2+L/300 3.2+L/250 VAST XXT 繰返し範囲の最大許容限界 R0, MPL (μm) 0.8 0.8 1.1 1.5 （オプション） 最大許容シングルスタイラス形状誤差 PFTU, MPE (μm) 1.7 1.7 1.9 1.9 3.0 最大許容スキャニングプロービング誤差 MPETHP (μm) 2.5 τ =68 2.5 τ =68 3.5 τ =68 3.5 τ =68 3.5 τ =68 ViSCAN 最大許容長さ測定誤差 ＊2 EU(XY) (μm) 10…+…L/350 10…+…L/350 10…+…L/300 10…+…L/250 （オプション） 画像プローブプロービング誤差 ＊2 PFV2D (μm) 10 10 10 10 プロービングエラー MPE μm) 2.9 -8 PF(OT) ( 測定精度 ＊ 1 球形状標準偏差 1 σ (μm) 0.9 プロービングエラー MPE -2 PF(OT) (μm) 12 5 LineScan2 球形状標準偏差 1 σ (μm) 4 （オプション） プロービングエラー MPE -50 PF(OT) (μm) 20 球形状標準偏差 1 σ (μm) 5 プロービングエラー MPE -100 PF(OT) (μm) 50 球形状標準偏差 1 σ (μm) 12 最大許容単一方向長さ測定誤差 E 00 3.2+L/250 1 mm Uni:Tr:ODS,MPE (μm) 1.6+L/350 1.6+L/350 2.2+L/3 最大許容プロービング寸法誤差（25 点） PSize.Sph.1x25:Tr:ODS,MPE (μm) 5 DotScan *3 最大許容単一方向長さ測定誤差 EUni:Tr:ODS,MPE (μm) 1.9+L/350 1.9+L/350 2.5+L/300 3.5+L/250 （オプション）3 mm 最大許容プロービング寸法誤差（25 点） PSize.Sph.1x25:Tr:ODS,MPE (μm) 5 最大許容単一方向長さ測定誤差 E 350 3.5…+…L/300 4.5+L/250 10 mm Uni:Tr:ODS,MPE (μm) 2.9…+…L/350 2.9…+…L/ 最大許容プロービング寸法誤差（25 点） PSize.Sph.1x25:Tr:ODS,MPE (μm) 5 測長スケール ガラスセラミック(Zerodur Ⓡ ) スケール 分解能 (μm) 0.02 材質 はんれい岩 使用可能幅 (mm) 896 1070 1416 1700 テーブル 使用可能奥行き (mm) 1520 1820 2420 3220 3020 3620 床からテーブル面までの高さ (mm) 870 880 630 902 スタイラス取付面までの高さ（VAST gold 仕様） (mm) 605 705 705 1079 1147 ワーク Xガイド下端までの高さ (mm) 720 820 820 1228 1293 最大積載質量 (kg) 1000 1000 1500 1500 2000 4000 案内方式 エアベアリング ジョイスティックモード (mm/sec) 0…〜…70 各軸方向 (mm/sec) 最大…300 駆動速度 CNC モード ベクトル方向 (mm/sec) 最大…520 スキャニング速度（Navigator 機能使用時） (mm/sec) 最大…350 各軸方向 (mm/sec2) 最大…380 駆動加速度 ベクトル方向 (mm/sec2) 最大…670 環境温度 (℃ ) 20…〜…22 (℃ /day) 1.0 精度保証環境 温度変化 (℃ /hour) 0.5 温度勾配 (℃ /m) 0.5 供給圧力 0.6 〜 1.0 使用圧力 (MPa) 0.5 空気源 50 消費量 (NL/min) （本体待機時に圧縮空気供給を自動停止、ジョイスティック操作・CNC…測定時に… 自動再開して節電・ランニングコストを抑制する Air…Saver…機能搭載） 供給電圧 (V/%) AC100…±…10 電源 周波数 (Hz/%) 50/60…±…3.5 消費電力 (VA) 2500 幅 (mm) 1641 1816 2171 2573 本体寸法 *3 奥行き (mm) 2109 2409 3090 3677 3677 4277 高さ (mm) 2950 3070 3090 3550 3890 外形寸法・質量 *4 本体質量 (kg) 3120 2950 6000 7250 13360 15750 最小天井高さ (mm) 3100 3220 3240 3750 4090 本体搬入時高さ *6 (mm) 2560 2410 2660 3050 本体正面から見て手前 (mm) 600 エリアセンサ (レーザスキャナ) 本体正面から見て奥 (mm) 300 500 の検知エリア *5 本体正面から見て左 (mm) 500 本体正面から見て右 (mm) 300 *1……E0 , MPE, E40 , MPE…,E150, MPE 及び R0, MPL の試験及び評価方法は、ISO…10360-2:200（9 JIS…B…7440-2:2013）に準拠します。PFTU,…MPE の試 験 及び評 価方法は、ISO…10360 -5:201（0 JIS…B…7440-5:2013）に 準拠します。…MPETHP の試験及び評価方法は、ISO…10360-4:200（0 JIS…B…7440-4:2003）に準拠します。… 上記精度は下記スタイラスを使用した場合の数値です。なお、（L mm）は任意の長さです。 　…VAST…gold… 先端ボール直径 8…mm、長さ63.5…mm… 　…VAST…XXT… 先端ボール直径 5…mm、長さ30…mm *2…ViSCAN…倍率 1xでの値です。 *3…DotScan は工場出荷オプションとなります。 *4…寸法及び外観図は本体のみです。本体とは別にコントローラ（W ×D×H:…800× 800× 840）及び PCラック（W ×D×H：800×700×700）が付属します。 *5…別ページのイラストもご参照ください。 *6…測定機搬入の際は、搬入経路の高さ、特に入り口などの間口・高さの確認をお願い致します。開口高さは、各測定機の搬入台車などの高さ約 200…mm を加えた高さが必要です。 22 Coordinate Measuring Machine

カ ー ル ツ ァイ 仕 様ー ZEISS PRISMO® verity ス シ ZEISS PRISMOⓇ verity リ 型式 ー 7/9/5 9/12/7 9/15/7 9/18/7 12/18/10 ズ X (mm) 700 900 1200 測定範囲 Y (mm) 900 1200 1500 1800 1800 Z (mm) 500 650 1000 E , MPE (μm) 0.7+L/400 0.7+L/400 1.3+L/400 最大許容長さ測定誤差 0 E150, MPE (μm) 0.9+L/400 0.9+L/400 1.5+L/400 繰返し範囲の最大許容限界 R0, MPL (μm) 0.6 0.6 0.8 VAST gold/ 最大許容シングルスタイラス形状誤差 PFTU, MPE (μm) 0.9 0.9 1 VAST XTR gold 最大許容スキャニングプロービング誤差 MPETHP (μm) 0.9 τ…=…40 0.9 τ…=…40 1.3 τ…=…40 （オプション） 環境温度 （℃ ） 19 〜 22 （℃ /day） 2 温度条件 温度変化 （℃ /hour） 1 温度勾配 （℃ /m） 0.5 最大許容長さ測定誤差 E0, MPE , E40, MPE (μm) 1.6+L/350 1.6+L/350 2.2+L/300 繰返し範囲の最大許容限界 R0, MPL (μm) 0.8 0.8 1.1 VAST XXT 最大許容 PE (μm) 1.7 1.7 1.9 （オプション） シングルスタイラス形状誤差 PFTU, M 最大許容 スキャニングプロービング誤差 MPETHP (μm) 2.5 τ…=…50 2.5 τ…=…50 3.5 τ…=…68 測 温度条件 環境温度 (μm) 19…〜…22 定 精 ViSCAN 最大許容長さ測定誤差 *2 EU (XY) (μm) 10+L/350 10+L/350 10+L/300 度 （オプション） 画像プローブプロービング誤差 *2 PFV2D (μm) 10 ＊ 1 プロービングエラー MPE -8 PF(OT) (μm) 2.9 球形状標準偏差 1 σ (μm) 0.9 プロービングエラー MPE -25 PF(OT) (μm) 12 LineScan2 球形状標準偏差 1 σ (μm) 4 （オプション） プロービングエラー MPE -50 PF(OT) (μm) 20 球形状標準偏差 1 σ (μm) 5 プロービングエラー MPE -100 PF(OT) (μm) 50 球形状標準偏差 1 σ (μm) 12 最大許容単一方向長さ測定誤差 E ) 1.6+L/350 1.6+L/350 2.2+L/300 1mm Uni:Tr:ODS,MPE (μm 最大許容プロービング寸法誤差（25 点） PSize.Sph.1x25:Tr:ODS,MPE (μm) 5 5 5 最大許容単一方向長さ測定誤差 E +L/350 2.5+L/300 DotScan＊3 3mm Uni:Tr:ODS,MPE (μm) 1.9+L/350 1.9 （オプション） 最大許容プロービング寸法誤差（25 点） PSize.Sph.1x25:Tr:ODS,MPE (μm) 5 5 5 最大許容単一方向長さ測定誤差 E 300 10mm Uni:Tr:ODS,MPE (μm) 2.9+L/350 2.9+L/350 3.5+L/ 最大許容プロービング寸法誤差（25 点） PSize.Sph.1x25:Tr:ODS,MPE (μm) 5 5 5 温度条件（環境温度） (℃ ) 19 〜 22 測長スケール ガラスセラミック(ZerodurⓇ)スケール 分解能 (μm) 0.08 材質 はんれい岩 使用可能幅 (mm) 885 1060 1406 テーブル 使用可能奥行き (mm) 1220 1520 1820 2120 2420 床からテーブル面までの高さ (mm) 880 890 630 スタイラス取付面までの高さ（VAST gold 仕様） (mm) 585 695 1069 ワーク Xガイド下端までの高さ (mm) 720 820 1228 最大積載質量 (kg) 1200 1300 1500 2000 案内方式 エアベアリング ジョイスティックモード (mm/sec) 0…〜…70 各軸方向 (mm/sec) 最大…300 駆動速度 CNC モード ベクトル方向 (mm/sec) 最大…520 スキャニング速度（Navigator 機能使用時） (mm/sec) 最大…350 各軸方向 (mm/sec2) 最大 1200 最大 1200 最大 800 駆動加速度 ベクトル方向 (mm/sec2) 最大 2070 最大 2070 最大 1380 供給圧力 (MPa) 0.6 〜 1.0 使用圧力 (MPa) 0.5 空気源 50 消費量 (NL/min) (…本体待機時に圧縮空気供給を自動停止、ジョイスティック操作・CNC…測定時に 自動再開して節電・ランニングコストを抑制する Air…Saver…機能搭載） 供給電圧 (V/%) AC100…±…10 電源 周波数 (Hz/%) 50/60…±…3.5 消費電力 (VA) 2500 幅 (mm) 1641 1816 2171 本体寸法 奥行き (mm) 1809 2109 2409 2709 3009 高さ (mm) 2980 3090 3550 外形寸法・質量 *3 本体質量 (kg) 1700 2300 2950 3460 6100 最小天井高さ (mm) 3130 3240 3750 本体搬入時高さ *6 (mm) 2210 2360 2410 2660 本体正面から見て手前 (mm) 600 エリアセンサ 本体正面から見て奥 (mm) 300 500 (レーザスキャナ) の 検知エリア *5 本体正面から見て左 (mm) 500 本体正面から見て右 (mm) 300 *1……E0 , MPE, E40 , MPE…,E150, MPE 及び R0, MPL の試験及び評価方法は、ISO…10360-2:2009(JIS…B…7440-2:2013) に準拠します。… PFTU, MPE の試験及び評価方法は、ISO…10360-5:2010(JIS…B…7440-5:2013) に準拠します。MPETHP の試験及び評価方法は、ISO…10360-4:2000(JIS…B…7440-4:2003) に準拠します。… 上記精度は右記スタイラスを使用した場合の数値です。なお、L(mm) は任意の長さです。… VAST…gold/VAST…XTR…gold… 先端ボール直径 8…mm、長さ63.5…mm… VAST…XXT… 先端ボール直径 3…mm・長さ50…mm *2…ViSCAN…倍率 1x での値です。 *3…DotScan は工場出荷オプションとなります。 *4…寸法及び外観図は本体のみです。本体とは別にコントローラ(W × D × H:…800 × 800 × 840)…及び PCラック(W × D × H:…800 × 700 × 700) が付属します。 *5…別ページのイラストもご参照ください。 *6……測定機搬入の際は、搬入経路の高さ、特に入り口などの間口・高さの確認をお願い致します。開口高さは、各測定機の搬入台車などの高さ約 200…mm を加えた高さが必要です。 Coordinate Measuring Machine 23

三次元座標測定機 ZEISS PRISMO®シリーズ 仕 様　ZEISS PRISMO® fortis ZEISS PRISMOⓇ fortis 型式 7/12/7 7/12/7 (aero) 9/15/7 12/18/10 12/18/10 U-stone X (mm) 700 900 1200 測定範囲 Y (mm) 1200 1500 1800 Z (mm) 650 650 1000 最大許容長さ測定誤差 E0, MPE (μm) 0.7+L/400…※ 20…〜…22…℃ 1.3+L/400…※ 20…〜…22…℃ E150, MPE (μm) 0.9+L/400…※ 20…〜…22…℃ 1.5+L/400…※ 20…〜…22…℃ 最大許容指示誤差 TVA E0, MPE (μm) 0.7+(0.3| △ϑ |)+L/(400-(18| △ϑ |)) 1.3+(0.08| △ϑ |)+L/(400-(17.5| △ϑ |)) △ϑ＝ 22℃に対する環境温度偏差 △ϑ＝ 22℃に対する環境温度偏差 1.9+L/330…※ 26…℃ 1.6+L/330…※ 26…℃ 最大許容長さ測定誤差 E0, MPE (μm) 3.1+L/260…※ 30…℃ 1.9+L/260…※ 30…℃ 5.2+L/130…※ 37…℃ 2.5+L/140…※ 37…℃ 6.1+L/80…※ 80…℃ 2.7+L/80…※ 40…℃ VAST gold /VAST XTR gold 繰返し範囲の最大許容限界 R0, MPL (μm) 0.6 0.8 （オプション） 最大許容シングルスタイラス形状誤差 PFTU, MPE (μm) 0.9 1 0.9… 1.3… 最大許容スキャニングプロービング誤差 MPETHP (μm) τ =40… τ =40… ※ 19…〜…21…℃ ※ 19…〜…21…℃ 環境温度 (℃ ) 18…〜…40 温度条件 温度変化 (℃ /day) 5 (℃ /hour) 2 温度勾配 (℃ /m) 1 最大許容長さ測定誤差 E0, MPE, E40, MPE (μm) 1.6+L/350… 1.6+L/350… 2.2+L/300… (2.1+L/300) (2.1+L/300) (2.9+L/250) 測定精度 ＊ 1 VAST XXT 繰返し範囲の最大許容限界 R0, MPL (μm) 0.8 0.8 1.1 （オプション） 最大許容シングルスタイラス形状誤差 PFTU, MPE (μm) 1.7 1.7 1.9 最大許容スキャニングプロービング誤差 MPETHP (μm) 2.5τ=50 2.5τ=50 3.5…τ=68 温度条件 環境温度 (℃ ) 18…〜…22…(18…〜…26) ViSCAN 最大許容長さ測定誤差 *2 EU(XY) (μm) 10+L/350 10+L/350 10+L/300 （オプション） 画像プローブプロービング誤差 *2 PFV2D (μm) 10 10 10 -8 プロービングエラー MPEPF(OT) (μm) 2.9 球形状標準偏差 1 σ (μm) 0.9 -25 プロービングエラー MPEPF(OT) (μm) 12 LineScan2 球形状標準偏差 1 σ (μm) 4 （オプション）-50 プロービングエラー MPEPF(OT) (μm) 20 球形状標準偏差 1 σ (μm) 5 -100 プロービングエラー MPEPF(OT) (μm) 50 球形状標準偏差 1 σ (μm) 12 1 mm 最大許容単一方向長さ測定誤差 EUni:Tr:ODS,MPE (μm) 1.6+L/350 1.6+L/350 2.2+L/300 最大許容プロービング寸法誤差（25 点） PSize.Sph.1x25:Tr:ODS,MPE (μm) 5 DotScan *3 3 mm 最大許容単一方向長さ測定誤差 EUni:Tr:ODS,MPE (μm) 1.9+L/350 1.9+L/350 2.5+L/300 （オプション） 最大許容プロービング寸法誤差（25 点） PSize.Sph.1x25:Tr:ODS,MPE (μm) 5 10 mm 最大許容単一方向長さ測定誤差 EUni:Tr:ODS,MPE (μm) 2.9+L/350 2.9+L/350 3.5+L/300 最大許容プロービング寸法誤差（25 点） PSize.Sph.1x25:Tr:ODS,MPE (μm) 5 温度条件（環境温度） (℃ ) 18…〜…22 測長スケール ガラスセラミック(Zerodur Ⓡ ) スケール 分解能 (μm) 0.08 材質 はんれい岩 テーブル 使用可能幅 (mm) 896 1070 1416 使用可能奥行き (mm) 1520 1820 2420 床からテーブル面までの高さ (mm) 870 880 630 スタイラス取付面までの高さ（VAST gold 仕様） (mm) 705 705 1079 ワーク Xガイド下端までの高さ (mm) 820 820 1228 1420 最大積載質量 (kg) 1000 1000 1500 2000 案内方式 エアベアリング ジョイスティックモード (mm/sec) 0…〜…70 駆動速度 CNC モード 各軸方向 (mm/sec) 最大…300 ベクトル方向 (mm/sec) 最大…520 スキャニング速度（Navigator 機能使用時） (mm/sec) 最大…350 駆動加速度 各軸方向 (mm/sec2) 最大…1200 最大…1200 最大…800 ベクトル方向 (mm/sec2) 最大…2070 最大…2070 最大…1380 供給圧力 0.6 〜 1.0 使用圧力 (MPa) 0.5 空気源 50 消費量 (NL/min) （本体待機時に圧縮空気供給を自動停止、ジョイスティック操作・CNC…測定時に… 自動再開して節電・ランニングコストを抑制する Air…Saver…機能搭載） 供給電圧 (V/%) AC100…±…10 電源 周波数 (Hz/%) 50/60…±…3.5 消費電力 (VA) 2500 幅 (mm) 1641 1816 2171 本体寸法 *3 奥行き (mm) 2109 2490 3009 高さ (mm) 3060 3070 3550 3750 外形寸法・質量 *4 本体質量 (kg) 3220 2950 6000 6540 最小天井高さ (mm) 3210 3220 3750 3950 本体搬入時高さ *6 (mm) 2660 2410 2660 2860 本体正面から見て手前 (mm) 600 エリアセンサ (レーザスキャナ) 本体正面から見て奥 (mm) 300 500 の検知エリア *5 本体正面から見て左 (mm) 500 本体正面から見て右 (mm) 300 *1……E0 , MPE, E40 , MPE…,E150, MPE 及び R0, MPL の試験及び評価方法は、ISO…10360-2:200（9 JIS…B…7440-2:2013）に準拠します。… TVA は、異なる設置環境における各々の周囲温度に対して測定機の保証精度を明確化するものです。… PFTU,…MPE の試 験 及び評 価方法は、ISO…10360 -5:201（0 JIS…B…7440-5:2013）に準拠します。… MPETHP の試験及び評価方法は、ISO…10360-4:2000(JIS…B…7440-4:2003) に準拠します。… 上記精度は下記スタイラスを使用した場合の数値です。なお、（L mm）は任意の長さです。 　…VAST…gold/VAST…XTR…gold… 先端ボール直径 8…mm、長さ63.5…mm 　…VAST…XXT… 先端ボール直径 3…mm・長さ50…mm *2…ViSCAN…倍率 1xでの値です。 *3…DotScan は工場出荷オプションとなります。 *4…寸法及び外観図は本体のみです。本体とは別にコントローラ（W ×D×H:…800× 800× 840）及び PCラック（W ×D×H：800×700×700）が付属します。 *5…別ページのイラストもご参照ください。 *6…測定機搬入の際は、搬入経路の高さ、特に入り口などの間口・高さの確認をお願い致します。開口高さは、各測定機の搬入台車などの高さ約 200…mm を加えた高さが必要です。 24 Coordinate Measuring Machine

カ ー ル ツ ァイ ス シ リ ー ズ 外観図　ZEISS PRISMO® シリーズ ZEISS PRISMO® シリーズ Z=500/700 ZEISS PRISMO® シリーズ X=1200 幅 奥行き 幅 奥行き ZEISS PRISMO® X=1600 ZEISS PRISMO® ultra (X=1600) ZEISS PRISMO®12/18/10 fortis U-stone 幅 奥行き 幅 奥行き 検知エリア Y<2400 Y≧2400 エリアセンサ 2個 エリアセンサ 4個 本体後方の検知エリア 本体後方の検知エリア X<1200：300 mm X<1200：300 mm X≧1200：500 mm X≧1200：500 mm Coordinate Measuring Machine 25 最小天井高さ 最小天井高さ 高さ 高さ 搬入時高さ 搬入時高さ 最小天井高さ 最小天井高さ 高さ 高さ 高さ 搬入時高さ 搬入時高さ