VAT Official Info
パーティクル発生が極小で低振動のゲートバルブ
低ショック、真空部と機構の隔離により、パーティクル発生が少ない。
Main Usage
パーティクル発生が極小、低振動を必要とする真空装置用
PARTICLE-FREEゲートバルブ SERIES 15.0/15.1/15.2 (1.1 MB | ja)