振子式コントロールバルブ Product Description
過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適
正確な圧力制御、高速でパーティクルフリーな動作が特長。メンテナンスが容易で使いやすいデザイン。
Main Usage
SEMI、FPDプロセスの圧力制御、および真空封止用
振子式コントロールバルブ Documents
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振子式コントロールバルブ Details
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