Lゲートバルブ Product Description
パーティクル発生が少なく、メンテナンスが容易！ポンプ/チャンバー用真空遮断バルブ。
製品はバルブタイプとインサートタイプの2種類。低コストでメンテナンスが簡単なため、使いやすい。
パーティクル発生が少ないのが特長。
Main Usage
半導体や表面分析アプリケーション用
Lゲートバルブ Documents
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Lゲートバルブ Details
| Manufacturer Brand | VAT |
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