均等排気バルブ Product Description
均等なガスフローで高度なプロセスに最適
パーティクルフリーな動作で均等排気を可能に。卓越した圧力制御の実績あり。
Main Usage
SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ。高度なエッチングプロセスに最適。
均等排気バルブ Documents
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均等排気バルブ Details
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