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半導体装置用 粉体除去装置 TRAPPACK

独自エレメントで圧損なく微粉体を除去!

半導体装置用 粉体除去装置 TRAPPACK Product Description

独自エレメントで圧損なく微粉体を除去!

CVD/インプラ/エッチング等のプロセスによって生成される微細な反応生成物
一般的なフィルター等では通過してしまうような細かい粉体でも
弊社独自のエレメント技術により繊維に吸着させることで除去します。

各種半導体装置・除害装置の故障や配管閉塞から守り
設備稼働率向上・生産性アップに寄与する製品です。

Main Usage

CVD/エッチング/インプラ/FPD/その他各種、微細粉体の発生箇所

半導体装置用 粉体除去装置 TRAPPACK Models (1)

Model Image Model Number Model Name / Description Best Price Supplier
TRAPPACK TU-250 (See model)
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TRAPPACK - Seller is not registered

半導体装置用 粉体除去装置 TRAPPACK Details

Manufacturer Brand TAISEI GIKEN
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