プロセスガス用レギュレータ「PGMシリーズ」

プロセスガス用レギュレータ「PGMシリーズ」 Product Description

業界最高クラスのシール性能・ヒステリシス・繰り返し再現性を誇るCKDのプロセスガスレギュレータ。供給ガスの高精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。

【高シール性】
プロセス安定化に貢献
● 弁座部の最適設計と超精密加工
● 弁閉動作時の2次側への漏れ（出流れ）を極限まで抑制

【高い微小流量制御性】
安定かつスムーズな動作を実現
● 弁座部形状の最適設計
● 微小流量でも安定制御

【ヒステリシス低減】
狙いの圧力に確実にミート
● 高品質材料の採用
● 超精密加工

Main Usage

薬ガス供給設備向け機器
薬液供給設備向け機器
半導体製造工程（前工程）
N2パージ関連機器