【MiniLab（ミニラボ）】フレキシブル薄膜実験装置

MiniLab R&D用実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材質に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜源、ステージなど）、制御モジュールを組み込むことにより、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で搭載することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロセス実験への応用が可能になります。
MiniLabシリーズは、研究開発から小規模生産用途まで幅広く対応するハイコストパフォーマンスシステムです。

TE1ボックス型抵抗加熱蒸着源
タングステンフィラメントは、ボート、ヘリカルコイル、バスケット、ロッドなどほぼ全ての形状のフィラメントに対応、着脱も容易。
ボックスシールド開口部で指向性が得られ、基板へ効率的な蒸着をすることができます。

LTE1有機蒸着源 Max600℃
石英製、アルミナ製るつぼ 1cc容積（*5ccるつぼオプション）
高精度で蒸着温度を制御、昇温時の応答性にも優れます。水晶膜厚モニタとの組み合わせでPIDループ自動制御時約±0.1Åの膜厚制御が可能です。

高真空対応、メンテナンス性に優れたマグネトロンカソード
カソードシールドとクランプリングの着脱でターゲット交換が簡単に行えます。
ストレートタイプ、フランジタイプ、傾斜ヘッドタイプなど種類も豊富。
・RF、DC、PulseDC兼用
・ターゲットサイズ：Φ2inch、Φ3inch、Φ4inch
「豊富なオプション」
・磁性材料用高強度マグネットパック
・チムニーポート
・ガスインジェクション
・シャッター

装置の全ての操作を一箇所のHMIで行えるパワフルな制御・管理ソフトウエア「IntelliDep（インテリデップ）」
直感的操作で短期間でどなたでもマスター可能。
・マニュアル運転/オートモード運転
・レシピ作成管理〜オート運転
・ログ保存、故障解析
・シャッター自動開閉
HMI 7inchタッチパネル（標準）、オプションでWindows PC操作 キーボード+マウス+20"モニタも選べます。
PC操作の場合、Windows PC操作に必要な「IntelliNet」がオンボードで付属します。

成膜均一性、膜質を犠牲にせず小さなチャンバー内に多彩なコンポーネントを配置することができます。
基板シャッター
ソースシャッター
基板加熱ヒーター
クロスコンタミシールド
水晶振動子膜厚センサーヘッド
SMX基板・マスクチェンジャー(080のみ）

グローブボックス作業エリア内でチャンバー開閉が可能。
MiniLab-026、-090のみグローブボックス仕様チャンバーオプションがあります。
グローブボックスワークエリア内でMiniLabチャンバーにアクセスすることができ、成膜→スピンコート→ベーク、などの一連の作業をシームレスに行うことができます。

・ロードロック
・APCプロセス自動コントロール（Upstream制御、又はDownstream制御）
・同時成膜
・HiPIMS
・自動成膜コントロール（フルオート制御）