H-840.G2IHP ｜ 高精度ヘキサポッドステージ H-840.G2IHP

高精度ヘキサポッドステージ H-840.G2IHP Product Description

お客様の声を元に駆動精度をより高めました！XY軸は40nm、Z軸は20nmのステップ動作が可能

20年以上も前からヘキサポッドステージをご提供していますが、お客様の声を元に、駆動精度を高めたヘキサポッドをリリースしました！

XY軸は40 nm、Z軸は20 nmのステップ動作を可能にします。

生産および測定技術における位置合わせおよび位置決めアプリケーションの最高の要求を満たすことが可能です。

＜仕様＞
・駆動軸　6軸
・トラベルレンジ　 XY＝±50mm、Z=±25mm、θxθy＝±15度、θz＝±30度
・最小移動量：XY＝40nm、Z=20nm、θxθy＝0.2µrad、θz＝0.4µrad
・最大速度：2.5mm/秒、30mrad/秒
・耐荷重：40Kg（水平時）
・任意回転中心設定

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

Main Usage

・ライフサイエンス（生体位置決め）
・マイクロ部品製造検査
・マイクロマニピュレーション
・産業用アライメントシステム
・光学部品の組み立て＆位置合わせ
・各種検査