Physik Instrumente Official Info

A-110 | 直動エアベアリングステージ A-110

スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適

直動エアベアリングステージ A-110 Sales Info

直動エアベアリングステージ A-110 EC Site List

There is no registered distributor

Would you like to list your products?

Register at Apérza

直動エアベアリングステージ A-110 Product Description

スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適

磁気的にプリロードされた空気ベアリングおよび内蔵光学リニアエンコーダーによるリニアサーボモーター駆動です。

これらの非接触部品を組み合わせることにより、最高のパフォーマンス、品質、製品寿命を持つ無摩擦モーションプラットフォームが実現しました。

エアベアリングステージシリーズには、「XY軸小型エアベアリングステージ」、「XY軸大型エアベアリングステージ」、「エアベアリングロータリーステージ」などもございます。

【特長】
・非接触完全プリロード空気ベアリング
・スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適
・クリーンルームに対応
・カスタマイズ可能
・内蔵光学リニアエンコーダー

【主な仕様】
・テーブルサイズ:160mm×200mm
・移動長さ最大:400mm
・最大ペイロード:10kg
・非接触完全プリロード空気ベアリング
・アイアンレス コギングフリー リニアモーター
・内蔵光学リニアエンコーダー
・最大分解能:1nm
・最大速度:1m/sec
・最大加速度:3g

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

Main Usage

・計測
・光学アライメント
・半導体
・フラットパネルディスプレイ
・高精度スキャニング
・クリーンルームでの使用 など

直動エアベアリングステージ A-110 Documents

Catalog

直動エアベアリングステージ A-110 (3.5 MB | ja)

Download

直動エアベアリングステージ A-110 Details

Manufacturer Brand Physik Instrumente
Model Page https://www.pi-japan.jp/ja/products/linear-stages/stages-with-magnetic-direct-drive-linear-motor/a-110-piglide-lc-linear-stage-with-air-bearings-900711
Category
Scroll to top