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Register at Apérzaスキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適
磁気的にプリロードされた空気ベアリングおよび内蔵光学リニアエンコーダーによるリニアサーボモーター駆動です。
これらの非接触部品を組み合わせることにより、最高のパフォーマンス、品質、製品寿命を持つ無摩擦モーションプラットフォームが実現しました。
エアベアリングステージシリーズには、「XY軸小型エアベアリングステージ」、「XY軸大型エアベアリングステージ」、「エアベアリングロータリーステージ」などもございます。
【特長】
・非接触完全プリロード空気ベアリング
・スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適
・クリーンルームに対応
・カスタマイズ可能
・内蔵光学リニアエンコーダー
【主な仕様】
・テーブルサイズ:160mm×200mm
・移動長さ最大:400mm
・最大ペイロード:10kg
・非接触完全プリロード空気ベアリング
・アイアンレス コギングフリー リニアモーター
・内蔵光学リニアエンコーダー
・最大分解能:1nm
・最大速度:1m/sec
・最大加速度:3g
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Main Usage
・計測
・光学アライメント
・半導体
・フラットパネルディスプレイ
・高精度スキャニング
・クリーンルームでの使用 など
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