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MINILAB-GB | 【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

Series【MiniLab(ミニラボ)】フレキシブル薄膜実験装置

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蒸着・スパッタ・アニール等全ての作業をグローブボックス内でシームレスに行う事ができます。

【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置 Sales Info

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【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置 Product Description

蒸着・スパッタ・アニール等全ての作業をグローブボックス内でシームレスに行う事ができます。

OLED(有機EL), OPV(有機薄膜太陽電池), OTFT(有機薄膜太陽電池), 又, グラフェン・2D材料(遷移金属ダイカルコゲナイドなどの二次元層状無機ナノ材料)などの成膜プロセスでは、酸素・水分から隔離された不活性ガス雰囲気で試料を取扱う必要があります。
MiniLab-026/00-GBでは、PCD/CVDチャンバーをGB内に収納することにより有機膜用途の「酸素・水分フリー」実験環境をコンパクトな省スペース環境で実現。

【特徴】
◉ CVD/PVD成膜、スピンコート塗布・ホットプレートベーキングなど一連の作業を外気に晒すことなく、GB内でシームレスに行うことができます。
◉ 省スペース:背面にチャンバーがせり出しませんので、スペースを取りません。
【MiniLab対象】
◉ MiniLab-026(26ℓ容積):金属/絶縁物/有機材料蒸着、スパッタリリング、RF/DCエッチング、アニール
◉ MiniLab-090(90ℓ容積):金属/絶縁物/有機材料蒸着、スパッタリング、RF/DCエッチング、アニール

【GB対応 MiniLab-026/090主仕様】
◉ チャンバ:SUS製(*090はスライドドア式, 背面メンテナンスドア)
◉ 19inch制御ラックは作業ベンチ下に収納
◉ MLチャンバー内成膜モジュール:
・抵抗加熱蒸着源(最大4源)
・有機蒸着源(最大4源)
・Φ2"マグネトロン(最大3基)
・RF/DCエッチング(最大Φ6inchステージ)
・基板加熱ステージ(最大Φ6inchステージ)などを搭載
◉ 高精度膜厚制御
◉ ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ(クライオポンプ, ドライポンプオプション)
◉ 豊富なオプション

*その他の詳細仕様は当社へお問い合わせ下さい。

Main Usage

OLED(有機EL)
OPV(有機薄膜太陽電池)
OTFT(有機薄膜太陽電池)
グラフェン
2D材料(遷移金属ダイカルコゲナイドなどの二次元層状無機ナノ材料)

【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置 Highlights

MiniLab-GB_チャンバー

026チャンバー:ワークエリア床に収納、トップローディング
090チャンバー:ワークエリア背面に収納、スライド式フロントドア

MiniLab-GB 制御ラック

作業ベンチ下に収納。グローブボックス設置スペース範囲内に収めます。

【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置 Specifications

チャンバー 26L容積 SUS304 トップローディング式
80L容積 SUS304 フロントローディング スライド式フロントドア
基板サイズ 最大Φ6inch(026)、Φ11inch(090)
抵抗加熱蒸着(金属) TE1ボックスシールド式蒸着源 x 最大4
有機材料蒸着源 LTE-1cc(又は5cc)石英、又はアルミナるつぼ x 最大4
K熱電対付属
マグネトロンスパッタリング RF, DC, PulseDC兼用
RF/DCエッチングステージ RF150W自動マッチング付
DC850W
同時成膜 2〜4源同時成膜
スパッタ電源 RF150〜500W自動マッチング付属
DC850W
HiPIMS電源
回転・上下ステージ 回転・上下ステージ
基板加熱ヒーター Max500℃ ランプヒーター
Max1000℃ C/Cコンポジット、又はSiCコーティングヒーター

【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置 Documents

Catalog

HTEヒーター・OLED有機/金属蒸発セル (1.7 MB | ja)

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【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置 Details

Manufacturer Brand テルモセラ・ジャパン-en
Series Name 【MiniLab(ミニラボ)】フレキシブル薄膜実験装置
Sales Start Date 01/04/2020
Category
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