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スパッタリング(Sputter deposition)は、絵画などで使われる手法のこと。真空蒸着に類する薄膜製造の代表的な方法の1つ。焼き物や炒め物の調理時に発生する急激な油はねの現象。1と2について本稿で記述する。
小型実験装置シリーズ。モジュール組込み式の為都度必要な膜種に応じた専用機の組立...
MiniLab R&D用実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材質に応じて都度好適なコンポーネント(成膜源、ステージなど)、制御モジュールを組み込むことにより...
高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式スパッタリング装置
● 到達圧力5 x 10-5Pa(*1x10-4Paまで最速30分!)● スパッタ源 x 3:連続多層膜膜制御, 同時成膜● 膜均一性±3%● 多彩なオプション:上下・回転、ヒータ、磁性材用カソー...
小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全ての作業をグロ...
OLED(有機EL), OPV(有機薄膜太陽電池), OTFT(有機薄膜太陽電池), 又, グラフェン・2D材料(遷移金属ダイカルコゲナイドなどの二次元層状無機ナノ材料)などの成膜プロセス...
グローブボックス収納可能 PVD, CVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570mmトールチャン...
80ℓ大容積MiniLab-080チャンバーをグローブボックスベンチ内に収納可能な構造にしたMiniLab-080のグローブボックスモデル。作業ベンチを最大限活用できるスライド開閉式チャンバ...
蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570mmトールチャン...
80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、060と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着...
蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み立てること...
コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置下記蒸着源から組合せが可能・抵抗加熱蒸着源 x 最大4・有機蒸着源 x 最大4・電子ビーム蒸着・2inchマグネトロンス...
小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合わせてフレキ...
必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した...