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多層・積層成膜プロセスの改善により電子デバイスの品質強化と生産性向上に貢献します
φ6インチ基板まで成膜処理可能なロータリ式多層膜スパッタリング装置
多層・積層成膜プロセスの進化により先端デバイスのモノづくり強化に貢献します
φ8インチ基板まで成膜処理可能なマルチチャンバ式多層膜スパッタリング装置
研究開発の加速から小規模生産までを実現します
当社S600/S800装置のユニットが搭載可能な小型スパッタリング装置
当社流量計は液晶パネル製造装置の冷却水配管に使われています。液晶パネルの製造工程
