CVD装置
CVD装置
3件の登録があります。
連続式を極めた高生産性常圧CVD装置 AMAX800V
連続式を極めた高生産性常圧CVD装置 AMAX800V カタログのご案内です。
8インチ 毎時100枚の高スループットSiCトレー採用による重金属汚染対策と長期安定プロセスメンテナンス性の向上
6インチ以下小口径ウェハ用大量生産常圧CVD装置 A6300S
6インチ以下小口径ウェハ用大量生産常圧CVD装置 A6300S カタログのご案内です。
6インチ 毎時120枚のスループットSiCトレー採用による重金属汚染対策
フェイスダウン方式を採用した高性能枚葉式常圧CVD装置 A200V
フェイスダウン方式を採用した高性能枚葉式常圧CVD装置 A200V カタログのご案内です。
±2％以内の膜厚均一性パーティクル発生抑制コンパクトな装置構成良好な段差被覆性低温プロセス対応メンテナンス性向上安全性の向上
