その他真空ポンプ/真空部品

5相ステッピングモーターPKシリーズ真空タイプ10^（-5）対応[...

■特徴・10^(-5)Paの真空環境下で使用できる5 相ステッピングモーターです。・当社ドライバと組み合わせ可能な5本リード線モーターです。・真空環境装置内で位置決め運転をおこなうことができます。・真空環境装置で回転導入機を使用しないことにより、装置のコ...

真空中の動力源ステッピングモーター真空タイプ

半導体製造装置のスパッタリングや、電子顕微鏡をはじめとする計測機器など、さまざまな用途に多数採用されています。■装置の小型化・コスタダウンに貢献■真空チャンバー内の汚染防止を考慮した設計■取付角寸法・電源入力・真空度によるラインアップ▼詳しく...

5相ステッピングモーターPKシリーズ真空タイプ10^（-4）対応

■特徴・10^(-4)Paの真空環境下で使用できる高トルク・低振動の5相ステッピングモーターです。・真空環境下装置内での位置決めをおこなうことができます。・取付角寸法42mmで3機種、取付角寸法60mmで2機種をご用意しています。・当社ドライバと組み合わせ可能な...

物流・イントラロジスティクス向け真空機器

業界トレンド＆ソリューション　物流・イントラロジスティクス

掲載内容◆物流・イントラロジスティクス　業界トレンド＆ソリューション・物流をとりまく自動化・省人化の流れ・実際のワーク例・アプリケーション動画◆物流・イント...

RC-多段エジェクター

工場内にエアー源さえあれば、ホースを繋げるだけで、簡単に吸引できるエジェクターです

加圧エアーの噴射により真空を作り出す装置で、効率を上げる為に多段構造になっています。◆豊富なポンプモデルをラインナップ◆最高真空圧力：-90Kpa◆詳細はカタログを...

大型角型ゲートバルブ SOLVAT　SERIES 06.6

PVセルおよび大型成膜装置用

お客様指定のデザインに柔軟に対応（例: 水冷、加熱プロセスからの保護）◆短い開閉時間による高いスループット◆過酷なプロセスおよび高温用の設計◆バルブのフランジ面間...

ビームストッパー/ ビームストッパーインサート　SERIES 79.0...

フォトンストッパー等の多様なアプリケーション用

◆水冷部と真空部との間に溶接部やロー付け部なし◆工業用◆UHV対応◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

緊急遮断シャッターシステム　SERIES 77.1 / 77.3

加速器やストレージリングの真空系を突然の大気侵入から保護

◆77.1フラップシャッター/77.3スロットシャッター◆高い信頼性◆メンテナンス不要◆研究機関向け◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

LINVAT大気ドアー　SERIES 07.0

半導体製造プロセスにおけるEFEMとロードロックチャンバーの大気側の真空封止に最適

◆シリーズ07.5より更に低発塵性能が向上◆ウェハーに近い駆動機構はグリスフリーを実現◆弁体背面のトーションバー機構による均等なシール性能を有するL字型動作◆アクチュエ...

真空レギュレータNVR(パイロット式)

非接触搬送機器

真空レギュレータVR

電子式圧力スイッチPS3

レバー式 真空機械弁

ローラカム式 真空機械弁

ボールカム式 真空機械弁

足踏式 真空手動弁

押ボタン式 真空手動作動弁

パイロット真空弁２５０Ａ２シリーズ

パイロット真空弁ＶＡ１２５Ａシリーズ

ダイヤフラム型ドライ真空ポンプ　CEP-80

コンビニ・エバポC1・K1と相性抜群！

4色のカラーバリエーション心おどるポンプ■選べる4色、研究シーンを彩るオーガニックカラー■接ガス部分に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ■ダイアフラムにPT...

大容量コンバム（ハイフロー） HFVシリーズ

吸込流量が多い 大容量コンバム

アプリケーション例・軽くて通気性のあるワークの吸着搬送・基盤等の吸着搬送・微粒子物の吸出し・空気やガスの吸出し（空気以外のご使用の際はご相談ください）◆詳...

真空エジェクタ 基本形　CVコンバム

長寿命　可動部のないシンプル構造

・機種豊富　豊富なノズル径で小流量から大流量までシリーズ化・使体流用　無気空縮圧油給・周囲温度　0～60℃（凍結なきこと）・真空エジェクタ 耐薬品･耐ガス用CVコンバ...

真空エジェクタ 基本形　MCVコンバム

CVシリーズの後継機種

・プッシュイン継手搭載・配管チューブに簡単接続・コンパクト：78×42.5mm ボディとサイレンサ一体型・軽量化　樹脂にしたことで従来CVシリーズより50％以上軽量化◆詳...

10mm幅真空エジェクタユニット　MC42シリーズ

デジタル圧力センサ搭載可能

・10mm幅・軽量：ボディ10mm幅、樹脂ボデイの採用で小形、軽量化を実現しました。・マニホールド可能：5連までのマニホールド化が可能です。・真空切換弁MPV42と取付方法が...

真空エジェクタユニット　MC72シリーズ

MC7シリーズの切換機種

・大排気量タイプ：重量の重いワーク、通気性のワークの搬送に最適です。・破壊電磁弁・逆止弁選択可能・マニホールド可能：5連までのマニホールド化が可能です。◆詳細...

真空用フィルタ　VFシリーズ

薄形、大流量、メンテナンス容易

・薄形設計で、大流量の真空吸込み口に接続して使用できます。・配管したままエレメントを簡単に交換できます。・接続口径は豊富　Rp1/8、Rp1/4、Rc3/8。◆詳細はカタロ...

高真空タイプコンバム　HDVシリーズ

通常のコンバムの真空度よりさらに高い真空度（-98.6kPa）を達成

・容器内の気体吸出し（脱気）、真空チャンバーの粗引きに最適・使用流体無給油圧縮空気・周囲温度 0～60℃（但し凍結無きこと）・使用圧力範囲 0.2～0.6MPa・ノズル径 2...

真空エジェクタ 各機能独立形　CVA2コンバム

コンバム、圧力スイッチ、真空破壊バルブの組合せ自由

・真空発生用電磁弁搭載・真空破壊バルブ搭載・真空破壊バルブは真空発生（電磁弁）停止後、自動的に真空破壊を行います・真空破壊動作が終了時（破壊エア吹出し停止時）に...

プッシュイン継手付コンバム　MCAコンバム

軽量コンバム・インライン取付・パッドダイレクト取付

・本体を樹脂化した軽量の基本形コンバム、ノズル径φ1.0タイプの質量は当社比1/3。・プッシュイン継手を内蔵し、配管チューブにワンタッチ接続が可能です。・おねじタイプは...