真空バルブ
真空バルブ
33件の登録があります。
真空バルブ（しんくうバルブ）は、真空チャンバーに取り付けられる真空部品でバルブの一種である。真空バルブは通常のバルブに比べ気体成分をほぼ完全に遮断したり、厳密にコントロールしなければならない。また、その構成材料は殆どの場合真空用材料によって構成されている。
真空バルブの種類
真空バルブは気体（分子や原子）の遮断するものとコントロールするものと2つに分類される。遮断バルブ
通常真空バルブという場合この遮断バルブを示す。このバルブは大気と真空、もしくは異なる圧力空間を遮断する真空空間を隔離するためのバルブである。形状により何種類かのバルブがあるが、圧力領域や用途、真空装置の構造などにより使い分けられる。主に以下の種類がある。ゲートバルブL型バルブストレートバルブバタフライバルブコンダクタンスバルブ
真空チャンバーに流入するガスの流量をコントロールするためのバルブである。コンダクタンスバルブにはガスの流量を制御しながら真空チャンバーに導入するためのバリアブルリークバルブと、真空ポンプと真空チャンバーとの間に入れることにより実行排気速度を制御するためのコンダクタンスバルブとがある。以下の種類がある。ニードルバルブバタフライバルブ関連項目
真空真空フランジ
プロセスガス機器・真空用機器の総合カタログ「ドライファイ...
プロセスガス、真空などを使用する半導体・液晶製造プロセスに最適なCKDドライファイ...
掲載機器は以下の通りです。＊プロセスガス用機器＊高真空用機器＊その他関連機器
真空圧力制御バルブIAVBシリーズ
【真空制御の最適解】従来の高真空バルブの信頼性はそのままに、多彩なプロセスを実現する圧力制御機能を追加しました。あらゆる業種・用途の真空制御に新しいご提案です。信頼性の高い真空バルブをベースに、圧力制御機能を付加。真空時の圧力調整に、レギュ...
長年、圧倒的なバルブ技術力で真空分野に貢献！未来の5G、AI...
研究開発から量産装置まで、真空～極高真空の多種多様な装置・設備にてご使用頂ける...
世界・日本シェア圧倒的No.1! ※VLSI Research 2021より研究開発から量産装置まで、真空～極高真空の多種多様な装置・設備にてご使用頂けるバルブ製品を、この1冊にすべて集約...
ミニUHVゲートバルブ SERIES 01.0
UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ
◆潤滑材不要◆パーティクル発生が少ない◆ショック低減◆Vulcanizedシール◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
UHVアングルバルブ SERIES 28.4
極めて少ないアウトガス量が要求されるUHVアプリケーションの排気およびベント用
◆極めて少ないアウトガス量◆大きな差圧対応◆CF回転フランジ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
UHVゲートバルブ SERIES 10.8
研究開発および産業のUHVアプリケーションの標準バルブ
◆潤滑剤不要◆DN 63-200用 Vulcanizedシール◆メンテナンスが容易◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
【真空バルブのリーディングカンパニー VAT】半導...
溶接ベローズ
【特徴】・高気密性・クリーン・パーティクルフリー・お客様毎にカスタマイズしたソリューションVAT溶接ベローズの主な特長は高気密性、クリーン度と繰り返し寿命...
ポンプ/チャンバー用真空遮断バルブ Lゲートバルブ SERIES ...
半導体や表面分析アプリケーションに最適
◆LゲートバルブSERIES 92.0Lゲートバルブ半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプチャンバー用真空遮断バルブ◆低コスト◆メンテナンスが容易◆パーティクル発生...
コンボコントロールバルブ SERIES 95.1/95.2
ダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ
◆優れた圧力制御能力◆サービス用のアクセスが簡単◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
振子式バルブコントロールシステム SERIES 65.0
SEMI、FPDプロセスのダウンストリーム圧力制御および真空封止用バルブ
特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適◆高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作◆極めて短い制御応答時間◆サービスポート装備（PC接続用またはサー...
大型角型ゲートバルブ TWINVAT SERIES 06.1
最大300x3800mmの開口を備えたFPD製造装置用の軽量バルブ
◆軽量コンポーネントによる高速動作速度◆メンテナンス中のシステム停止時間なし◆3つの異なるサービスポジション◆メンテナンス中の安全モード◆詳細はカタログをダウン...
高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール） SERIES 26.4
高真空アプリケーションの排気、ベント用
◆アングルおよびインラインボディ◆ベローズ◆大きな差圧対応◆長いサイクルライフ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
振子式高真空バルブ SERIES 16.2
コンパクトな真空封止用バルブ、高真空のアプリケーション用
◆バルブの開閉時に振動・パーティクルの発生が少ない◆ボディ分割構造により容易で迅速なメンテナンスが可能◆分解、クリーニング後の調整不要◆詳細はカタログをダウンロ...
バタフライコントロールシステム SERIES 61.2
SEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御用バルブ。
CVDなどの高速で高度なプロセスに最適◆優れた圧力制御能力◆サービス時期の自動検出（コンタミネーション検出）◆サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用）...
ソフト排気用アングルバルブ SERIES 29.0
初期排気、ベント時の乱気流を抑止し、パーティクルの発生・基板の振動抑制用
◆大きな差圧対応◆絞り開口部はメモリでの設定が可能◆アングルおよびインラインボディ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION SERIES 04.3/05.3
半導体製造装置のロードロックチャンバーおよびプロセスチャンバーの真空封止用
エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適◆real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化◆パーティクルフリー、 ショックフリー◆シール材に合わ...
大型角型ゲートバルブ FLAPVAT SERIES 06.8
PVセルおよび大型成膜装置用。
多数のPECVDアプリケーションでの実績あり。◆保有コストが低い◆短い開閉時間による高いスループット◆お客様指定のデザイン◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下...
大型ドアー L-VAT SERIES 07.8
優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ
FPDおよびPV製造装置用◆ショックフリーなL字動作◆パーティクルフリー、 バイブレーションフリーな動作◆保有コストが低い◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さ...
コントロールゲートバルブ SERIES 64.2
SEMI、FPD、産業分野の圧力制御および真空封止用バルブ。
特にスパッタ・エッチングプロセスに最適。◆優れた圧力制御能力◆リミットスイッチ付き◆サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用)◆詳細はカタログをダ...
PARTICLE-FREEゲートバルブ SERIES 15.0/15.1/15.2
15.0 真空/15.1 高真空/15.2 超高真空の真空封止用バルブ
パーティクル発生が極小、低振動を必要とする真空装置用◆ショックが極小◆パーティクル発生が少ない◆真空部と機構は隔離◆Vulcanizedゲートシール◆詳細はカタログを...
振子式コントロールバルブ SERIES 65.5
SEMI、FPDプロセスの圧力制御および真空封止用バルブ
特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適◆高速、パーティクルフリーな動作◆正確な圧力制御◆サービスポート装備（PC接続用とCPAソフトウェア用）◆詳細はカタ...
真空封止用 角型ゲート/インサート MONOVAT SERIES 02.2 / 03.2
200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバー...
◆ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護◆PEEK材でできた差圧タブ◆メンテナンスフリーのアクチュエータ◆簡単なゲート交換◆低ショック◆詳...
耐・放射線性能 オールメタルゲートバルブ SERIES 48.1 / 48.2
極高真空、高温、過酷な条件に対応
◆世界の研究機関で多数の採用実績あり ◆“Hard on hard“シーリング◆頑丈◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
コントロールアングルバルブ SERIES 62.0
縦型炉を使用するLPCVD、ALD等の高温、高圧での 圧力制御および真空封止用バル...
◆自動学習機能◆閉時間1秒◆短い制御応答時間◆簡易メンテナンス◆200° Cまでベーク可能(任意)◆EtherCAT◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
バタフライコントロールバルブ«ポジション制御用» SERIES 61...
シンプルな絞り用アプリケーション。高度な圧力調整が求められないプロセスに最適。
◆超高速動作◆ウィンドウズでのオペレーション可能な搭載型ソフトウェア◆遠隔操作用アナログ / デジタルインターフェイス◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
圧力制御・真空封止用 均等排気バルブ SERIES 67.0
SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ
◆高度なエッチングプロセスに最適◆パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする◆卓越した圧力制御の実績◆サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer...
真空封止アプリケーション用 高真空ゲートバルブ SERIES 09.1
特に堆積物の多いアプリケーションに最適
◆最大差圧で開閉◆セルフクリーニング式ウェッジシールで過酷なプロセスにも対応◆頑丈◆容易なメンテナンス◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
高真空シリンダーバルブ SERIES 25.0 / 25.1 / 25.2
大きなコンダクタンスが要求される高真空アプリケーションの排気およびベント用
◆過酷な環境にも対応（粉末および腐食に対しての高い耐性）◆最大級コンダクタンス◆開位置でのゲートシールを保護◆開および閉位置での機械的ロック◆パーティクル発生が少...
真空ゲートバルブ SERIES 12.1
研究開発および産業の低真空アプリケーションの標準バルブ
◆手動式・圧空作動式◆低コスト◆二分割ボディ◆メンテナンス容易◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。