真空バルブ
真空バルブ
33件の登録があります。
プロセスガス機器・真空用機器の総合カタログ「ドライファイ...
プロセスガス、真空などを使用する半導体・液晶製造プロセスに最適なCKDドライファイ...
掲載機器は以下の通りです。＊プロセスガス用機器＊高真空用機器＊その他関連機器
真空圧力制御バルブIAVBシリーズ
【真空制御の最適解】従来の高真空バルブの信頼性はそのままに、多彩なプロセスを実現する圧力制御機能を追加しました。あらゆる業種・用途の真空制御に新しいご提案です。信頼性の高い真空バルブをベースに、圧力制御機能を付加。真空時の圧力調整に、レギュ...
長年、圧倒的なバルブ技術力で真空分野に貢献！未来の5G、AI...
研究開発から量産装置まで、真空～極高真空の多種多様な装置・設備にてご使用頂ける...
世界・日本シェア圧倒的No.1! ※VLSI Research 2021より研究開発から量産装置まで、真空～極高真空の多種多様な装置・設備にてご使用頂けるバルブ製品を、この1冊にすべて集約...
ミニUHVゲートバルブ SERIES 01.0
UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ
◆潤滑材不要◆パーティクル発生が少ない◆ショック低減◆Vulcanizedシール◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
UHVアングルバルブ SERIES 28.4
極めて少ないアウトガス量が要求されるUHVアプリケーションの排気およびベント用
◆極めて少ないアウトガス量◆大きな差圧対応◆CF回転フランジ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
UHVゲートバルブ SERIES 10.8
研究開発および産業のUHVアプリケーションの標準バルブ
◆潤滑剤不要◆DN 63-200用 Vulcanizedシール◆メンテナンスが容易◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
【真空バルブのリーディングカンパニー VAT】半導...
溶接ベローズ
【特徴】・高気密性・クリーン・パーティクルフリー・お客様毎にカスタマイズしたソリューションVAT溶接ベローズの主な特長は高気密性、クリーン度と繰り返し寿命...
ポンプ/チャンバー用真空遮断バルブ Lゲートバルブ SERIES ...
半導体や表面分析アプリケーションに最適
◆LゲートバルブSERIES 92.0Lゲートバルブ半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプチャンバー用真空遮断バルブ◆低コスト◆メンテナンスが容易◆パーティクル発生...
コンボコントロールバルブ SERIES 95.1/95.2
ダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ
◆優れた圧力制御能力◆サービス用のアクセスが簡単◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
振子式バルブコントロールシステム SERIES 65.0
SEMI、FPDプロセスのダウンストリーム圧力制御および真空封止用バルブ
特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適◆高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作◆極めて短い制御応答時間◆サービスポート装備（PC接続用またはサー...
大型角型ゲートバルブ TWINVAT SERIES 06.1
最大300x3800mmの開口を備えたFPD製造装置用の軽量バルブ
◆軽量コンポーネントによる高速動作速度◆メンテナンス中のシステム停止時間なし◆3つの異なるサービスポジション◆メンテナンス中の安全モード◆詳細はカタログをダウン...
高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール） SERIES 26.4
高真空アプリケーションの排気、ベント用
◆アングルおよびインラインボディ◆ベローズ◆大きな差圧対応◆長いサイクルライフ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
振子式高真空バルブ SERIES 16.2
コンパクトな真空封止用バルブ、高真空のアプリケーション用
◆バルブの開閉時に振動・パーティクルの発生が少ない◆ボディ分割構造により容易で迅速なメンテナンスが可能◆分解、クリーニング後の調整不要◆詳細はカタログをダウンロ...
バタフライコントロールシステム SERIES 61.2
SEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御用バルブ。
CVDなどの高速で高度なプロセスに最適◆優れた圧力制御能力◆サービス時期の自動検出（コンタミネーション検出）◆サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用）...
ソフト排気用アングルバルブ SERIES 29.0
初期排気、ベント時の乱気流を抑止し、パーティクルの発生・基板の振動抑制用
◆大きな差圧対応◆絞り開口部はメモリでの設定が可能◆アングルおよびインラインボディ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION SERIES 04.3/05.3
半導体製造装置のロードロックチャンバーおよびプロセスチャンバーの真空封止用
エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適◆real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化◆パーティクルフリー、 ショックフリー◆シール材に合わ...
大型角型ゲートバルブ FLAPVAT SERIES 06.8
PVセルおよび大型成膜装置用。
多数のPECVDアプリケーションでの実績あり。◆保有コストが低い◆短い開閉時間による高いスループット◆お客様指定のデザイン◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下...
大型ドアー L-VAT SERIES 07.8
優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ
FPDおよびPV製造装置用◆ショックフリーなL字動作◆パーティクルフリー、 バイブレーションフリーな動作◆保有コストが低い◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さ...
コントロールゲートバルブ SERIES 64.2
SEMI、FPD、産業分野の圧力制御および真空封止用バルブ。
特にスパッタ・エッチングプロセスに最適。◆優れた圧力制御能力◆リミットスイッチ付き◆サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用)◆詳細はカタログをダ...
PARTICLE-FREEゲートバルブ SERIES 15.0/15.1/15.2
15.0 真空/15.1 高真空/15.2 超高真空の真空封止用バルブ
パーティクル発生が極小、低振動を必要とする真空装置用◆ショックが極小◆パーティクル発生が少ない◆真空部と機構は隔離◆Vulcanizedゲートシール◆詳細はカタログを...
振子式コントロールバルブ SERIES 65.5
SEMI、FPDプロセスの圧力制御および真空封止用バルブ
特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適◆高速、パーティクルフリーな動作◆正確な圧力制御◆サービスポート装備（PC接続用とCPAソフトウェア用）◆詳細はカタ...
真空封止用 角型ゲート/インサート MONOVAT SERIES 02.2 / 03.2
200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバー...
◆ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護◆PEEK材でできた差圧タブ◆メンテナンスフリーのアクチュエータ◆簡単なゲート交換◆低ショック◆詳...
耐・放射線性能 オールメタルゲートバルブ SERIES 48.1 / 48.2
極高真空、高温、過酷な条件に対応
◆世界の研究機関で多数の採用実績あり ◆“Hard on hard“シーリング◆頑丈◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
コントロールアングルバルブ SERIES 62.0
縦型炉を使用するLPCVD、ALD等の高温、高圧での 圧力制御および真空封止用バル...
◆自動学習機能◆閉時間1秒◆短い制御応答時間◆簡易メンテナンス◆200° Cまでベーク可能(任意)◆EtherCAT◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
バタフライコントロールバルブ«ポジション制御用» SERIES 61...
シンプルな絞り用アプリケーション。高度な圧力調整が求められないプロセスに最適。
◆超高速動作◆ウィンドウズでのオペレーション可能な搭載型ソフトウェア◆遠隔操作用アナログ / デジタルインターフェイス◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
圧力制御・真空封止用 均等排気バルブ SERIES 67.0
SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ
◆高度なエッチングプロセスに最適◆パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする◆卓越した圧力制御の実績◆サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer...
真空封止アプリケーション用 高真空ゲートバルブ SERIES 09.1
特に堆積物の多いアプリケーションに最適
◆最大差圧で開閉◆セルフクリーニング式ウェッジシールで過酷なプロセスにも対応◆頑丈◆容易なメンテナンス◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
高真空シリンダーバルブ SERIES 25.0 / 25.1 / 25.2
大きなコンダクタンスが要求される高真空アプリケーションの排気およびベント用
◆過酷な環境にも対応（粉末および腐食に対しての高い耐性）◆最大級コンダクタンス◆開位置でのゲートシールを保護◆開および閉位置での機械的ロック◆パーティクル発生が少...
真空ゲートバルブ SERIES 12.1
研究開発および産業の低真空アプリケーションの標準バルブ
◆手動式・圧空作動式◆低コスト◆二分割ボディ◆メンテナンス容易◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。