1/17ページ
ダウンロード(2.4Mb)
このカタログについて
ドキュメント名 | デジタルリニアゲージ |
---|---|
ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 2.4Mb |
取り扱い企業 | 株式会社小野測器 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
この企業の関連カタログ

このカタログの内容
Page1
01
総合カタログ
デジタルリニアゲージ
Page2
Digital Linear_p02-03
CONTENTS
現場の 知りたい・分からない を解決する
アプリケーション . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4,5 小野測器のデジタルリニアゲージ
システム構成 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6,7
リニアゲージセンサー 小野測器のリニアゲージセンサーは光学式を利用して物の寸法、変位を計測し
BSシリーズ ベビーゲージセンサー . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 ます。
GS-3800Bシリーズ 高分解能タイプ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
GS-1700A/1800Aシリーズ ベーシックタイプ 完成品の寸法計測はもちろん、ラインでの不良品検査、剛性試験、ステージ等の
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
GS-6700A/6800Aシリーズ 耐振動タイプ 位置決めといった現場の様々な要求に応えます。
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
GS-4700A/4800Aシリーズ ロングライフタイプ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
GS-5050A/5100Aシリーズ ロングストロークタイプ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13 豊富なラインアップ
デジタルゲージカウンター
DG-5100 0.1 μm分解能デジタルゲージカウンター . . . . . . . . . . 14, 15 小野測器では、用途に合わせたリニアゲージセンサーを豊富にご用意しております。
DG-4320/4340 小型汎用型 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16, 17 測定範囲は10 mm(BSシリーズ)~100 mm(GS-5000Aシリーズ)まで、分解能
DG-2310 2ch和差演算機能付き . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18, 19 は0.1 µm(GS-3800Bシリーズ)~10 µmまでと、測定物の大小や希望の分解能
関連機器 に合わせてお選びいただけます。
DG-0010/0020 出力変換ボックス . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20 また汎用タイプ以外にも、耐衝撃タイプや防油性も備えたロングライフ(タフゲー
センサー関係アクセサリ ジ)タイプ、小型タイプなどお客様が必要とする性能に合わせたリニアゲージセン
レリーズ・フィンガーリフト サーをご提供いたします。
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
エアリフター . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 (リニアゲージセンサーラインアップはP.6、7へ)
延長スピンドル . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
測定子 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
測定子アダプター . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22 ノイズに強い高分解能タイプ
取り付け金具 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
防塵ゴム 小野測器でご用意している分解能0.1 µmの高分解能タイプ(GS-3800Bシリー
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
ゲージスタンド . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24 ズ)は90°位相差差動方式(ラインドライバー出力方式)を採用しています。
スタンドブッシュ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24 通常よりノイズに強い方式を採用することで、高分解能な計測においてもより正
カウンター関係アクセサリ 確で誤差の少ない計測を実現します。
ケーブル (高分解能タイプのリニアゲージセンサーはP.9へ)
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
端子台カバー/コネクター/パネル取り付け金具 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
プリンター用消耗品 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 アプリケーションの詳しい例は、P.4、5をご参照ください。
技術 資 料 リニアゲージセンサー リニアゲージセンサーの詳しい説明については、P.26~をご参照ください。
検出原理 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
出力回路 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
計測用語 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
指示精度と分解能 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
測定力 デジタルゲージカウンター
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
デジタル信号を利用し測定値を読み取る場合 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
アナログ出力信号を利用し測定値を読み取る場合 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27 リニアゲージセンサーからの信号を入力し、寸法・変位を精密に計測・表示します。演算機能、コンディション保存機能、
コンパレーター出力信号による制御を行う場合 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28 豊富な外部出力により、PLCや、PC※1、レコーダー※1等に接続出来ますので、測定データの記録・管理も容易に行え
リニアゲージセンサーの取り付け方法 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28 ます。(※1: DG-5100、DG-2310のみ対応: 別途オプションカードが必要です。)
品質保証 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
小型汎用型 高分解能型 2ch和差演算機能付き
DG-4320/DG-4340 DG-5100 DG-2310
3
Page3
Digital Linear_p04-05
アプリケーション例 小野測器のデジタルリニアゲージは、様々なニーズにお応えします。
●部品の段差測定・選別 ●成型品の穴深さ測定 ●回転軸の振れ測定 ●段差のある建築部材の平行度測定
段差測定=A-B 段差のある部材にリニアゲージセンサー(2ch)を取り付け、リニアゲージセンサーを
NG A
B スライドさせて、2ch間の差(A-B)で平行度を測定する
判定基準=最大値-最小値
Ach 平行度測定=A-B
A
OK BS/GS シリーズ
BS/GS シリーズ B
BS/GS シリーズ Bch
BS/GS 測定例
シリーズ
RANGE
4.137 mm
0.0000 mm
MAX
2.230 mm
MIN
-1.907 mm
測定開始 測定終了
デジタルゲージカウンター:DG-2310 デジタルゲージカウンター:DG-4320/4340/5100 デジタルゲージカウンター:DG-4320/4340/5100 デジタルゲージカウンター:DG-2310
●材料の厚さ測定 ●ゴルフボールのランク分け ●ベアリングの偏心測定 ●円筒状の部品の直角度測定
円筒状の部品の側面に対して直角にリニアゲージセンサー(2ch)を取り付け、2ch間の
A 100 kg 差(A-B)の最大値で直角度を測定する
B 荷重1 kgでゼロ点にして荷 偏心測定=最大値-最小値
直角度測定=MAX値(A-B)
厚さ測定=A+B 重100 kgのときの変化量で
BS/GS BS/GS ランク分けを行う。
シリーズ シリーズ 1 kgで BS/GS シリーズ
ゼロ点
BS/GS シリーズ
Ach
ゴルフ Bch
ボール
デジタルゲージカウンター:DG-2310 デジタルゲージカウンター:DG-4320/4340/5100 デジタルゲージカウンター:DG-4320/4340/5100 デジタルゲージカウンター:DG-2310
●建築、土木材料の強度試験 コンクリート・鉄
木材・合板・樹脂 等 ●ミッションギアの平面度測定 ●偏心量測定 ●平行度測定
径の違う最大ワークを回転させながらDG-2310で演算し、Aに対するBの最大偏心量を リニアゲージセンサーをスライドさせ、ワークの平行度(MAX値)を測定し合否判定する
荷重 測定する
BS/GS シリーズ
Bch
BS/GS シリーズ
試験材 BS/GS シリーズ
偏心量測定=MAX値(A-B)
Ach
デジタルゲージカウンター:DG-4320/4340/5100 デジタルゲージカウンター:DG-4320/4340/5100 デジタルゲージカウンター:DG-2310 デジタルゲージカウンター:DG-4320/4340/5100
●シリコンウェハーの厚み測定 ●XYステージ等の位置決め測定 ●大型成型品の荷重変位測定 自動車のボディやドアに、ある一定の荷重を徐々に加え、その時の測定点の変位を多チャンネルで測定する
荷重-変位の関係からボディの強度がわかります
GS-3813B
荷重
GS-3830B
GS-3830B
専用デジタルゲージカウンター:DG-5100 専用デジタルゲージカウンター:DG-5100 出力変換ボックス:DG-0010/0020
4 5
Page4
Digital Linear_p06-07
システム構成
リニリアニゲアーゲジーセジンセサンーサ デジタルゲージカウンター
測定範囲
特 長 分解能 機 能 表示 DIN 機 能 出 力
10 mm 13 mm 30 mm 50 mm 100 mm 標準 2ch
GS-1713A GS-1730A LCD LED 蛍光灯 サイズ 和差 オ フ MAX MIN レンジ
アナログ BCD
型 名 演算 セット ホールド (MAX-MIN) 乗数 RS- コンパ
ホールド 表示 設定 232C レーター
DG-4320
10 μm
72
×
汎用タイプ P.10 P.10 72
保護構造IP64 GS-1813A GS-1830A
P.16
DG-4340
1 μm
72
×
P.10 P.10 72
GS-6713A GS-6730A ① P.16
DG-2310
10 μm
144
耐振・耐衝撃 ×
P.11 P.11
タイプ*1 72
GS-6813A GS-6830A
保護構造IP64 P.18
DG-5100
1 μm *7
96 *3 *4 *5 *6
×
P.11 P.11 48
GS-4713A GS-4730A
P.14
10 μm *3 RS-232Cカードオプション TM-0350が必要です。
*4 アナログ出力オプション DG-0530が必要です。
耐振・防油 *5 BCDオプション DG-0522が必要です。
ロングライフ P.12 P.12 *6 コンパレーター出力オプション TM-0340が必要です。
GS-4813A GS-4830A *7 接続変換ケーブル AA-8910が必要です。
タイプ*2 各種CPU レコーダー PLC
保護構造IP66G
1 μm 出力変換ボックス
P.12 P.12 機 能
型 名 出力方式 出力コネクター
BS-1210
DG-0010
オープン お客様ご用意 お客様ご用意 お客様ご用意
10 μm コレクター R03-R6M
小型タイプ P.8 P.20
保護構造IP66 BS-1310 DG-0020
ライン
ドライバー R03-R6M
1 μm
P.20
P.8
GS-5050A GS-5100A
オプション
10 μm
ロング
ストローク P.13 P.13 レリーズ・フィンガーリフト/エアリフター ⇒P.21 防塵ゴム ⇒P.23
タイプ GS-5051A GS-5101A
保護構造IP5X リニアゲージセンサーのスピンドル
1 μm の上下動作を行う補助アクセサリ 取り付け金具 ⇒P.23
です。
P.13 P.13 リニアゲージセンサーを取り付けるための金具(耳金)です。
GS-3813B GS-3830B
高分解能
タイプ 0.1 μm ② ゲージスタンド ⇒P.24
保護構造IP66G
P.9 P.9 延長スピンドル ⇒P.21 リニアゲージセンサーを固定する
*1 耐振動・耐衝撃タイプとは規定の衝撃振動が加わってもリニアゲージセンサーが破損しないということです。振動衝撃下で正常に計測ができることは保証しません。 測定用ゲージスタンドは3種類ご
*2 当社従来品に比べて摺動寿命が3倍です。 小穴の深さ測定など標準のスピンドルのみでは届かない場所 用意しております。
の測定に有効です。
延長信号ケーブル お使いのリニアゲージセンサーの
ステム径によってお選びください。
型 名 延長点 測定子 ステム径の異なるリニアゲージセ
⇒P.22
AA-8801~8804 ① ンサーをお使いの方にはステム
P.25 測定用途によってご希望の測定子をお選びいただくことが可 径変更用のスタンドブッシュもご
AA-8811~8814
(耐屈曲タイプ) ① 能です。平型測定子やライン上で使用できるローラ型測定子も 用意しております。
P.25 ご用意しております。
AA-8901~8904 ②
P.25
6 7
Page5
Digital Linear_p08-09
リニアゲージセンサー リニアゲージセンサー
BSシリーズ(ベビーゲージセンサー) GS-3800Bシリーズ(高分解能タイプ)
*4 BS-1210/1310 *4 *4 GS-3813B/3830B
■各種寸法、変位、移動量を検出する小型な検出器 ■分解能0.1 µmの高分解能
■保護構造IP66 ■保護構造IP66G
■優れた耐久性、耐振動・衝撃性をコンパクトに実現 防塵、防水のみならず耐油性も実現
■軸受寿命と耐環境性能を大幅に向上し、
高分解能タイプながら自動機での使用にも対応可能
GS-3813B GS-3830B
BS-1210 ¥62,000(税抜き) ¥98,000(税抜き) ¥108,000(税抜き)
BS-1310 ¥87,000(税抜き)
項 目 型 名
項 目 型 名 仕 様 GS-3813B GS-3830B
仕 様 BS-1210 BS-1310 測定範囲 13 mm 30 mm
測定範囲 10 mm 適応デジタルゲージカウンター DG-5100
分解能 10 μm 1 μm 分解能 0.1 μm
指示精度(+20 ℃において) 3 μm 指示精度(+20 ℃において) 1 μm
最大応答速度*1 1(4) m/s 0.3(1.2) m/s 最大応答速度*1 0.3 m/(s 1.2 m/s)
測定力(下向き)*2 1.47 N以下 測定力(下向き)*2 2.3 N以下 2.7 N以下
摺動回数(当社条件による) 3000万回 摺動回数(当社条件による) 1500万回
保護等級(コネクター部分を除く) IP66(JIS) 保護等級(コネクター部分を除く) IP66G
ステム径 φ8+0 -0.03 mm ステム径 φ15+0 -0.009 mm
供給電源 DC4.5~5.5 V 供給電源 DC4.5~DC5.5 V
消費電流(DC5 V入力時) 30 mA以下 50 mA以下 消費電流(DC5 V供給時) 150 mA以下
信号出力(DC5 V供給時) 2相方形波信号 位相差90°±20° 信号出力(DC5 V供給時) 90°位相差差動方形波 RS422A適合ラインドライバー出力(26C31相当品)
出力電圧 H:i +4.5 V以上、Lo:+0.4 V以下 耐振動(非通電時)*3 196 m/s2 3軸各方向(各75分)10 Hzから150 Hzスイープ 10サイクル
出力インピーダンス 約33 Ω(PTCサーミスタ at25 ℃) 耐衝撃(非通電時)*3 1960 m/s2 3軸各方向各向き ±X、Y、Z各3回 正弦半波 作用時間6 ms
耐振動(非通電)*3 98 m/s2 3軸各方向(各150分)、 10~150 Hz スイープ、20サイクル 使用温度範囲 0~+40 ℃
耐衝撃(非通電)*3 980 m/s2 3軸各方向各向き±X/Y/Z各3回(合計18回)、 正弦半波、 作用時間6 ms 保存温度範囲 -10~+55 ℃
使用温度範囲 0~+50 ℃ ケーブル長 約4.9 m
保存温度範囲 -10~+65 ℃ 質量(ケーブル、コネクターを含む) 約350 g 約420 g
ケーブル長 リ ニアゲージセンサー~デジタルゲージカウンター間 約 1.9 m 付属品 取扱説明書、スパナ
質量(ケーブルを含む) 約 110 g
付属品 取扱説明書 *1( )内は、当社デジタルゲージカウンターDG-5100使用時の電気的応答速度です。
*2 上向き使用では、スピンドルが完全に戻らない場合があります。測定力軽減が必要な場合、GS-3813Bで上向き使用の場合は、測定力改造(有料オプション)が
*1 当社デジタルゲージカウンター使用の時(、 )内はDG-4320/4340/5100で使用時の電気的応答速度です。 必要です。GS-3830Bの上向き使用での測定力改造は、対応しておりません。
*2 ご使用方法によっては、まれにスピンドルの可動範囲異常が発生する場合があります。異常発生時は、手動にてスピンドルをフルストローク可動してください。 *3 測定中の耐振動・耐衝撃は表記値を保証しません。
*3 測定中での機械的仕様の耐振動および耐衝撃は保証しておりません。 *4 信号ケーブルの途中切断、改造の場合CEマーキング非適合になります。
*4 信号ケーブルの途中切断、改造の場合CEマーキング非適合になります。
オプション フィンガーリフト AA-969
オプション 機械式レリーズ*5 AA-813 ゲージスタンド ST-0230
取り替え用防塵ゴム AA-4104(13 mm)、 AA-4105(30 mm)*5ゲージスタンド ST-022
取り替え用防塵ゴム AA-973 延長スピンドル AA-844(30 mm)、 AA-845(50 mm)
測定子*6 各種 測定子 各種
延長スピンドル AA-844(30 mm)、 AA-845(50 mm) 取り付け金具 AA-3310
延長ケーブル 各種 延長ケーブル AA-8901(5 m)、 AA-8902(10 m)、 AA-8903(20 m)、 AA-8904(30 m)
*5 レリーズ使用の場合は、IP66は保証されません。 *5 取り替え用防塵ゴムは有償引き取り交換です。
*6 各種測定子を使用する場合は防塵ゴムを外しての装着になりますので、IP66は保証されません。 外形寸法図 GS-3813B GS-3830B ヒロセ電機
ヒロセ電機 型名(HR10A-7P-6P(73))
型名(HR10A-7P-6P(73))
外形寸法図 (単位: mm)
信号ケーブルφ4 35
35 8 8
(単位: mm) 長さ 約1.9 m φ11 φ11
10.5 10.5
多治見
型名(R03-PB6M)
8.3
φ6.2 3.8
取り付け面
2-φ3.5
13 14±0.1
φ15+0-0.009
取り付け面
2
レリーズ -φ3.5
取り付け用フタ 13 14±0.1
14 6 取り付け面 2.5 8 φ15+0-0.009
2-M3貫通 取り付け面 取り付け面 1 33 1 9
(20) 13
16 13 13 2-M3
深6
φ8 +0-0.03
φ4
1 33 1 9
(20) 13
ボウジンゴム
8 9
15.5 LINEAR GAUGE SENSOR 10mm
7.5 3.5 1.5
(10.6) 19.2 7
38.5 56
3.5
BS-1210 IP66
No. 00001 CE
ONO SOKKI CO.,LTD JAPAN
φ11.5
63.5 79.5
3.5
φ5
LINEAR GAUGE SENSOR 13 mm
9 (12)
21
(39.5) 20.5
60 83 (3.5)
146.5
φ11.5
95.5 119.5
3.5
φ5
LINEAR GAUGE SENSOR 30 mm
9 (12)
21
(63.5) 28.5
92 123 (3.5)
218.5
Page6
Digital Linear_p10-11
リニアゲージセンサー リニアゲージセンサー
GS-1700A/1800Aシリーズ(ベーシックタイプ) GS-6700A/6800Aシリーズ(耐振動タイプ)
*5 *5 GS-1713A/1730A *5 *5 GS-6713A/6730A
GS-1813A/1830A GS-6813A/6830A
■小野測器リニアゲージセンサーの標準器 ■小野測器標準器のGS-1700A/1800Aシリーズに比べ、耐振動、耐衝撃
■保護構造IP64 性を1.5倍に強化
■ボールベアリング採用で安定した動作が長続き ■保護等級IP64
■自動機に取り付けての使用に最適
GS-1713A GS-1730A GS-6713A GS-6730A
¥29,000(税抜き) ¥41,000(税抜き) ¥35,000(税抜き) ¥47,000(税抜き)
GS-1813A GS-1830A GS-6813A GS-6830A
¥34,000(税抜き) ¥50,000(税抜き) ¥41,000(税抜き) ¥56,000(税抜き)
仕 様 項 目 型 名 GS-1713A GS-1730A GS-1813A GS-1830A 仕 様 項 目 型 名 GS-6713A GS-6730A GS-6813A GS-6830A
測定範囲 13 mm 30 mm 13 mm 30 mm 測定範囲 13 mm 30 mm 13 mm 30 mm
分解能 10 μm 1 μm 分解能 10 μm 1 μm
指示精度(+20 ℃において) 3 μm 2 μm 3 μm 指示精度(+20 ℃において) 3 μm 2 μm 3 μm
最大応答速度*1 1(4) m/s 0.3(1.2) m/s 最大応答速度*1 1(4) m/s 0.3(1.2) m/s
測定力(下向き)*2 1.3 N以下 1.9 N以下 1.3 N以下 1.9 N以下 測定力(下向き)*2 1.3 N以下 1.9 N以下 1.3 N以下 1.9 N以下
測定力変更範囲(オプション)*3 約0.6~1.3 N 約0.7~1.9 N 約0.6~1.3 N 約0.7~1.9 N 測定力変更範囲(オプション)*3 約0.6~1.3 N 約0.7~1.9 N 約0.6~1.3 N 約0.7~1.9 N
摺動回数(当社条件による) 650万回 摺動回数(当社条件による) 650万回
保護等級(コネクター部分を除く) IP64 保護等級(コネクター部分を除く) IP64
ステム径 φ15+0 -0.009 mm ステム径 φ15+0 -0.009 mm
供給電源 DC4.5~5.5 V 供給電源 DC4.5~5.5 V
消費電流(DC5 V供給時) 120 mA以下 消費電流(DC5 V供給時) 120 mA以下
信号出力(DC5 V供給時) 2相方形波信号、 位相差90°±20°、 出力電圧 H:i+4.5 V以上 Lo:+0.4 V以下 信号出力(DC5 V供給時) 2相方形波信号、 位相差90°±20°、 出力電圧 H:i+4.5 V以上 Lo:+0.4 V以下
出力インピーダンス 約22 Ω 出力インピーダンス 約22 Ω
耐振動(非通電時)*4 98 m/s2 3軸各方向(各75分)10 Hzから150 Hzスイープ 10サイクル 耐振動(非通電時)*4 147 m/s2 3軸各方向(各75分)10 Hzから150 Hzスイープ 10サイクル
耐衝撃(非通電時)*4 980 m/s2 3軸各方向各向き ±X,Y,Z各3回 正弦半波 作用時間6 ms 耐衝撃(非通電時)*4 1470 m/s2 3軸各方向各向き ±X,Y,Z各3回 正弦半波 作用時間6 ms
使用温度範囲 0~+40 ℃ 使用温度範囲 0~+40 ℃
保存温度範囲 -10~+55 ℃ 保存温度範囲 -10~+55 ℃
ケーブル長 約1.9 m ケーブル長 約1.9 m
質量(ケーブル、コネクターを含む) 約250 g 約310 g 約250 g 約310 g 質量(ケーブル、コネクターを含む) 約250 g 約310 g 約250 g 約310 g
付属品 取扱説明書、 スパナ 付属品 取扱説明書、スパナ
*1 当社デジタルゲージカウンター使用の時(、 )内はDG-4320/4340/5100で使用時の電気的応答速度です。 *1 当社デジタルゲージカウンター使用の時(、 )内はDG-4320/4340/5100で使用時の電気的応答速度です。
*2 上向き使用では、スピンドルが完全に戻らない場合があります。上向き使用の場合、測定力軽減が必要な場合は測定力改造(有料オプション)が必要です。 *2 上向き使用では、スピンドルが完全に戻らない場合があります。上向き使用の場合、測定力軽減が必要な場合は、測定力改造(有料オプション)が必要です。
*3 下向き使用時の値。測定力を変更した場合、横向き、上向き使用ではスピンドルが完全に戻らない場合があります。 *3 下向き使用時の値。測定力を変更した場合、横向き、上向き使用ではスピンドルが完全に戻らない場合があります。
*4 測定中の耐振動・耐衝撃は、表記値を保証しません。 *4 測定中の耐振動・耐衝撃は、表記値を保証しません。
*5 信号ケーブルの途中切断、改造の場合、CEマーキング非適合になります。 *5 信号ケーブルの途中切断、改造の場合、CEマーキング非適合になります。
オプション フィンガーリフト AA-969 オプション フィンガーリフト AA-969
ゲージスタンド ST-0230 ゲージスタンド ST-0230
取り替え用防塵ゴム AA-4102(13 mm)、 AA-4103(30 mm) 取り替え用防塵ゴム AA-4102(13 mm)、 AA-4103(30 mm)
延長スピンドル AA-844(30 mm)、 AA-845(50 mm) 延長スピンドル AA-844(30 mm)、 AA-845(50 mm)
測定子 各種 測定子 各種
取り付け金具 AA-3310 取り付け金具 AA-3310
延長ケーブル AA-8801(5 m)、 AA-8802(10 m)、 AA-8803(20 m)、 AA-8804(30 m) 延長ケーブル AA-8801(5 m)、 AA-8802(10 m)、 AA-8803(20 m)、 AA-8804(30 m)
外形寸法図 34 34
GS-1713A/1813A ケーブル長さ GS-1730A/1830A ケーブル長さ 外形寸法図 34 34
GS-6713A/6813A GS-6730A/6830A ケーブル長さ
約1.9 m 約1.9 m ケーブル長さ 約1.9 m
(単位: mm) (単位: mm) 約1.9 m
多治見 8.5 多治見 8.5 多治見
型名(R03-PB6M) φ11 (R03-PB6M) φ11 8.5 多治見 8.5
型名(R03-PB6M) φ11 型名(R03-PB6M)
10.5 10.5 φ11
10.5 10.5
取り付け面
取り付け面
2-φ3.5 2-φ
13 14 3
±0.1 .5
φ15+0-0.009 13 14±0.1 φ15+0-0.009
2-φ3
.5 取り付け面
2-φ3
.5 取り付け面
13 14±0.1
φ15+0 13 14±0.1
-0.009
φ15+0-0.009
1 33 1 9
1 33 1 9
(20) 13
(20) 13
1 33 1 9 1 33 1 9
(20) 13 (20) 13
10 11
φ15.5
58.5 79.5
3.5
φ4
LINEAR GAUGE SENSOR 13 mm
9 (12)
21
(39.5) 15.5
55 83 (3.5)
141.5
φ15.5
82.5 119.5
3.5
φ4
LINEAR GAUGE SENSOR 30 mm
9 (12)
21
(63.5) 15.5
79 123 (3.5)
205.5
φ15.5
58.5 79.5
3.5
φ4
LINEAR GAUGE SENSOR 30 mm
9 (12)
21
(39.5) 15.5
55 83 (3.5)
141.5
φ15.5
82.5 119.5
3.5
φ4
LINEAR GAUGE SENSOR 30 mm
9 (12)
21
(63.5) 15.5
79 123 (3.5)
205.5
Page7
Digital Linear_p12-13
リニアゲージセンサー リニアゲージセンサー
GS-4700A/4800Aシリーズ(ロングライフタイプ) GS-5050A/5100Aシリーズ(ロングストロークタイプ)
*4 *4 GS-4713A/4730A *5 *5 GS-5050A/5100A
GS-4813A/4830A GS-5051A/5101A
■小野測器標準器のGS-1700A/1800Aに比べて軸受け寿命が2倍以上 ■測定範囲50 mm、100 mmのロングストロークタイプ
に向上 ■保護等級IP5X
■保護等級IP66G ■建材や大型成形品といった大きな対象物の変位計測も高精度に計測可能
■長寿命と高い耐環境性を持ち合わせたタフゲージ
GS-4713A GS-4730A GS-5050A GS-5100A
¥57,000(税抜き) ¥80,000(税抜き) ¥93,000(税抜き) ¥ 108,000(税抜き)
GS-4813A GS-4830A GS-5051A GS-5101A
¥68,000(税抜き) ¥97,000(税抜き) ¥ 121,000(税抜き) ¥ 152,000(税抜き)
仕 様 項 目 型 名 GS-4713A GS-4730A GS-4813A GS-4830A 仕 様 項 目 型 名 GS-5050A GS-5100A GS-5051A GS-5101A
測定範囲 13 mm 30 mm 13 mm 30 mm 測定範囲 50 mm 100 mm 50 mm 100 mm
分解能 10 μm 1 μm 分解能 10 μm 1 μm
指示精度(+20 ℃において) 3 μm 2 μm 3 μm 指示精度(+20 ℃において) 10 μm 12 μm 4 μm 5 μm
最大応答速度*1 1(4) m/s 0.3(1.2) m/s 最大応答速度*1 1(4) m/s 0.3(1.2) m/s
測定力(下向き)*2 1.8 N以下 2.4 N以下 1.8 N以下 2.4 N以下 測定力(下向き)*2 2.9 N以下 5.2 N以下 2.9 N以下 5.2 N以下
摺動回数(当社条件による) 1500万回 測定力変更範囲(オプション)*3 約1.8~2.9 N 約3.4~5.2 N 約1.8~2.9 N 約3.4~5.2 N
保護等級(コネクター部分を除く) IP66G 摺動回数(当社条件による) 1500万回
ステム径 φ15+0 -0.009 mm 保護等級(コネクター部分を除く) IP5X
供給電源 DC4.5~5.5 V ステム径 φ15+0 -0.009 mm
消費電流(DC5 V供給時) 120 mA以下 供給電源 DC4.5~5.5 V
信号出力(DC5 V供給時) 2相方形波信号、 位相差90°±20°、 出力電圧 H:i+4.5 V以上 Lo:+0.4 V以下 消費電流(DC5 V供給時) 120 mA以下
出力インピーダンス 約22 Ω 信号出力(DC5 V供給時) 2相方形波信号、 位相差90°±20°、 出力電圧 H:i+4.5 V以上 Lo:+0.4 V以下
耐振動(非通電時)*3 196 m/s2 3軸各方向(各75分)10 Hzから150 Hzスイープ 10サイクル 出力インピーダンス 約22 Ω
耐衝撃(非通電時)*3 1960 m/s2 3軸各方向各向き ±X,Y,Z各3回 正弦半波 作用時間6 ms 耐振動(非通電時)*4 147 m/s2 3軸各方向(各75分)10 Hzから150 Hzスイープ 10サイクル
使用温度範囲 0~+40 ℃ 耐衝撃(非通電時)*4 1470 m/s2 3軸各方向各向き ±X,Y,Z各3回 正弦半波 作用時間6 ms
保存温度範囲 -10~+55 ℃ 使用温度範囲 0~+40 ℃
ケーブル長 約4.9 m 保存温度範囲 -10~+55 ℃
質量(ケーブル、コネクターを含む) 約325 g 約385 g 約325 g 約385 g ケーブル長 約4.9 m
付属品 取扱説明書、 スパナ 質量(ケーブル、コネクターを含む) 約570 g 約655 g 約570 g 約655 g
*1 当社デジタルゲージカウンター使用の時(、 )内はDG-4320/4340/5100使用時の電気的応答速度です。 付属品 取扱説明書
*2 上向き使用では、スピンドルが完全に戻らない場合があります。上向き使用の場合、測定力軽減が必要な場合は、測定力改造(有料オプション)が必要です。 *1 当社デジタルゲージカウンター使用の時(、 )内はDG-4320/4340/5100で使用時の電気的応答速度です。
*3 測定中の耐振動・耐衝撃は、表記値を保証しません。 *2 上向き使用では、スピンドルが完全に戻らない場合があります。上向き使用の場合、測定力軽減が必要な場合は、測定力改造(有料オプション)が必要です。
*4 信号ケーブルの途中切断、改造の場合、CEマーキング非適合になります。 *3 下向き使用時の値。測定力を変更した場合、横向き、上向き使用では、スピンドルが完全に戻らない場合があります。
*4 測定中の耐振動・耐衝撃は、表記値を保証しません。
オプション フィンガーリフト AA-969 *5 信号ケーブルの途中切断、改造の場合、CEマーキング非適合になります。
ゲージスタンド ST-0230
取り替え用防塵ゴム AA-4104(13 mm)、 AA-4105(30 mm)*5 オプション フィンガーリフト AA-969
延長スピンドル AA-844(30 mm)、 AA-845(50 mm) ゲージスタンド ST-0230/044B
測定子 各種 延長スピンドル AA-844(30 mm)、 AA-845(50 mm)
取り付け金具 AA-3310 測定子 各種
延長ケーブル AA-8801(5 m)、 AA-8802(10 m)、 AA-8803(20 m)、 AA-8804(30 m) 取り付け金具 AA-8560
*5 シリコンゴム装着タイプ(E)もご用意しております。シリコンゴム装着タイプ(E)は保護等級IP64になります。 延長ケーブル AA-8801(5 m)、 AA-8802(10 m)、 AA-8803(20 m)、 AA-8804(30 m)
通常タイプの取り替え用防塵ゴムは、有償引き取り交換です。(シリコンゴム装着タイプ除く)
外形寸法図 外形寸法図 GS-5050A/5051A 34
ケーブル長さ GS-5100A/5101A 34 ケーブル長さ
GS-4713A/4813A 34 GS-4730A/4830A 34 約4.9 m 約4.9 m
ケーブル長さ ケーブル長さ
(単位: mm) 約4.9 m 約4.9 m (単位: mm) 多治見
型名(R03-PB6M) 多治見
10.5 10.5
型名(R03-PB6M)
φ11 φ11 10
10
多治見 8.5 12.5 12.5
8.
型名(R03-PB6M) 多治見 5
φ11 型名(R03-PB6M) φ11
10.5 10.5
取り付け面
取り付け面
2-M4 30 36
2-φ 座グリ深12
3 45
.5 φ15+0-0.018 取り付け面
13 14±0.1
φ15+0-0.009
取り付け面 2-M4 36
φ6 座グリ深12 30
φ15+02-φ -0.018 45
3.5
13 14±0.1
φ15+0-0.009
1 33 1 9
2.5 45 2.5 φ6
(20) 13
(22.5) 22.5
1 33 9
1 2.5 45 2.5
(20) 13 (22.5) 22.5
12 13
φ15.5
62.5 79.5
3.5
φ4
LINEAR GAUGE SENSOR 13 mm
9 (12)
21
(39.5) 19.5
59 83 (3.5)
145.5
φ15.5
86.5 119.5
3.5 φ4
LINEAR GAUGE SENSOR 30 mm
9 (12)
21
(63.5) 19.5
83 123 (3.5)
209.5
φ15.5
7.5
φ4
LINEAR GAUGE SENSOR 50 mm
18 (18) 17.5 56.5 42.5 138.5 (3.5)
36 124 (134.5)
258.5
φ15.5
φ4
7.5
LINEAR GAUGE SENSOR 100mm
18 (18) 17.5 103 42.5 188.5 (3.5)
36 170.5 (184.5)
355
Page8
Digital Linear_p14-15
デジタルゲージカウンター
DG-5100(0.1 μm分解能デジタルゲージカウンター)
DG-5100 外部信号の入出力 ●推奨インタフェース
■0.1 µm分解能のリニアゲージセンサーに対応 ①出力信号に接続する外部機器側には下記の回路を推奨します。 ②入力信号用のインタフェースとして下記の回路を推奨します。
(エラー、プリントコマンド出力) (スタート/ストップ、ホールド、リセット)
■計測機能の高速化 DG-5100出力 外部機器(推奨回路) 外部機器 DG-5100入力
高分解能でも1 µm分解能リニアゲージセンサー相当のスピンドル速度を確保 V+ +5 V
■BCD出力、アナログ出力、コンパレーター出力など必要な機能を自由に選択し 10 kΩでプルアップ
BCD-OUT CMOS or TTL 6.8 kΩ 100 Ω
て搭載可能 CMOS or TTL
COM 0 V
COM 出力形式 オープンコレクター出力
出力IC 74LS06
0 V 耐電圧 max24 V Loレベル電圧 0~+1.4 V
最大シンク電流 max32 mA Hiレベル電圧 +3~+5.25 V
残留電圧 max0.5 V インピーダンス 1 kΩ以上
DG-5100 ¥80,000(税抜き)
入出力信号
仕 様 ●リニアゲージセンサー入力信号
項 目 型 名 DG-5100 HR10-7R-6S ピンNo. 信号名 ●アナログ出力
適応リニアゲージセンサー*1 GS、BSシリーズ 90°位相差方形波信号 1 Sig1 出力信号 電圧または電流選択設定
表示方式 蛍光管 7桁 ラインドライバー方式 6 1 2 Sig1 出力方式 12 bit D/A変換方式
RS422A相当 5 2
表示範囲*2 0.0000~±999.9999/0.000~±9999.999/0.00~±99999.99 mm 3 Sig2 (設定値によって分解能が変化します)
演算機能 最大値(MAX)/最小値(MIN)/最大値-最小値(RANGE)ホールド機能、係数補正機能、 (変換ケーブル AA-8910 4 3 4 Sig2 出力レンジ 電圧レンジ -10~0~+10 V
オフセット値設定、パネルコンディション保存機能 を利用することで電圧信号 ピン配列 5 +5 V 電流レンジ 4~20 mA、0~16 mA
入力信号 90°位相差方形波信号 ラインドライバーもしくは電圧出力 にも対応できます) 6 COM 負荷抵抗 電圧出力 100 kΩ以上
外部制御入力信号 ホールド、リセット 電流出力 500 Ω以下
電源 AC100~240 V(50/60 Hz) 30 VA以下 リニアリティ ±0.3 %/フルスケール
●RS-232C通信機能
使用温度範囲 0~+50 ℃ ゼロドリフト ±0.05 %/フルスケール/℃
RS-232C接続
保存温度範囲 -10~+60 ℃ スパンドリフト ±0.05 %/フルスケール/℃
通信方法: シリアル通信(調歩同期式)
外形寸法 96(W)×48(H)×148(D) mm 出力更新時間 約10 ms
伝送速度(ボーレート): 9600 bps、19200 bpsから選択設定 接続端子台 M3
質量 約370 g ゲート端子接続
付属品 取扱説明書、MC1.5/3-ST3.5(IN PUT用コネクター)、取り付け金具*3 コントロール機能: スタート、ストップ、リセット
DG-0522 BCD出力カード BCDデータ(更新時間;約10 ms)をオープンコレクター方式で出力 ¥33,000(税抜き)
DG-0530 出力方式 : 電圧、電流選択方式
アナログ出力カード 変換方式 : 12 bitD/A方式 コンパレーター機能
出力電圧 : -10~+10 V/F.S(. F.S.は任意設定) COMP1、COMP2、COMP3の3出力。リレーON/OFFを設定により切り替えることが可能です。
出力電流 : 0~16 mAもしくは4~20 mA/F.S(. F.S.は任意設定) モード1 : UPPER、LOWER出力が各コンパレーター毎に設定できます。
負荷抵抗 : 電圧出力時;100 kΩ以上、 電流出力時;500 Ω以下 UPPER設定 7桁数値入力、UPPER≦計数値(表示値)の時リレー動作
オ 直線性誤差: ±0.3 %/F.S. ¥33,000(税抜き) LOWER設定 7桁数値入力、LOWER≧計数値(表示値)の時リレー動作
プ
シ TM-0301 DC電源カード 電源電圧をDC12~24 Vに変更 ¥28,000(税抜き) モード2 : 各コンパレーター毎に上限値と下限値を設定できます。表示値が上下限値の間にある時に動作します。
ョ
ン TM-0340 出力仕様 : 1メーク接点出力(機械式リレー)、COMP1、COMP2、COMP3の出力 (WINDOW) LOWER設定値≦計数値(表示値)≦UPPER設定値の時リレー動作
コンパレーター出力カード コンパレーター対象は、計測値もしくは表示値を選択可能
最大接点容量: DC30 V/1 A、 AC250 V/1 A ¥42,000(税抜き) 自動復帰 : コンパレーターが動作し、接点ONになった後、再び表示値が判定レベルを下回った(上回った)場合、接点OFF(復帰)します。
TM-0350 RS-232C機能 接続端子台 : M3
RS-232C通信機能カード 通信方法: シリアル通信(調歩同期式)
伝送速度(ボーレート): 9600 bps、19200 bpsから選択設定
測定データの読み出し、パラメーターの設定・読み出し 背面パネル
接続端子台: MC1、5/10-ST3.5 フェニックスコンタクト製 ¥33,000 ●スロットの機能説明
(税抜き) POWER A B C D
AX-2050N 圧着端子付き電源ケーブル(3 m) ¥3,000(税抜き) スロット名 機能 型名
COMP EXTERNAL ANALOG INPUT POWER AC電源:AC100~240 V(50/60 Hz) 標準 -
*1 GS-3813B/3830B以外のリニアゲージセンサーを使用する場合は、接続変換ケーブルAA-8910が必要です。 AC
*2 最大カウント量は、±400,000カウントです。 1 50 1 RXD 1 V/I 1 HOLD DC電源: DC12~24 V±5 % オプション TM-0301
1
*3 電源ケーブルは付属しません。 100-240 V 1 2 TXD 2 RESET Aスロット コンパレーター出力: 3出力 オプション TM-0340
2 ~ 2 3 CTS 2 COM2 3 COM Bスロット*3 BCD出力: オプション DG-0522
50/60 Hz 4 RTS
3 オープンコレクター 7桁パラレル出力
MAX 30 VA 3 5 COM2 3 N.C. 6 1 SIG IN
BCD入出力 2 5 2 RS-232C オプション TM-0350
出力形態 ピン 信号 ピン 信号 4 6 N.C. 4 N.C.
: 7桁パラレル出力 7 START 4 3 Cスロット アナログ出力: 電圧・電流切り替え オプション DG-0530
1 1×100 29 演算スタート 信号入力により各種演算のスタート
出力形式 2 BCD出力 2×100 30 演算ストップ 信号入力により各種演算のストップ 5 8 STOP 5 N.C. Dスロット 信号入力:ラインドライバー、電圧信号(変換ケーブ 標準 -
: オープンコレクター 3 4×100 31 NC 3 9 RESET ル使用)に対応。リニアゲージセンサー用電源5 V
6
4 8×100 32 COMP出力1 コンパレーター動作時ON 1 10 COM2 6 N.C. *3 Bスロットの「DG-0522 BCD出力」と「TM-0350 RS-232C通信
シンク電流 5 1×101 33 COMP出力2 コンパレーター動作時ON 機能」は、どちらか一方のみの選択となります。
: max 32 mA 6 BCD出力 2×101 34 COMP出力3 コンパレーター動作時ON
出力耐電圧 7 4×101 35 NC
: max 24 V 8 8×101 36 極性出力+ ゲージスピンドル押し込み方向を 外形寸法図 11.3 122 14
9 1×102 +方向と設定時ON(正論理時)
出力論理 (単位: mm) PANEL THICK MAX 5
10 BCD出力 2×102 37 極性出力- ゲージスピンドル引き出し方向を
: 正論理、負論理 11 4×102 +方向と設定時ON(正論理時)
データ更新時間 12 8×102 38 NC
: 約10 ms 13 1×103 39 DP1 1 少数点位置を表示
14 BCD出力 2×103 BCD出力 DP 1 2 3 4
本体側レセプタクル 15 4×103 40 DP2 2 OFF OFF OFF OFF XXXXXXX
: HDR-EC50LFDT1-SLE+ 16 8×103 OFF OFF OFF ON XXXXXX.X
OFF OFF ON OFF XXXXX.XX
適応プラグ 17 1×104 41 DP3 3 OFF OFF ON ON XXXX.XXX
: HDR-E50MAG1+ 18 OFF ON OFF OFF XXX.XXXX
BCD出力 2×104
19 4×104 42 DP4 4 OFF ON OFF ON XX.XXXXX 96
プラグケース 20 8×104 OFF ON ON OFF X.XXXXXX
: HDR-E50LPA5-LS 21 1×105 43 NC
22 BCD出力 2×105 44 NC
23 4×105 45 ホールド入力
+0.8
24 8×105 46 リセット入力 92 0
25 1×106 47 プリントコマンド プリントコマンド出力時ON
26 BCD出力 2×106 48 エラー出力 エラー時ON
27 4×106 49 NC 91
パネルカット寸法
28 8×106 50 COM REAR VIEW
14 15
44.6 48
+0.8
45 0
RS-232C GATE
BCD
Page9
Digital Linear_p16-17
デジタルゲージカウンター
DG-4320/4340(小型汎用型)
DG-4320/4340 BCD入出力 ●BCD出力ピン番号配列 ●出力インタフェース
■小野測器全てのリニアゲージセンサーに対応(GS-3800Bシリーズ除く) ピン番号 信号内容 ピン番号 信号内容 BCDデータ出力、極性出力、デシマルポイント出力、エ
1 1×10 0 BCD出力 19 4×10 4 ラー出力、プリントコマンド出力はオープンコレクター方
■逓倍切り替え、パネルコンディションメモリ、MAX,MIN,RANGE演算など多彩 2 2×10 0 20 8×10 4 式です。定格電圧等に注意してご使用ください。
3 4×10 0 21 スタート入力
な機能 4 8×10 0 22 ストップ入力 DG-4320/4340出力 外部機器 (推奨回路)
<計測例1>RANGE機能による平面度計測と合否判定 5 1×10 1 BCD出力 23 表示切り替え入力1 V+
6 2×10 1 24 表示切り替え入力2 10 kΩでプルアップ
BCD-OUT
リニアゲージセンサーを対象物に当てて 7 4×10 1 25 極性出力+
GS-1813A 8 8×10 1 26 極性出力- CMOS or TTL
リニアゲージセンサー 1回転させます。計測値のRANGE値
(MAX-MIN値)を見ることで、簡単に平 9 1×10 2 BCD出力 27 デシマルポイント出力1 COM 出力形式 オープンコレクター出力
面度を計測することが出来ます。 10 2×10 2 28 デシマルポイント出力2 耐電圧 max24 V
11 4×10 2 29 1×10 5 BCD出力 最大シンク電流 max30 mA
また、DG-4340のコンパレーター機能を 0 V
12 8×10 2 30 エラー出力 残留電圧 max0.5 V
使用すれば、平面度の合否判定を行う
ターンテーブル 13 1×10 3 BCD出力 31 ホールド入力
ことも可能です。 ー ●入力信号のインタフェース
DG-4320 ¥48,000(税抜き) 14 2×10 3 32 リセット入力
モーター AX-2050N
電源ケーブル 15 4×10 3 33 ビジー入力 スタート/ストップ入力、表示切り替え入力、ホールド入
16 8×10 3 34 コンパレーターゲート入力 力、リセット入力、ビジー入力、コンパレートゲート入力は
17 1×10 4 BCD出力 35 プリントコマンド出力 外部接点入力によりコマンドを実行します。
<計測例2>パルスカウンター機能による長さ計測 18 2×10 4 36 コモン 外部機器 DG-4320/4340入力 +5 V
接続センサーとしてエンコーダーを選択 本体側レセプタクル: 本体コネクター図
することによりパルスカウンターとして使 DX10A-36S(ヒロセ電機) 19 36 CMOS or TTL
100 Ω 2.2 kΩ
用することができます。 適応プラグ:
1相のパルス信号を2逓倍することも可 DX40-36P(ヒロセ電機)
1 18 COM 0 V
能です。 プラグカバー: Loレベル電圧 0~1.4 V
RP-1700シリーズ BCDケーブル(3 m)片側オープン
ロータリエンコーダー AX-2050N DX36-CV1(ヒロセ電機)
電源ケーブル AA-8107 Hiレベル電圧 3~5.25 V
インピーダンス 1 kΩ以上
■12 V電源センサーにも対応可能(オプション) ●BCDデータとの接続(接続例) ●コントロール信号の接続(接続例)*
回転検出器などの1相パルス信号やエンコーダーからの信号もカウント BCD出力は、オープンコレクター出力なのでPLCは、DC12 ホールド/リセット信号を接続する場合、BCDコネクターの各ピン
~24 V(最大電流32 mA)入力ユニットを使用してください。 にTTL信号(Loレベル)を入力してください。
■3chコンパレーター機能搭載により部品や製品の合否判定が可能(DG-4340) DG-4320/4340 PLC入力ユニット DG-4320/4340 PLC
〈 1×100 〉 ←電流方向 〈 BCDコネクター 〉
DG-4340 ¥54,000(税抜き) コンパレーターが動作すると表示画面のバックライトが赤に変わり分かりやすく 1 IN-1 内 31 TTL
HOLD IN-1
2 IN-2 部
・ ・ ・ R RESET IN-2
お知らせ ・ ・ ・ 回 32 ・
・ ・ ・ 路 ・
・
・ ・ ・ ・
・ ・ ・ ・
0・ V ・ ・
36 + COM 36 ・
外部電源 COM COM
仕 様 -
項 目 型 名 DG-4320 DG-4340 DC12~24 V 0 V
表示 LCD表示 セグメント、ドットマトリクス複合表示、2色バックライト付き ★極性の接続に注意! 逆に接続した場合、BCD出力回路が壊れます。 ★ホールド信号が入力すると、BCD出力、コンパレーター出力、表示値(極性含む)、
6桁表示 表示範囲 0~±199999(0.5 μm分解能選択時、1桁目は0または5のみを表示します) 合否判定(液晶のバックライト)がホールドされます。
*HOLD/RESET信号は、電圧信号入力用になっていますので接続に注意してください。
適応センサー 当社リニアゲージセンサー(GS-3800Bシリーズを除く)*1
2相及び1相矩形波電圧出力タイプの当社センサー(エンコーダー等)
センサー用電源 DC5 V 200 mA 、DC12 V 150mA(オプション DG-0430装着時)
入力信号 2相位相差矩形波、1相矩形波(内部設定切り替えで対応) コンパレーター機能 判定データ 瞬時値/メインディスプレイ表示値(演算値) DG-4340のコンパレーターは、3チャンネル。チャン
分解能切り替え 0.5 μm、1 μm、10 μmから選択(入力センサーとしてエンコーダー選択時、単位は表示されません) (DG-4340) 出力形式 半導体リレー(各1メイク接点) ネル毎にLower、Upper、OK/NG3種のモードから
表示数値タイプ 瞬時値、 Max値、 Min値、 Max値-Min値(RANGE値) COMP1/COMP2/COMP3の3点 一つを選んで設定できます。OK/NGモードでは、一
演算機能 オフセット機能、 逓倍切り替え機能、 小数点位置変更機能、係数補正機能 出力条件 Upper UPPER設定値≦計数値にてON
Lower LOWER設定値≧計数値にてON つのチャンネルにLower値、Upper値を設定できる
デジタル出力 BCD出力 更新時間 10 ms オープンコレクター出力(正負論理切り替え可能) OK/NG LOWER設定値>計数値もしくはUPPER設定値<計数値にてON ため、3チャンネルのOK/NGコンパレーターが設定
コンパレーター 3段、半導体リレー方式 OFF コンパレーター設定を無効とする できます。
̶ Upper、LowerコンパレーターとOK/NGコンパレーター 最大接点容量 DC30 V/100 mA以下 OK/NGコンパレーターは、Lower>Upperの数値を
を設定にて切り替え 出力形式 端子台: 6端子(M3) 入れることで、コンパレーターON/OFFの動作を逆
動作時バックライトが赤色に変化 出力更新時間 約10 ms
バックライト表示 OK: 緑色/NG: 赤色 にすることができます。
パネルコンディションメモリ機能 設定パラメーターをデジタルゲージカウンター内部に保存(4条件)
外形寸法 72(W)×72(H)×114(D) mm
質量 約320 g
電源電圧 AC100~240 V(50/60 Hz) 6 VA以下(AC100 V時) 外形寸法図 104 (10.5)
72
使用温度範囲 0~+40 ℃ 6.5
(単位: mm)
保存温度範囲 -10~+55 ℃
付属品 取扱説明書、 パネル取り付け金具、 端子台カバー*2
オプション DG-0430(12 V電源供給)¥43,000(税抜き)、 AX-2050N(電源ケーブル 3 m)、
AA-8107(BCDケーブル 片側オープン 3 m)
*1 DG-4300シリーズとBS-102シリーズ(販売終了)を接続して使用される場合は当社にお問い合わせください。
*2 電源ケーブルは付属しません。
DG-0430センサー用 接続コネクター: R03R6F パネル取り付け金具
センサー用の電源としてDC12 Vを供給します。12 V電源が必要なエンコーダーや回転検出器等と接
12 V電源供給オプション ピンアサイン : A - SIG1 続する場合には、DG-0430が必要です。*1 *2
B - SIG2 *1: DG-0430を追加した場合、リニアゲージセンサーとの接続はできません。ご注意ください。
C - 12 V
D - N.C. *2: 当社エンコーダーと接続するためのケーブル作成も可能です(接続ケーブルには当社標準のD5ULケーブルを使
E - COM 用)。
F - N.C.
68 +0.7-0
パネルカット寸法 (注)取り付けパネルの推奨板厚は1~3.2 mm
16 17
(45)
(36)
(43) 72
68+0.7-0
□67.4
Page10
Digital Linear_p18-19
デジタルゲージカウンター
DG-2310(2ch 和差演算機能付き)
DG-2310 外部信号の入出力 ● 推奨インタフェース
■最大2台のリニアゲージセンサーが接続できる2chタイプ (BCD) ① 出力信号に接続する外部機器側には下記の回路を推奨します。 ②入力信号用のインタフェースとして下記の回路を推奨します。
(エラー、プリントコマンド出力) (ホールド、リセット、ピークホールド入力)
■和差演算機能付きで段差測定や厚みの測定が可能 DG-2310出力 外部機器 DG-2310入力
外部機器 (推奨回路) 出力形式 オープンコレクター出力 +5 V
V+ +5 V
<構成例>材料の厚さ測定や制御 プルアップ抵抗 出力IC 74LS07
BCD-OUT
コンパレーター・BCD 耐電圧*1 CMOS or TTL 6.8 kΩ
max30 V 2.2 kΩ
CMOS or TTL
GS/BSシリーズ 最大シンク電流 max32 mA
リニアゲージセンサー 0 V COM 残留電圧 max0.5 V
マーカー PLC *1 信頼性向上のため、+24 V 0 V COM
以下の電源系で使用される Loレベル電圧 0~+1 V
ことを推奨します。 Hiレベル電圧 +4~+5.25 V
アナログ インピーダンス 1 kΩ以上
レコーダー
DG-2310 ¥210,000(税抜き) 外部信号の入力 ●推奨インタフェース
コンパレーター (端子台) 入力信号用のインタフェースとして下記の回路を推奨します。
RS-232C (リセット、ホールド、ピークホールド、キープロテクト入力)
<偏差測定例> 外部機器 DG-2310入力 電圧信号 無電圧接点信号(オープンコレクター)
PC +5 V +5 V Loレベル 0~+1 V 解放電圧 DC5±0.25(MAX)
6.8 kΩ Hiレベル +4~+5.25 V 短絡電流 1 mA(MAX)
RANGE CMOS or TTL
2.2 kΩ 接点抵抗 50 Ω以下
4.137 mm
0.000 mm
MAX
2.230 mm 0 V COM
MIN
-1.907 mm
測定開始 測定終了
RS-232C 通信方法 非同期全二重モード ■ コネクター:ミニDIN8 pin(ヒロセ電機製)
仕 様 項 目 型 名 DG-2310 伝送速度(ボートレート) 2400/4800/9600 ピンNo. 信号名 機能 入出力
適応リニアゲージセンサー GS/BSシリーズ リニアゲージセンサー(GS-3800Bシリーズは不適合) 1 FG(AA) 信号用接地 ̶
キャラクター長 8ビット
表示方式 メイン表示部:赤色LED6桁 極性(-)、サブ表示部:LCD 16文字×2ライン 2 RxD(BB) 受信データ 入力
パリティチェック 無
センサー入力数 2ch 3 TxD(BB) 送信データ 出力
ストップビット長 1ビット 4 CTS(CB) 送信可 入力
入力信号 信号波形 90°位相差信号(方形波) DC~100 kHz Xパラメーター制御 無効 5 RTS(CA) 送信要求 出力
外部制御 入力信号の形式 電圧入力(H:i+4~+5.25 V Lo:0~+1 V)、無電圧接点入力 6 DSR(CC) Non Connect *2
入力信号 入力信号の種類 リセット(オフセット)、キープロテクト、ピークホールド、ホールド ターミネータ CR+LF 7 COM(AB) 信号用接地
BCD入出力信号 出力信号(BCD、極性、判定、エラー):オープンコレクター(耐電圧:MAX 30 V/32 mA)、更新時間:10 ms以内 文字コード ASCII 8 DTR(CD) データ端末レディ *2
入力信号(リセット、ホールド):電圧入力(H;i+4~+5.25 V、Lo;0~+1 V) *2 DSRとDTRは内部で接続(短絡)されています。
アナログ出力信号 0~±10 V/F.S(. F.S.は任意設定可) 出力更新時間:10 ms以内 変換方式:12 bit D/A方式
更新時間:10 ms以内、直線性誤差:±0.3 % of F.S.、校正機能:ZERO/±FULL コンパレーター機能 判定は下記のようになります。
RS-232C通信 ボーレート:2400/4800/9600 bps (設定および判定) 判定基準 判定 判定結果の表示・出力
機能:測定データの読み出し、パラメーターの設定・読み出し LOWER
●
コンパレーター出力信号 設定範囲:0~±999999、 出力項目:LOWER/GOOD/UPPER 設定値 ≧ 計数値 LOWER COMPARATOR表示灯のLOWERが赤色点灯 ●IN/OUTコネクター: LOWER出力(ピン27)ON
出力形式:半導体リレー(各1メイク接点) LOWER < 計数値 < UPPER設定値 設定値 GOOD ●COMPARATOR表示灯のOKが緑色点灯 ●IN/OUTコネクター: GOOD出力(ピン28)ON
最大接点容量:DC30 V、0.1 A 更新時間10 ms以内
モード 演算 (A+B)ch(、A-B)ch、Ach、Bch UPPER
設定値 ≦ 計数値 UPPER ●COMPARATOR表示灯のUPPERが赤色点灯 ●IN/OUTコネクター: UPPER出力(ピン29)ON
/機能 ピークホールド 最大値(MAX)、最小値(MIN)、最大値̶最小値(RANGE)
オフセット 設定範囲:0~±999999
分解能切り替え 0.5 μm、 1 μm、 10 μm
電源 AC100~240 V(50/60 Hz) 30 VA以下 端子台図 LOWER
使用温度範囲 0~+40 ℃
保存温度範囲 -10~+55 ℃ · GOOD COMP-OUT
RESET
外形寸法 144(W)×72(H)×180(D) mm(突起部含まず) ·PEAK-HOLD
· UPPER
質量 約1.3 kg HOLD
付属品 取扱説明書、電源ケーブル、パネル取り付け金具、スタンド足、端子台ソケット(10 pin×1、5 pin×1)、ゴム足、単位シール ·KEY PROTECT ·NO USE
オプション AX-5022B:RS-232Cケーブル(2 m)、 AA-8107:BCDケーブル(3 m()片側オープン) ·COM ·NO USE
·Hi
·Lo V-OUT
BCD IN/OUT ピン番号 信号種類 IN/OUT 信号内容 ピン番号 信号種類 IN/OUT 信号内容 T1 EXT-IN 1 2 3 4 5 T2 OUTPUT 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
1 データ OUT 1×100 19 データ OUT 4×104 本体側レセプタクル:
(BCD信号ピン番号配列) 2 2×100 20 8×104 DX10A-36S(ヒロセ電機)
3 4×100 21 1×105
4 8×100 22 2×105 適応プラグ: 外形寸法図 144 180 ( 11.5)
5 1×101 23 4×105 DX40-36P(ヒロセ電機)
6 2×101 24 8×10 (単位: mm) Digital Gauge CouDnGte-r2 310
5
UPPER
7 4×101 25 極性出力(+) プラグカバー: GOOD
LOWER mm
8 8×101 26 極性出力(-) DX36-CV1(ヒロセ電機)
RESET MENU
9 1×102 27 判定出力 OUT LOWER出力 SELECT
COMP SET
ON/OFF NEXT
10 2×102 28 GOOD出力
11 4×102 29 UPPER出力 本体コネクター図 MAX4
12 8×102 30 制御出力 OUT エラー出力 19 36
13 1×103 31 制御入力 IN ホールド入力
14 2×103 32 リセット入力
15 4×103 33 ピークホールド入力 1 18 BCD-OUT POWER
T1 EXT-IN
16 8×103 34 BCDケーブル(3 m)片側オープン SIG A SIG B 100-240V~
17 1×104 35 制御出力 OUT プリントコマンド出力 RS-232C 50/60Hz
AA-8107 30VA MAX
FUSE 2A T
18 2×104 36 COM ̶ COM T2
OUTPUT
138+0.5 0
背面図 パネルカット寸法
18 19
( 9.5) 72
68 +0.5 0
Page11
Digital Linear_p20-21
関連機器 センサー関係アクセサリ
DG-0010/0020(出力変換ボックス) レリーズ・フィンガーリフト
DG-0010/0020 種 類 型 名 適 用 機 種 価 格
フィンガーリフト AA-969 GS-1500A/1600A/1700A/1800Aシリーズ、GS-4500/4600/4700A ¥3,000(税抜き)
■当社リニアゲージセンサーの出力をオープンコレクター方式(DG-0010)やライ /4800Aシリーズ、GS-6500/6600/6700A/6800Aシリーズ、
GS-3800Bシリーズ、GS-503、GS-5011、GS-1000、
ンドライバー方式(DG-0020)に変換するユニット GS-5050A/5100Aシリーズ、GS-102、GS-251/251W、
DG-525H/825/925
■PLCに多いDC12~24 V電源を当社リニアゲージセンサー仕様であるDC5 V 機械式レリーズ AA-813 DG-525H/825/925(レリーズリフター AA-972と組み合わせて使用します)、 ¥3,500(税抜き)
に変換可能 GS-102、 BS-102/112、 BS-1210/1310、HS-3425
■幅をとらないコンパクト設計 フィンガーリフト AA-969 機械式レリーズ AA-813
■DINレール取り付け可能(DINレール専用取り付け足が別途必要です)
DG-0010 ¥34,000(税抜き)
※写真はDG-0010です。 DG-0020 ¥34,000(税抜き)
仕 様 項 目 型 名 DG-0010(オープンコレクター出力) DG-0020(ラインドライバー出力) 20
適応リニアゲージセンサー GS/BSシリーズ リニアゲージセンサー(GS-3800Bシリーズは不適合) 49 23.5 約23
入力部 信号波形 方形波で90度位相差信号 16±1.5 約500
入力レベル Hiレベル +3~+5.25 V
Loレベル 0~+1.4 V
周波数範囲 DC~300 kH(z 小野測器製リニアゲージセンサー使用時)
コネクター(レセプタクル) R03-R6F
適合コネクター(プラグ) R03-PB6M
出力部 出力形式 オープンコレクター出力 ラインドライバー出力(RS-422A相当)
耐電圧 max30 V ̶
シンク電流 max100 mA ̶
残留電圧 1 V以下 ̶ エアリフター(エアの排気・供給により、リニアゲージセンサーのスピンドルが上昇・下降します)
コネクター(レセプタクル) R03-R6M 型名 適応リニアゲージセンサー 測定範囲(mm) 使用空気圧力(MPa) 質量(g) 価格
適合コネクター(プラグ) R03-PB6FまたはR04-PB6F(防水タイプ) AA-6102*1 *2 GS-1713A/1813A/3813B/4713A/4813A/6713A/6813A 0~13
一般仕様 電源電圧 DC12~24 V 0.25~0.7 75 ¥28,000(税抜き)
AA-6103*1 *2 GS-1730A/1830A/3830B/4730A/4830A/6730A/6830A 0~30 85 ¥32,500(税抜き)
消費電流 80 mA以下(DC12 V時) 120 mA以下(DC12 V時) *1 エアリフターAA-6102/6103(延長スピンドル付属)は延長スピンドルが必要なため、リニアゲージセンサーの全長がそれぞれ22 mm/37 mm長くなります。
使用温度範囲 0~+40 ℃ *2 エア配管、ON/OFF用電磁弁が別途必要です。リニアゲージセンサー取り付け面からスピンドルセンターまでの距離(9 mm)は変わりません。
保存温度範囲 -10~+55 ℃
外形寸法 23(W)×29(H)×90(D) mm(突起部含まず) エアリフター エア配管図(例)
質量 約100 g AA-6102/6103
付属品 取扱説明書
オプション MX-7100シリーズ(オープンコレクター信号ケーブル)、 受注生産(ラインドライバー信号ケーブル)
接続例 OUT:5 V IN:DC12~24 V (SSU4/コガネイ)
IN:TTL AA-6102 AA-6103
出力変換ボックス
リニアゲージセンサー (DG-0010/0020) 0.3
OUT: オープンコレクター出力(DG-0010)
ラインドライバー出力(DG-0020) 18 33
PLC コントローラー
コントローラー
52 12 80
★ 入出力信号間は絶縁されていません。 エア注入口
(スピンドルが縮んだ状態) (φ4) 74 12 100 エア注入口(φ4)
(スピンドルが縮んだ状態)
出力回路図 ●DG-0010 ●DG-0020 45 45
DG-0010 外部接続機器 DG-0020 外部接続機器
S32相当
A SIG 1 OUT 26LS31相当 26L
A SIG 1 OUT
内 B SIG 2 OUT 内 内
部 部 B SIG 2 OUT 内
部 部
回 回 回
路 C VIN C VIN 回
DC12~24 V 路 延長スピンドル(深い小穴の深さ測定などに)
D COM 路 DC12~24 V 路
D COM
E COM E SIG 1 OUT 型名 AA-844 AA-845
F COM F SIG 2 OUT
材質:SUS303 材質:SUS303
M 2.5 M 2.5 M 2.5 M 2.5
外 形
寸法図
外形寸法図 1.7 1.7
7 7
(5) 30 (5) 50
(単位: mm) 35 55
(9) 90 (9) 23 価格 ¥6,000(税抜き) ¥6,500(税抜き)
2-M3×10
12 66 11.5
DINレール専用取り付け足(お客様ご用意品)
CKD-80(32 mm、 35 mm)
20 21
29
12.0
7 21 17
17
φ2.7
φ3.8
17.6
φ11
7 21 17
φ3.5
17.6
φ11
φ2.7
φ10
φ3.8
φ20
Page12
Digital Linear_p22-23
センサー関係アクセサリ センサー関係アクセサリ
測定子 取り付け金具
型名 AA-0200(標準測定子)*1 AA-0210 AA-0220*2 AA-0230 型 名 内 容 価 格
AA-3310 取り付け金具(耳金) GS-1513A/1530A/1613A/1630A/4513/4530/4613/4630/6513/6530/6613/6630/1713A/1730A ¥12,000(税抜き)
M2.5×0.45 φ5 φ5 φ5 φ5 /1813A/1830A/3813B/3830B/4713A/4730A/4813A/4830A/6713A/6730A/6813A/6830A用
M2.5X0.45
M2.5×0.45 AA-8560 取り付け金具 GS-5050A/5051A/5100A/5101A用 ¥11,000(税抜き)
M2.5×0.45
AA-3310 5+0-0.05
外 形 0.1
寸法図 6.5
±
∅
(R8)
先端ボール材質:鋼球 材質:SKS3 材質:SKS3 材質:SKS3
価格 ¥2,500(税抜き) ¥2,500(税抜き) ¥3,200(税抜き) ¥2,500(税抜き)
1.3+0 8 14
-0.1 7.5 2-M3
型名 AA-0240*2 AA-0250*2 AA-827*3 AA-828*3 18.5 37
M2.5×0.45
φ10 M2.5×0.45 (27)
M2.5×0.45 M2.5×0.45
AA-8560 13 取り付け方法
外 形
寸法図
φ8 φ22
φ10 φ9
ローラ幅:4 mm ローラ幅:7 mm +0
16 5 -0.05
材質:SKS3 材質:SKS3 材質:SUJ2 材質:SUJ2 2-M4 ベース
価格 ¥3,300(税抜き) ¥3,700(税抜き) ¥8,600(税抜き) ¥10,800(税抜き) リニアゲージセンサー
型名 AA-0320 AA-921 AA-0330*4 AA-0400 30 5 六角穴付きボルト
φ6 M4×0.7 L=30
φ4.5 M2.5×0.45 45 M4用バネ座金(各2)
φ5
M2.5×0.45 M2.5x0.45 φ5
M2.5×0.45
φ5 防塵ゴム(DG-525Hには使えません)
外 形 型名(防塵ゴム) 適用ゲージ L1(mm) カラー外径(φmm) ゴム外径(φmm) ステム径(φmm) 材質*3 価 格
寸法図 AA-841*1 GS-1000 40.5 22 24 15 CR ¥13,000(税抜き)
AA-973*1 BS-102/102W/112
/112W/1210/1310 - - 8 8 EPM ¥6,000(税抜き)
(20°) φ2
φ0.3平面
φ1.5 φ2
.4
AA-975*2 GS-5011 8.5 - 16 20 NBR ¥7,000(税抜き)
8 受注生産品 GS-4513/4530 - - 10 10 FKM 本体引き取り交換*4
材質:SKS3 材質:SKS3 先端ボール材質:超硬 先端ボール材質:ルビー /4613/4630
AA-4102 GS-1713A/1813A
価格 ¥2,500(税抜き) ¥4,800(税抜き) ¥12,000(税抜き) ¥6,500(税抜き) /6713A/6813A - - 8 15 Si ¥2,800(税抜き)
*1 BSシリーズに使われている測定子は、標準測定子(AA-0200)以外のものが使われています。 AA-4103 GS-1730A/1830A
/6730A/6830A - - 8 15 Si ¥2,800(税抜き)
*2 AA-0220/0240/0250(平型測定子)を1 μm、10 μm単位のゲージに取り付ける場合は、測定台の面との平行度調整をお勧めします。
この場合、ゲージスタンドとペアになります。平行度調整精度は、10 μm以下です(当社測定方法による)。 AA-4104*5 GS-3813B/4713A - - 8 15 HNBR 本体引き取り交換*7
平行度調整費: ¥15,000(税抜き()発送費別途必要) /4813A ¥3,200(税抜き)
*3 AA-827/828などのローラ測定子を1/1000 mm(1 μm)単位のゲージに取り付けると、規定の精度が得られないことがあります。 AA-4105*6 GS-3830B/4730A - - 8 15 HNBR 本体引き取り交換*7
AA-827/828はベアリングを使用していますが、すきまは除去していませんので±10 μmぐらいの誤差が出る可能性があります。 /4830A ¥3,200(税抜き)
*4 受注生産品 *1AA-841/973 AA-829
防塵ゴム用 特殊測定子(AA-0210~AA-0400)
エア抜き
専用測定子 BSシリーズ、GS-102/251/1000の外形寸法(全長) 防塵ゴムを装着し、特殊測定子 エア抜き スピンドル
測定子アダプター ゴム外径 スピンドル カラー外径 と組み合わせる場合には、測定
子アダプターAA-829(GS-102
(測定子交換用) /251/503/1000用)が必要で
GS-102/251/503/1000、DG525H/825/925用 す(外形寸法図はP.22を参照)。 AA-829 を
AA-829:18 mm 装着した場合
型名 AA-829*4 L1 7.5 測定子を外し防塵ゴムを ステム
装着した場合の寸法
材質:C3602
φ1.5貫通 *2 AA-975(GS-5011用) 標準品 スピンドル ステム
M2.5 防塵ゴム取り付け溝 M2.5
特殊測定子と組み合わせる場
外 形 合は、AA-975に付属の防塵ゴ
寸法図 ム用専用継手に直接装着してく 防塵ゴム用
ださい。特殊測定子用の継手 専用継手 L1 7.5 測定子を外し防塵ゴムを
7.5 10.5 は、必要ありません。 装着した場合の寸法
18 ( 5 )
価格 ¥4,700(税抜き) *1 防塵ゴム用専用測定子付きです。 *4 発送費が別途必要です。
*2 防塵ゴム用専用継手付きです。 *5 GS-4713A/4813Aは、シリコンゴム装着タイプ(E)もご用意しております。
*3 CR:クロロプレンゴム、NBR:ニトリルゴム、EPM:エチレンプロピレンゴム、 *6 GS-4730A/4830Aは、シリコンゴム装着タイプ(E)もご用意しております。
S:iシリコンゴム、HNBR:水素化ニトリルゴム、FKM:フッ素ゴム *7 取付費¥3,000(税抜き)が別途必要です。
22 23
φ
φ7 2.4
10.2 8.3
18.5 (5) 4 3.5
23.5 3 2 (5) 7.5 (4)
11.5
10
SR3.5
φ7.5
16 5 5
8 ( 5 )
13
5 (5)
10
12 9
(16) 4 9.5
(3.7) 2.5 8 (5)
13
28 12
SR1
20 5
5.5 3.5
25 (5)
9 (5) 30
14
7.5
φ
90
26.8 18.5
2 (1.5)- 3.5∅6
20 .5
40
φ 56.5
φ
(45.3)
(22)
37
Page13
Digital Linear_p24-25
センサー関係アクセサリ カウンター関係アクセサリ
ゲージスタンド ケーブル
型 名 ST-022 ST-0230 ST-044B 型 名 ケーブル長 価 格 品 名 用 途 接続元 コネクター 形 状 コネクター 接続先 備 考
テーブル寸法 80×85 mm 80×85 mm 105×105 mm AA-8801 5 m ¥9,900 延長信号 リニアゲージ BS/GSシリーズ R03-JB6F R03-PB6M DGシリーズ リニアゲー
適用ステム外径 φ8~φ10 mm φ15 mm φ15~φ20 mm (税抜き) ケーブル センサー信号 リニアゲージセンサー (多治見無線製) (多治見無線) デジタル ジセンサー
テーブル材質 セラミック(溝付き) AA-8802 10 m ¥12,700 延長用 ゲージ からの最大
(税抜き)
測定面平面度 1 μm AA-8803 20 m ¥18,500 カウンター 延長ケーブ
測定面表面粗さ 0.4 Sラップ仕上げ (税抜き) ルは30 m
AA-8804 30 m ¥23,700 までです。
基台(幅×奥行) 100×160 mm 100×160 mm 130×200 mm (税抜き)
測れる奥行 約59 mm 約60 mm 約73.5 mm AA-8811 5 m ¥22,000 耐屈曲 リニアゲージ BS/GSシリーズ R03-JB6F R03-PB6M DGシリーズ リニアゲー
測れる高さ 約115 mm 約115 mm 約210 mm (税抜き) 延長信号 センサー信号 リニアゲージセンサー (多治見無線製) (多治見無線) デジタル ジセンサー
質量 約4.1 kg 約4.2 kg 約7.5 kg AA-8812 10 m ¥33,000
(税抜き) ケーブル 延長用 ゲージ からの最大
適合リニアゲージ BS-1210/1310 GS-1700A/1800A/3800B GS-5050A/5100Aシリーズ AA-8813 20 m ¥53,900 カウンター 延長ケーブ
/4700A/4800A/5050A/5100A (税抜き) ルは30 m
/6700A/6800Aシリーズ AA-8814 30 m ¥72,600 *1 までです。
(税抜き)
価格 ¥92,000(税抜き) ¥108,000(税抜き) ¥155,000(税抜き)
AA-8901 5 m ¥20,000 延長信号 リニアゲージ GS-3813B/3830B HR10A-7J-6S HR10A-7P-6P DG-5100
(税抜き) ケーブル センサー信号 リニアゲージセンサー デジタル
AA-8902 10 m ¥26,000 延長用 ゲージ
スタンドブッシュ (税抜き)
AA-8903 20 m ¥38,000 カウンター
(税抜き)
型 名 AA-891 AA-892 AA-8904 30 m ¥50,000
(税抜き)
適用ステム外径 φ8mm φ10mm
用途 ST-0230/ST-044Bと組合せて使用 AA-8910 0.2 m ¥11,600 接続変換 信号 BS/GSシリーズ R03-JB6F HR10A-7P-6P DG-5100
(税抜き) ケーブル 変換用 リニアゲージセンサー (多治見無線製) デジタル
適合リニアゲージ DG-825/925/GS-102/251 DG-525H/KG-850/GS-251W/503 (GS-3800Bシリーズを除く) ゲージカウンター
GS-1500/1600/6500/6600シリーズ GS-4500/4600/7000シリーズ AA-8101 3 m ¥18,700 BCD BCD DG-4320/4340 DX30A-36P*2 DX30A-36P*2 DA-4130
価格 ¥23,000(税抜き) ¥23,000(税抜き) (税抜き) ケーブル 信号用 デジタルゲージカウンター(ヒロセ電機製) (ヒロセ電機製)D/A変換器
AA-8107 3 m ¥14,300 DG-2310/4320/4340 DX30A-36P*2 片側
(税抜き) 〃 〃 デジタルゲージカウンター(ヒロセ電機製) オープン
ST-022(汎用) スタンドブッシュ AX-2050N 3 m ¥4,000 電源 AC100 V DG-4320/4340、 圧着端子M3 ACプラグ AC100 V 電気用品
(税抜き)
(φ8~φ10用) ケーブル 電源用 DG-5100 3P 電源 安全法適合
AA-891 AA-892 デジタルゲージカウンター
AX-5022B 2 m ¥18,700 RS-232C PC DG-2310 HR212- HDEB-9S PC
(税抜き) ケーブル 接続用 デジタルゲージカウンター 10P8PC(71) (ヒロセ電機製)
ケーブル押エ (ヒロセ電機製)
取り付け面 MX-7105 5 m ¥8,300 信号 オープン DG-0010 R04-PB6F 片側圧着端子 20 m~
78.5 90
°
90
° (税抜き) ケーブル コレクター 出力変換ボックス 30 m
MX-7110 10 m ¥11,000
φ25 出力用 (受注生産品)
60 (税抜き)
MX-7115 15 m ¥13,700
φ18
ツマミ(B) ツマミ(C) 4-M2 φ18 (税抜き)
4-M2 MX-7120 20 m ¥16,400 ケーブル: D5UL
(支持枠固定用) (支持枠上下移動用) (税抜き) (複合5芯ビニールシース)
MX-7230 30 m ¥26,000 信号 ライン DG-0020 R03-PB6F 片側 (受注生産品)
ツマミ(A) 支持枠 (税抜き) ケーブル ドライバー 出力変換ボックス オープン
(測定器固定用) 80 測定台 5 m延長ごと
85 出力用
¥3,000
(税抜き)
φ8 φ10 *1 0 ℃以下で保存、使用しないでください。(リニアゲージセンサーの保存温度と異なります。)
*2 DX30A-36Pは圧接タイプのコネクターです。お客様自身で配線する場合は圧接タイプ用の工具が必要になります。
100 160 φ15 φ15 コネクターをご購入の際は、ハンダ付けタイプのコネクターをお勧めいたします。
ST-0230 ST-044B
(φ15用) (φ15~φ20用) 端子台カバー/コネクター/パネル取り付け金具
型 名 品 名 用 途 備 考 価 格
ケーブル押エ R03-PB6M リニアゲージセンサー信号用コネクター 信号ケーブル用 ¥1,100(税抜き)
ケーブル押エ DX40-36P 36芯コネクター(ケーブル用) DG-4320/4340、DA-4130用 BCD信号用、ハンダ付け用(DX36CV1が必要) ¥1,200(税抜き)
取り付け面 95
φ30 DX36CV1 プラグカバー DX40-36P用 DX40-36Pと組み合わせで使用 ¥2,500(税抜き)
73.5 - パネル取り付け金具 DG-4320/4340用(付属品) 2個1組 ¥2,200(税抜き)
78.5 - 信号コネクター DG-2310用(付属品 5ピン) 入出力用 ¥1,500(税抜き)
φ25 60 - 信号コネクター DG-2310用(付属品 10ピン) 入出力用 ¥2,500(税抜き)
- 信号コネクター DG-5100用 外部制御用 ¥1,000(税抜き)
ツマミ(C)
ツマミ(B) ツマミ(C) ツマミ(B) (支持枠上下移動用)
(支持枠固定用) (支持枠上下移動用) (支持枠固定用)
ツマミ(A) 支持枠 ツマミ(A) プリンター用消耗品
(測定器固定用) (測定器固定用) 支持枠
80 測定台 85 105 測定台 105 型 名 品 名 用 途 備 考 価 格
AA-5100 感熱記録紙 RQ-1410用 10巻一組 ¥4,400(税抜き)
AA-5102 〃 RQ-2110用 〃 ¥16,500(税抜き)
ST−0230 GAUGE STAND
100 160
130 200
24 25
30
60 30
60
215 215
0~115 0~115
16
2.5
(21) 5
40
70 26
327
0~210 16
2.5
(21) 5
26
Page14
Digital Linear_p26-27
技術資料 リニアゲージセンサー
検出原理 指示精度と分解能
デジタルリニアゲージはリニアゲージセンサー(検出器)とデジタルゲージ 図1 当社のリニアゲージセンサーの精度はJIS-B7450を参考にしています。
カウンター(表示器)から構成されています。 図3 被測定リニアゲージセンサー読み取り値
リニアゲージセンサーの内部には、スピンドルと一体になって移動する移 被測定リニアゲージセンサーの読み値Yiから、対応する標準器の目盛値Miを差し引いた値
移動スリット 受光素子
動スリットと一定位置に固定された2つの固定スリット(図1のA,B)が対向 固定スリット 指示誤差(Ei) =Yi-Mi d′
光源(LED)
して配置されています。それぞれのスリットには一定間隔で明暗の目盛が *当社では精度確認の標準器として精度0.01 μm分解能の測長器を使用していま
フレーム 移動スリット
印刷されています。計数にはスピンドルの移動方向(+、-方向)を判別す B す(図3参照)。 標準器
d (基準器) 指示誤差(Ei) =Yi-Mi
る必要があるため、A,Bの2つの固定スリットはAに対してBが1/4P(ピッ A
固定スリット ●指示精度
チ)ずれた位置に配置されています。 ステム 図4
スピンドル 全測定範囲にわたって測定ポイントごとの指示誤差Eiを測定し、指示誤差の最大値 + MAX
これらのスリットを挟んで、光源(LED)と受光素子が向かい合っています 測定子 Eimax
Eimaxと最小値Eiminから次式で求めた値となっています(図4参照)。 (mm)
(図1)。
指示精度 (Er) =|Eimax|+|Eimin| Eimin
スピンドルが上下することで移動スリットが固定スリットに対して移動する 図2 1/4P 1/4P - MIN
と、固定スリットの窓を通過する光は、明暗を繰返します。 また、量子化誤差を少なくするため、デジタルゲージカウンターの表示値が測定ポイントに (μm)
指示精度(Er) =|Eimax|+|Eimin|
この時、同じ周期で90 の゚位相差を持つ2つの方形波信号が出力されま なった瞬間の標準器の目盛り値を読み取っています。そのため、指示精度はリニアゲージ
A相 A相
す。その位相の進みまたは遅れから方向判別し、デジタルゲージカウンター (SIG1) センサーの分解能よりも小さくなっています。
で加算・減算を行い数えることで、変位量を測定します(図2)。 P P ●分解能
リニアゲージセンサーの出力信号は1P(ピッチ)=4 μm(* 1 μm分解能タ リニアゲージセンサーがもっている最小読み取り値のことです。例えば、リニアゲージセンサー・GS-1730Aの場合10 μmが最小読み取り値になります。
イプ)または、1P(ピッチ)=40 μm(10 μm分解能タイプ)ですが、デジタ B相 B相
(SIG2)
ルゲージカウンターで4逓倍することにより1P(ピッチ)の1/4の測定分解 方形波信号 ●温度による影響
に変換
能(1 μmまたは10 μm)が得られます。 当社リニアゲージセンサーの精度は20 ℃の温度で定められています。検出部分に使用しているガラススケールは温度によって変化するため、20 ℃以
*GS-3800Bシリーズは1P(ピッチ)=0.4 μmになっています。 外の温度下で使用する場合の精度は、ガラススケールの変化分による誤差を追加する必要があります。(ただし、温度が安定、かつ安定した時点でデ
ジタルゲージカウンターの値をリセットした場合に限ります。)
当社の検出用ガラススケールは、9×10-6/Kの線膨張係数をもっています。ある温度下(A ℃)での誤差は、以下の式で求めることができます。
出力回路 9×10-6×ストローク量(mm)×(A-20) mm
この式で求められた誤差分を20 ℃での精度に加えることで、ある温度下での精度が分かります。
リニアゲージセンサー 型名の違い 100 mmストロークリニアゲージセンサーにおいてスピンドルを最大限に押し込んだ場合は、9×10-6×100(mm)×(A-20) mmが追加される誤差分
● GS-1713/1730/1813/1830/3813/3830/4713/4730/4813/4830/6713/6730/6813/6830/5050/5100/5051/5101
金属筐体と回路0 Vを電気的に接続しています(BSシリーズを除く)。リニアゲージセンサーの取り付け対象がしっかりと接地されていない場合、故障が発生する となり、50 mmストロークさせた場合は上記の1/2、30 mmストロークさせた場合は3/10となります。
可能性があります。リニアゲージセンサー及び測定子の接触部がしっかりと接地されていることをご確認の上、ご使用をお願いします。 これは分解能には関係なく、ストローク量に依存する誤差です。
● GS-1713A/1730A/1813A/1830A/3813B/3830B/4713A/4730A/4813A/4830A/6713A/6730A/6813A/6830A/5050A/5100A/5051A/5101A また、温度変化による0点の変化量は、ガラスの変化分(ガラスの全長に対する検出部の位置により異なります)、スピンドルの変化分、リニアゲージセ
金属筐体と回路0 Vは分離されています。
ンサーを保持している治具部分の変化分などが相互に影響するため、定量的には示せません。
●GS-1713/1730/1813/1830/4713/4730/4813/4830 ●GS-1713A/1730A/1813A/1830A/4713A/4730A/4813A/4830A ●BS-1210/1310
/6713/6730/6813/6830/5050/5100/5051/5101 /6713A/6730A/6813A/6830A/5050A/5100A/5051A/5101A 測 定 力
R03-PB6M R03-PB6M R03-PB6M
+5 V IN (多治見無線) (多治見無線) (多治見無線)
(線色) +5 V (線色) Vcc (線色) 測定子がワークを押し付ける圧力を測定力としています。当社ではスピンドルを押し出すバネがリニアゲージセンサーに内蔵されているため、スピンドルを
Ro
A SIG 1(黄) A SIG 1(黄)
22 Ω A SIG 1(黄)
Ro 最大限に押し込んだ状態でワークにかかる圧力を測定力として表しています。単位はN(ニュートン)です。なお、ワークを押しつける面の単位面積にかか
B SIG 2(白) 22 Ω B SIG 2(白) B SIG 2(白)
C +5 V IN(橙) C +5 V IN(橙) C +5 V IN(灰) る測定力は測定圧としています。単位はN/mm2で表わされます。
+5 V IN
D ノーコネクション +5 V D ノーコネクション D ノーコネクション 測定力はスプリングを交換することで変更できますので、発注時にご指定ください。(改造費:¥15,000(税抜き)。
E COM(灰) E COM(灰) E COM(桃)
22 Ω F COM(桃) 22 Ω F COM(桃) F COM(橙) 但し、改造によっては取り付けが上向き、横向きでは完全に戻らない場合があります。また定圧改造*につきましては、別途お打ち合わせが必要となります。
コネクター外筒 *定圧改造とは、通常スピンドルの位置によって異なる測定力を、ストローク全体において一定にすることです(バラツキ±0.1 N、防塵ゴムなしのとき)。
ケースアース ケースアース
●GS-3813/3830 HR10A-7P-6P(73) ●GS-3813B/3830B HR10A-7P-6P(73)
(ヒロセ無線) (ヒロセ無線) デジタル信号を利用し測定値を読み取る場合
(線色) (線色)
1 SIG 1(茶) 1 SIG 1(茶) (1)BCD出力を利用する方法 接続方法 デジタルゲージカウンター リニアゲージセンサー
2 SIG 1(白) 2 SIG 1(白)
3 SIG 2(赤) 3 SIG 2(赤) デジタルゲージカウンターのBCD出力インタフェース BCD アナログ オープンコレクター ラインドライバー 90°位相差
4 SIG 2(青) 4 SIG 2(青) 機能を利用する方法で、高速転送が可能です。 比較項目 出力 出力 出力 出力 信号
5 +5 V IN(橙) 5 +5 V IN(橙) PLC パラレルポート 12 bit D/A変換 90°位相差 90°位相差 90°位相差
6 COM(黄) 6 COM(黄) (2)リニアゲージセンサーの出力信号(2相90°位相差) インタフェース 信号 信号 信号
を利用する方法 応答時間*1 約10 ms 約10 ms 約1 μs以下*2 約1 μs以下*2 -
コネクター外筒
ケースアース リニアゲージセンサーの出力を直接PLCのカウンター /通信速度
ケーブル長 - - 30 m 200 m以上 30 m
に接続することで計数が可能です。
★当社では、リニアゲージセンサーとデジタルゲージカウンターの組み合わせでの使用を推奨しています。 計数エラー検出機能 ○ × × × ×
リニアゲージセンサーを単体で使用する場合は、取扱説明書に記載されている仕様等をご確認の上、設計をお願いします。 リニアゲージセンサーの出力信号はA相(SIG1)、B相 対応機種 DG-2310/4320 DG-2310 DG-0010 DG-0020 BS/GS
(SIG2)とも仕様の分解能の4倍ごとのパルス出力の /4340/5100 /5100 シリーズ
ため、仕様の分解能で計数するためにはPLC側のカウ *1 デジタルゲージカウンターにパルス入力後、BCD出力のビットが変化するまでの応答時間です。
計測用語 *2 PLCの回路条件(電圧/電流)によって転送時間が異なります。
ンターが4逓倍計数機能を持っている必要があります。
BCD オープンコレクター TTL 正論理/負論理 RS-232C コンパレーター 和差演算 保護構造 (3)オープンコレクター出力、ラインドライバー出力の信号を利用する方法
(BCD) IP64G 出力変換ボックスDG-0010(オープンコレクター出力)、DG-0020(ラインドライバー出力)を使用します。
Binary Coded Decimal 電流を吸い込むための Transistor Transistor デジタル信号において 多くのPCでシリアル・ ある基準値(しきい 2つの数値を足し算 固形異物、水及び油の侵入に
codeの略で、10進数の 回路方式のことです。 Logic(IC)の略で、パ 1をHiレベルとし、0をLo インタフェースとして採 値)を設定し、その設 (和)、引き算(差)する 対する保護等級を表す記号です。 (4)RS-232C通信を利用する方法
0から9を2進数(0と1)4 おもにPLCのフォトカプ ルスの電圧レベルをあ レベルとすることを正論 用されている規格です。定値に対する測定値 演算のことです。デジ IP6Xとは埃から完全に保護さ DG-2310/5100は、RS-232C通信機能を使い、測定値の読み取りや条件変更等ができます。
ビット(1、2、4、8)で表現 ラー入力につなぎます。 らわす言葉です。 理といいます。逆に1を コンピュータと計測器 の大小を判別して信 タルゲージカウンター れていることです。
する方法です。 一般に+2.4 V以上を Loレベル、0をHiレベル とのデータの交信や 号を出力する機能で においては、2つのリ IPX4とはいかなる方向からの (DG-5100の場合、オプション機能TM-0350が必要です)
高い(Hiレベル)、+0.4 とすることを負論理とい 計測器の制御が可能 す。その出力には、接 ニアゲージセンサーを 水滴・飛沫から保護されている
【例】 1 2 3 出力 V以下を低い(Loレベ います。 です。どう使うかはソフ 点出力と無電圧接点 使用して和差演算を ことです。
0001 0010 0011 ル)と決められており、こ 1 0 1 トウェアで設定します。 出力(オープンコレク 行うことで、厚みの測 IPXXGとはいかなる方向から アナログ出力信号を利用し測定値を読み取る場合
シリアル の電圧をTTLレベルと 正論理 ター出力)があります。 定や段差の測定が可 の油滴・油沫から保護されてい
パラレル COM いいます。 負論理 能です。 ることです。
※詳細はP.29をご参照ください。 デジタルゲージカウンターDG-2310/5100のアナログ出力を利用することができます。
26 27
Page15
Digital Linear_p28-29
品質保証
コンパレーター出力信号による制御を行う場合
デジタルゲージカウンターに設定された値と計測値を比較した結果を利用する方法です。 応答時間 約10 ms ■ 品質保証体制について
接点容量 DC30 V/100 mA
(DG-2310/4340/5100) 小野測器は、品質方針として「常にお客様の視点に立って、満足と安心を提供し続けよう」を掲げ、全社を挙げての品質管理活動を展
用途 機器の駆動 開しております。
この品質活動の一環として、ISO 9001 品質マネジメントシステムの認証を取得しています。
リニアゲージセンサーの取り付け方法
●本体固定時の取り付け公差
固定する治具は剛性のある構造にし、リニアゲージセンサー本体を直角に取り付けてください。 ■ トレーサビリティ体系
取り付け角度の推奨値は、0.15度(直角度 260 μm/100 mm)以下です。 小野測器では産業技術総合研究所、日本電気計器検定所、日本品質保証機構などで校正を受けた照合用標準器及び校正機器・装
リニアゲージセンサー本体が斜めに取り付けられていると誤差が発生するだけでなく、スピンドルへ横方向の力が掛かり故障の原因となります。 置をもとに、独自の社内トレーサビリティシステムを確立しています。また、トレーサビリティ体系はISO 9001 品質システムによる計測器管理
また、固定する治具の形状はL字型にしてください。リニアゲージセンサー本体が直角に取り付け易くなります。 規定に従って定期的に校正を行っています。
0.4
0.15度 ■ CEマーキング(EMC指令)、FCC(アメリカ電磁妨害波規制)について
0.3
小野測器のGS-1700A/1800A/3800B/4700A/4800A/6700A/6800A/5050A/5100Aシリーズ リニアゲージセンサーは、以下の
0.2 CEマーキング、FCCに適合しています。
リニアゲージセンサー本体 0.1 型 名 GS-1700A/1800A/3800B/4700A/4800A/
項 目 6700A/6800A/5050A/5100Aシリーズ
0 CEマーキング EN61326-1: 2006
0 0.05 0.1 0.15 0.2 FCC class 15B
取り付け角度(度)
ストローク100 mmに対する計測誤差 【注意】 ●リニアゲージセンサー本体の信号ケーブルのコネクターの切断、又は改造した場合はCEマーキング非適合になります。
固定治具 ●EMC適合ケーブルは20 mまでとなっています。
取り付け角度0.15度の場合、ストローク100 mmに
対する計測誤差は 0.4 μmになります
●本体固定時の締め付けトルク値
リニアゲージセンサー本体固定におけるねじの締め付けトル ねじ(おねじ) 固定治具(めねじ) M3締め付けトルク M4締め付けトルク ■ 防塵・防水・防油性について
ク推奨値は右記表の値になります。 推奨値 推奨値 小野測器の防塵・防水・防油製品は日本工業規格JIS C 0920-2003(IEC60529-2001)、及び日本電機工業会規格JEM1030-1983に
締め付け後、必ずスピンドルの動きを確認してください。 鉄 鉄 0.7 N・m 1.4 N・m 準拠しています。
動きが悪い場合は締め過ぎているため緩めてください。 鉄 アルミ 0.52 N・m 0.84 N・m
但し、緩めすぎると本体の固定が不安定になり正確な測定ができなくなりますので固定後のスピンドルの動きにご注意ください。 保護構造の種別
必要に応じて、ねじロック剤を併用してください。 例: IP 6 4 G
第3記号(油の侵入に対しての保護)
●ステム取り付け部の締め付けトルク値 推奨値 第2記号(水の侵入に対しての保護)
締め付け後、必ずスピンドルの動きをご確認ください。 型 名 締め付けトルク 第1記号(固形異物の侵入に対しての保護)
動きが悪い場合は締め過ぎているため緩めてください。 GS-1700A/1800A/3800B/4700A/4800A/5050A/5100A 0.5 N・m
/6700A/6800Aシリーズ
但し、緩めすぎると本体の固定が不安定になり正確な測 第1記号 保護の程度
BSシリーズ 0.7 N・m
定ができなくなりますので固定後のスピンドルの動きにご 5 粉じんが内部に侵入することを防止する。若干の粉じんの侵入があっても、正常な運転を阻害しない。
注意ください。 6 粉じんが内部に侵入しない。
●測定子の交換 第2記号 保護の程度
スパナ掛け
測定子交換の際は、固定用スパナが付属している場合はまずスパナをスピンドル先端のスパナ掛けに 4 いかなる方向からの水の飛沫によっても有害な影響を受けない。
掛け、スピンドルに回転方向の力がかからないように固定します。 5 いかなる方向からの水の直接噴流によっても有害な影響を受けない。
その後、測定子をペンチなどで挟み、測定子の取り外し、取り付けを行ってください。ペンチを使用する際 6 いかなる方向からの強い水の直接噴流によっても水が侵入しない。
には、測定子を傷つけないようフェルトなどを当て布にして作業を行ってください。 7 規定の圧力・時間で水中に没しても水が侵入しない。
スパナは測定子脱着のための工具ではなく、測定子脱着の際の回転力がスピンドルに伝わらないように スピンドル先端 8 常時水中に没して使用できる。
固定するための工具です。スピンドルに回転力が伝わると、内部機構に狂いが生じリニアゲージセンサー
を破損する恐れがありますのでご注意ください。 第3記号 保護の程度
固定用スパナが付属していない場合は、製品の取扱説明書の指示に従ってください。 F いかなる方向からの油滴・油沫によっても有害な影響を受けない。
G いかなる方向からの油滴・油沫も内部に侵入しない。
28 29
計測誤差(μm)
Page16
Digital Linear_p30-31
接触式で測れない時には・・・
小野測器では非接触式の厚さ計、変位計もご用意しております。
対象物に傷をつけたくない場合や対象物が柔らかく測定圧によって変形してしまう場合、非常に小さい対象物の場合
など接触式のリニアゲージセンサーには不得意な計測を可能にします。
静電容量式 非接触厚さ計 CLシリーズ
非接触変位計 VTシリーズ
ギャップディテクタ VEシリーズ
※別途詳しいカタログをご用意しておりますのでご請求ください。
システム構成例
シリコンウェハーの厚さ計測 フィルムなどの厚さ計測
対向導体とフィルムは接触させる
VL-1520 信号ケーブル×2 お客様ご用意
オリフラ付きウェハー PC
VE-1520
ギャップディテクタ×2
VE-5010
ギャップディテクタ
測定台とセンサーを
電気的につなぐ
導体
(センサーと電気的につなぐ)
AX-5022B CL-5610 非接触厚さ計
RS-232Cケーブル
フィルム
CPUによる
CL-015 システムコントロール
ウェハー用スライドテーブル CL-5610 非接触厚さ計
走行中の厚さ計測 回転軸の軸振動・偏心を非接触で観察
鋼板圧延機
VL-1520 信号ケーブル×2
VL-1520 信号ケーブル アナログ出力
VE-8020
ギャップ
ディテクタ×2 電気的につなぐ
VT-5200シリーズ
VE-3020 非接触変位計
ギャップディテクタ
電気的につなぐ
Y
VL-1520 X
信号ケーブル アナログ出力
CL-5610 非接触厚さ計
VE-3020
ギャップディテクタ
オシロスコープで
軸振動・偏心を観察
VT-5200シリーズ
非接触変位計
センサー取り付けアンビル
(センサーと電気的につなぐ)
30 31
Page17
32
※Microsoft® Windows®は米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標です。 その他記載されている会社名、 製品名は各社の商標または登録商標です。
お客様へのお願い ■ 輸出または国外へ持ち出す際のご注意
当社製品(役務を含む)を輸出または国外へ持出す場合は、外為法(外国為替及び外国貿易法)の規定により、リスト規制該当品であれば、経済産業大臣へ輸出許可申請の手続きを
行ってください。なお、非該当品であってもキャッチオール規制に該当する場合は、経済産業大臣へ輸出許可申請が必要となります。当社製品の該非判定書をお求めの際は、当社ホーム
ページの該非判定書発行依頼ページよりご依頼ください。お問い合わせは、最寄りの当社営業所または当社総務グループ(045-935-3888)までご連絡ください。
●記載事項は変更になる場合がありますので、ご注文の際はご確認ください。 注意 ●機器を正しく安全にお使いいただくために、ご使用前に必ず「取扱説明書」をよくお読みください。
●価格は変更になる場合がありますので、ご注文の際はご確認ください。
●代理店・販売店
〒220‒0012 神奈川県横浜市西区みなとみらい3‒3‒3 横浜コネクトスクエア12階
TEL(. 045)935‒3888
お客様相談室 フリーダイヤル 0120-388841
受付時間 : 9:00~12:00/13:00~18:00(土・日・祝日を除く)
北 関 東(028)684‒2400 浜 松(053)462‒5611 九 州(092)432‒2335
埼 玉(048)474‒8311 中 部(0565)41‒3551 海 外(045)935‒3918
首 都 圏(045)935‒3838 関 西(06)6386‒3141
沼 津(055)988‒3738 広 島(082)246‒1777
ホームページアドレス https://www.onosokki.co.jp/
E‒mailアドレス webinfo@onosokki.co.jp
CAT.NO. 1700-32 Printed in Japan(SUN)'25.4月改訂 *本カタログ記載の価格はすべて税抜き価格です。