非接触厚さ計・変位計

VT/VE/CL series 非接触厚さ計/変位計 ウェハー・フィルム・ガラスの厚さや タービン・コンプレッサーの軸振動を 非接触で高精度測定 非接触変位計 VTシリーズ ギャップディテクター VEシリーズ 非接触厚さ計 CLシリーズ

静電容量式厚さ計・変位計 システム概略図 特長 静電容量式非接触厚さ計 CL-5610 静電容量式非接触計測システムは、ギャップ検出センサーであるギャップディテクターVEシリーズと静電容量式非接触変位計 シリーズ VTシリーズ、静電容量式非接触厚さ計CLシリーズとの組み合わせで構成され、計測対象とVEセンサー間のギャップを非接触 で精密に計測することができます。また、ギャップを計測できる機能を使って計測対象の厚みを測ることも可能です。 CL-5610 卓上計測や小型計測装置組み込み向けの標準タイプ ●非接触で計測が可能です ギャップディテクター 非接触で計測できるため、接触を嫌う半導体ウェハーや柔らかなフィルム、傷つきやすいガラスなどの厚み計測に最適です。 CL-5610 信号ケーブル VEシリーズ また、モーターの軸ブレ等接触が危険な対象の計測も可能です。 VLシリーズ ●材質毎の校正が不要です 渦電流方式の計測器では、計測対象の材質毎に校正が必要ですが、静電容量方式では必要ありません。導体であれば、鉄、 アルミ、ステンレスなど、再校正せずに同一設定で計測を継続することが可能です。 ケーブル長 1.5 m（延長不可） ■計測原理 ※VE-5010/1020はケーブル 直出しのため不要です。　 センサー底面と計測対象物間のギャップを、両者間の静電容量から計測します。静 C = ε・SVEセンサーは 電容量（C）、センサーの電極面積（S）、計測対象までの距離（D）の3つには右記のような関係が D 成り立つため、静電容量がわかれば距離（D）がわかります。静電容量式非接触計測システムでは、 ε： 誘電率 センサー この静電容量（C）を計測することで、ギャップ（D）を計測し、表示します。 D S CL-5610S 大型計測装置組み込みなど表示器とセンサーを離して設置できるギャップ変換部分離タイプ 静電容量を計測するためには、センサーと対向しておかれている計測対象が、導体（電気を通す 導体 ※本体とセンサー間が11.5 mまで延長可能（標準では4 m）。 物質）であること、センサーケース（センサー外殻）と電気的に接続されていることが必要です。 CL-5610S ●導電体の厚さ計測 ●絶縁体の厚さ計測 外部ギャップ変換器 導電体の厚さ計測には静電容量式非接触厚さ計CL-5610シリー 絶縁体の厚さ計測には静電容量式非接触厚さ計CL-5610シリー ギャップディテクター 表示・演算部 CL-0420＊ ズと2つのギャップディテクターVEシリーズを使用します。 ズと1つのギャップディテクターVEシリーズを使用します。 信号ケーブル VEシリーズ VEセンサーを計測対象を挟む形に設置します。 ギャップディテクターVEシリーズを基準床となる導体に距離Dを隔て VLシリーズ このとき、センサーが直接計測できる数値はセンサーから対象表面ま て対向して設置します。センサーと基準床となる導体間に計測対象 でのギャップdaとdbですが、あらかじめ両センサー間の距離Dがわか の絶縁体を挿入すると、センサーからの出力は距離Dに相当する出 っていれば、対象の厚みtは下記の①式により求めることができます。 力とは異なる値に変化します。これは比誘電率εrの絶縁体が挿入 信号ケーブル t=D－da－db…① されたことにより、センサーと基準床となる導体間の誘電率が、空気 標準： 2.5 m （オ　プションで ケーブル長 1.5 m（延長不可） 現実には両センサー間の距離Dを正確に計測することが難しいた のみであったときから空気と絶縁体の合成値に変化したためです。 10 m ま 　で可） ※VE-5010/1020はケーブル め、厚さが既知の導電体のマスター片（厚さtr）を用意し、両センサー このとき、絶縁体の比誘電率εrが既知であれば、下記の②式で絶 直出しのため不要です。　 間の距離Dを 縁体の厚みtを求めることができます。 ＊受注生産品 D=da+db+ t r t＝（　　εr1－ε　r ）×（ΔD）…②式 ΔDは見かけの距離の変化分 と求めます。 現実にはεrを求めることが難しいため、計測対象と同じ材質のマス 静電容量式非接触変位計 VT-5210/5700シリーズ この両センサー間の距離Dを利用することで、厚さが未知の対象物 ター片（厚みtr）を用意し、②式から計測対象の比誘電率εrを求め の厚さを計測することが可能となります。 ます。 厚さが未知の対象物の厚さtは、先に求めたεrと、ΔDを利用するこ VT-5210 本体 めることができます。 被計測物 センサーA とで求 AC電源の標準タイプ da センサーA（またはB） 被計測物 D t ●応答周波数 4 kHz ギャップディテクター 力オフセット機能付き 信号ケーブル db ●出 VEシリーズ D t 0分割レベルメーター搭載 VLシリーズ ●2 センサーB 導体（基準床） ●AC100～240 V 電源駆動 ※センサーケースと被計測物は同電位とします。 ※センサーケースと対向導体は同電位とします。 ※計測可能な絶縁体の厚みは、センサーと基準床間のGAP値の ケーブル長 1.5 m（延長不可） ■計測可能な対象物 　約1／3以下を目安としてください。 ※VE-5010/1020はケーブル 直出しのため不要です。　 ●導体 ： 抵抗が低く電気を流すものであれば種類は問いません。 ●半導体 ： シリコンウェハーのような半導体でも計測が可能です。接地インピーダンスが高い対象の場合、高インピーダンス接地モードCL- 0210（オプション）が必要になる場合があります。 ●絶縁体 ： 計測対象物が絶縁体の場合はギャップの計測はできませんが、厚さが薄い場合は厚さ測定が可能です（絶縁体厚さ計測機能 VT-5700シリーズ CL-0300［オプション］が必要です）。 本体 ギャップディテクター 信号ケーブル VEシリーズ ○プラスチック　○サファイア　○ガラス　○プラスチックフィルム　○水晶等 DC電源の小型タイプ VLシリーズ ●カーボン： グラファイトやアモルファスであれば計測可能です。ただしダイヤモンドは絶縁体のため、材料に含まれていると計測できない場合があります。 VT-5710（応答周波数 4 kHz） ●複合材料： 誘電率の異なる複数の材料を使用した複合材の場合計測できません（導体同士の場合を除く）。 VT-5720（応答周波数 10 kHz） ●塗装、表面処理した材料 ： 表面に絶縁体の塗料を塗布した材料やアルマイト処理した場合などは、計測誤差が仕様値より大きくなります。 ●小型筐体 ● ●組み込み用に最適 ケーブル長 1.5 m（延長不可） 表面が粗いもの、曲面形状のもの ●DC±15 V 電源駆動 ※VE-5010/1020はケーブル ： 計測原理からVEセンサーによる計測は、表面の凹凸のほぼ平均となります。曲面の場合も同様です。 直出しのため不要です。　 ●水分を含むもの ： 計測中に水分量が変化することで、計測値が変化してしまいます。また、材料表面に汚れや油などが付着していても誤差となります。 2 3

CL-5610シリーズ 静電容量式非接触厚さ計 CL-5610/5610Sは、ギャップディテクター 仕様 VEシリーズセンサーと接続して、導体や 半導体、絶縁体の厚みを計測する非接 CL-5610 CL-5610S 触厚さ計です。VEシリーズセンサーを2 計測対象 導体、半導体、絶縁体＊1 計測項目 センサーAと計測対象物（導体・半導体）間のギャップA 個まで接続することができます。 センサーBと計測対象物（導体・半導体）間のギャップB CL-5610は、センサー用アンプを本体に 計測対象物（導体・半導体・絶縁体＊1）間の厚さ 内蔵し、VEセンサーを厚さ計本体に直接 表示 蛍光表示管　2段表示／1段表示 切替 接続して使用します。デスクトップでのオ 表示モード ギャップ値、厚み フライン計測に適しています（センサーと 演算値： （ 計測値－設定値）値／最大値／最小値／（最大－最小）値 本体間のケーブルは1.5 mです。延長はで 分解能 センサーとの組み合わせによる。0.1、0.5、1、2 μm（0.02、0.05、0.2、0.5、1 μm＊2） 精度（10～100 % 標準： ±0.15 %F.S.、 高分解能演算機能オプション装着時： ±0.12 %F.S.＊2 きません）。 　　 F.S.において） CL-5610Sは、センサー用アンプを外部 サンプリング時間 20 ms に独立させ、VEセンサーと厚さ計本体を アベレージング 移動平均： 1～64回 離して使用できます。本体と外部アンプ インタフェース RS-232C（接続ケーブル： オプションAX-5022B　2 m） 間のケーブル長は標準で2.5 m、オプショ BCD出力（CL-0120オプション装着時） ンにて最長10 mまで延長可能です。厚さ 外部リモート機能： 演算機能の開始/停止、厚さ校正など5つのコマンド操作が可能です。 SYNC機能： CL-5610/5610Sの複数台同期運転が可能です。＊3 計本体を計測地点から離して設置できる 輸出貨物：リスト規制該当品 電源 AC100～240 V、 50/60 Hz ので、オンライン計測に適しています。 使用温度範囲 0～40 ℃（精度保証範囲：23±2 ℃） 使用湿度範囲 20～80 %RH（ただし結露なきこと） オプション CL-0110 出力機能 特長 ●アナログ出力 SENSOR A、SENSOR B端子 ● 出力項目 ： それぞれのセンサーのGAP出力＊4 ●豊富な計測項目 ● 出力電圧： 5 V/F.S（. オフセット［－5～0 V］機能付き） 厚みとギャップを測定できます。また、それぞれに対し、偏差値・最大値・最小値・最大幅値（最大－最小）の演算値もできます。 ● 出力精度： ±0.25 %F.S.＊4 A-OUT端子 ●導体・半導体の他、絶縁体の厚みも測定できます ● 出力項目 ： THICK、GAP-A、GAP-B、A-Bより選択 CL-0300 絶縁体測定機能オプションにより、薄いプラスチックフィルムやガラス板などの絶縁体の厚みを測定することができます（複合材は ● 出力電圧： －5～0～＋5 V（出力スケールは任意設定可能） 測定できません。比誘電率によっては測定できないものもあります）。 ● 出力精度： ±0.25 %F.S. ●導通が完全に取れないサンプルなども、安定した厚み測定が可能です ●コンパレーター出力 COMP1、COMP2、COMP3 ● 個別モード： それぞれにUPPERとLOWERの閾値を設定しウインドウコンパレ サンプルをフッ素系膜でコーティングしたテーブルで保持する場合などは、サンプルと導通を取ることが困難でした。これまでは、広い面積でサ ーターとして機能します。 ンプルと接触させることで安定性を確保する必要がありましたが、CL-0210 高インピーダンス接地モード機能オプションにより、その面積を小 ● ALLモード： 3出力に「上限オーバー」「OK（範囲内）」「下限オーバー」の機能 さくすることができます。また、同面積に於いてはより高い安定性を確保することができます。 が設定されます。 ●センサーの校正値を最大６種まで保存可能です CL-0120 BCD出力機能 出力方式： 6桁パラレルBCD、オープンコレクター出力 ＶＥシリーズセンサーは特性に個体差があるため、CL-5610シリーズと１対１で校正する必要があります。 更新時間： 20 ms 適合ケーブル： AA-8207（3 m、片側オープン） CL-5610シリーズは、センサーの校正情報を最大６個まで保存することが可能なため、測定範囲と分解能に合わせて最適なセンサーを選ん CL-0200 高分解能演算機能 機能： 表示分解能と精度を向上 で使用することができます。 分解能・精度： P.4「計測範囲と表示分解能」をご参照ください。 ※CL-0110 出力機能オプションのSENSOR A、SENSOR B出力精度は、1つのセンサーとの組み合わせに限ります。 CL-0210 高インピーダンス接地モード機能 ●PLCやPCから本器をコントロールしたり、測定データを取り込むことができます 接地抵抗が大きな計測状況でも安定した計測がおこなえます。 外部インタフェースとして、リモート端子、RS-232C端子、BCD出力端子（オプション）をご用意しました。本器を生産設備などに組み込み、 CL-0300 絶縁体測定機能 データの読込やコントロールを行うことができます。BCD出力端子からは20 ms毎の計測データを取得することもできます。 絶縁体の比誘電率を演算することにより、絶縁体の厚み計測が可能です。 比誘電率の大きさによっては、計測できない場合があります。 外形寸法 210（W）×99（H）×275（D） mm（突起部含まず） 210（W）×99（H）×275（D） mm（突起部含まず） 計測範囲と表示分解能 CL-0420： 56（W）×42.4（H）×122（D） mm（突起物部含まず） 質量 約4.2 kg 約4.2 kg 表示分解能（μm） 表示分解能（μm） CL-0420： 約0.5 kg×2台 センサ ー 測定 名 （μm 範囲 型 ） 付属品 電源ケーブル×1、 取扱説明書×1、 電源ケーブル×1、 取扱説明書×1、 標準 CL-0200 高分解能演算 センサ型 ー 測定 名 （μm 範囲 ） 機能オプション装着時 標準 CL-0200 高分解能演算 機能オプション装着時 リモート用コネクター×1 リモート用コネクター×1、 専用接続ケーブル（2.5 m）×2 VE-2011 20～200 0.02 VE-1520 150～1500 0.5 0.2 価格 ¥662,000（税抜き） ¥819,000（税抜き） VE-5010 50～500 　 VE-3020 300～3000 1 0.5 ＊１： 絶縁体の計測には CL-0300 絶縁体測定機能オプションが必要です。 VE-5011 /20～200＊1 0.1 0.05/0.02＊1 VE-8020 ＊２： CL-0200 高分解能演算機能オプションが必要です。 VE-1020 VE-8021 800～8000 2 1 ＊3： マスタ1台に対し2台まで同期可能です。SYNC機能を使用するには、機器同士の調整が必要です。ご希望の場合は別途お問い合わせください。 ＊4： SENSOR AおよびSENSOR Bの出力精度は、それぞれ登録された１つのセンサーとの組み合わせに限ります。他の登録センサーを接続した場合の出力 VE-1021 100～1000 0.1 精度は、保証されませんのでご注意ください。 ＊１： VE-5010/5011は、CL-0201測定範囲変更オプションにより測定範囲を20～200 μmに指定することができます。その際の高分解能演算機能オプション 装着時の表示分解能は0.02 μｍとなります。 ※ 絶縁体計測の場合、測定範囲の約1／3の厚みを計測の目安としてください。 例）VE-1020を使用する場合、絶縁体の厚みは約350 μm以下となります。 4 5

静電容量式非接触変位計 VTシリーズ インタフェース 静電容量式非接触変位計VTシリーズはギャップディテクターVEシリーズと組み合わせて、導電体とのギャップをアナログ電圧 で出力する変位計です。回転軸の軸ブレ検出やステージの微小位置制御などに力を発揮します。非接触変位計の出力は、最 ■BCD IN/OUT 長10 mまでケーブル延長することができます。 BCD出力は「厚みデータ」、「センサーAと計測対象物間のギャップ」、「センサーBと計測対象物間のギャップ」といった計測値から1つを選んで VT-5210はAC電源、VT-5700シリーズはDC電源で動作します。 出力することができます。データは計測ごと（20 ms）に更新されます。 VT-5210/5710は4 kHzの応答周波数を持ち、VT-5220/5720は10 kHzの応答周波数を持ちます。 ●適合コネクター： HDRA-E36MA（本多通信工業製）　●当社標準ケーブル： AA-8207（3 m： 片側オープン） ピン I/O 信号 機能 ピン I/O 信号 機能 1 0 1 21 0 1 ●VT-5210 2 0 2 100データ 22 0 2 105データ 3 0 4 出力 23 0 4 出力 計測値を出力 4 0 8 24 0 8 5 0 1 25 0 － SIGN 符号を出力 6 0 2 101データ 26 0 0 DP0 7 0 4 出力 27 0 1 DP1 測定値の小数点位置を出力 8 0 8 28 0 2 DP2 9 0 1 29 0 0 UNIT0 10 0 2 102データ 11 0 4 出力 計測値を出力 30 0 1 UNIT1 測定値の単位を出力 31 0 2 UNIT2 12 0 8 32 0 START 演算モード中にHレベルを出力 13 0 1 Gap A/Bの測定値がセンサー定格の130 %を超え 14 0 2 103データ 33 0 ERROR た場合、あるいはTHICKの演算値が負の場合、あ 15 0 4 出力 るいは演算値が表示桁数を超えた場合にそれぞれ 16 0 8 Hレベルを出力 17 0 1 34 I #HOLD 外部からBCDのデータをホールドする VT-5210 18 0 2 104データ 35 0 DAV Highレベル時はBCDデータが有効 （4 kHz） 19 0 4 出力 36 － COM 20 0 8 ●BCD信号の出力 ●ホールド信号の入力 型名 VT-5210 CL-5610シリーズの出力信号に接続する外部機器側には下記の CL-5610シリーズにホールド信号を入力する場合、下記の回路を 出力 0～5 V／0～100 %F.S. 回路を推奨します。 推奨します。 出力オフセット範囲 出力に対しオフセット電圧 －5～0 V を設定可能 CL5610/5610S出力 外部機器（推奨回路） ●接点出力時 外部機器 CL5610/5610S入力 直線性（10～100 %F.S.において） ±0.2 %F.S. V＋ 負荷電圧 5 V DC min 温度特性 ±0.05 %F.S.／℃以内 負荷電流 100 mA min ＋V 10 kΩでプルアップ オン抵抗 10 Ω max 応答周波数 DC～4 kHz BCD-OUT 出力形式 オープンコレクター オフ抵抗 1 kΩ max 無電圧接点 または ロジック出力 10 kΩ HOLD 100 Ω モニター表示 20分割LED、 アナログ出力オフセット機能 IC 74LS07 CMOS or TTL 耐電圧 24 V max ●ロジック出力時 動作温度範囲 0～40 ℃（精度保証範囲：23±2 ℃） シンク電流 32 mA max COM 出力Loレベル電圧 0～1.0 V COM 使用電源 AC100～240 V／10 VA 残留電圧 0.6 V max 出力Hiレベル電圧 3.5～5.25 V 出力インピーダンス 1 kΩ max 外形寸法 95（W）×150（H）×195（D） mm（突起部含まず） 質量 約2 kg 付属品 AC電源ケーブル×1、 取扱説明書×1 ■コンパレーター出力 価格 ¥389,000（税抜き） ●個別モード 測定値 設定上限値（UPPER）＜設定値または 上限値 設定下限値（LOWER）＞設定値で ※F.S.は、センサー最大測定範囲 個別モード： ３出力それぞれにUPPERとLOWERの閾値を設定しウィンドウコン コンパレーター接点出力がクローズに パレーターとして機能します。 なります。 下限値 ALLモード： ３出力に「上限オーバー」「OK（範囲内）」「下限オーバー」の機能が ●ALLモード ●VT-5700シリーズ オープン COMP1 上限値オーバー 設定されます。 COMP出力 COMP2 OK クローズ COMP3 下限値オーバー ■外部コントロール端子の入出力 ●推奨インタフェース（内部電源を使用した場合） CL5610/5610S 外部機器 A 適合コネクター R03-PB8M（多治見無線機製） VT-5710 VT-5720 B （4 kHz） （10 kHz） 出力形式 半導体リレー（Photo-Mos）無電圧接点（1a） フォト カプラ C 負荷電圧 AC/DC 60 V 220 Ω D 負荷電流 400 mA E ＋5 V ON抵抗 2 Ω以下 F 型名 VT-5710 VT-5720 ＋5 V ピン 信号名 詳細 RL G 出力 0～5 V/0～100 %F.S. A 電源供給 DC5～24 Vを入力（「推奨インタフェース」をご参照ください） H 直線性（10～100 %F.S.において） ±0.2 %F.S. ±0.25 %F.S. ●外部からDC6 V以上を供給する場合は、抵抗を挿入してください。 温度特性 ±0.05 %F.S.／℃以内 ●推奨インタフェース（外部電源を使用した場合） B START START キーと同じ機能 CL5610/5610S 外部機器 ＊1 応答周波数 DC～4 kHz DC～10 kHz C STOP 演算モードを停止します A PLC＋電源 B （DC5～24 V） モニター表示 10分割LED D PAUSE PAUSE キーと同じ機能 フォト 動作温度範囲 0～40 ℃（精度保証範囲：23±2 ℃） 登録されている測定対象物基準片データで校正 カプラ C 220 Ω D 使用電源 DC±15 V（±0.5 V以内）／100 mA E CALIB ●導体測定時のみ有効となります E ＋5 V ●測定対象物基準片の厚さは変更できません 外形寸法 56（W）×42.4（H）×122（D） mm（突起部含まず） F START STATUS 演算モード及び演算中断モード時にアクティブに切り替わり F 質量 約0.5 kg G ＋5 V 出力＋5 V（MAX：0.3 A）を出力 ＋5 V RL 付属品 電圧出力・電源接続用コネクター（R03PB8M）×１、 取扱説明書×１ G H COMMON 0 Vを接続 H 価格 ¥220,000（税抜き） ¥315,000（税抜き） ＊1： DC12 Vで使用する場合は47 Ω、 DC24 Vで使用する場合は1 kΩの抵抗を挿入してください。 ※F.S.は、センサー最大測定範囲 6 7

ギャップディテクター VEシリーズ システム構成例 VEシリーズ ギャップディテクターは、センサーから計測対象までのギャップを高精度で検出する変位センサーです。 ■導体・半導体厚さ計測 ■絶縁体厚さ計測（CL-0300オプション組み込み） VTシリーズ静電容量式非接触変位計、CLシリーズ静電容量式非接触厚さ計と組み合わせることで、タービン・電動機・コンプ レッサー、工作機械主軸などの回転軸の軸振動や面振れの計測、物体の厚さや形状の計測などに威力を発揮します。 シリコンウェハーの厚さ計測 薄いガラス、水晶などの計測 半導体用ガラスマスクの厚さをオンラインで非接触計測 VL-1520 信号ケーブル×2 お客様ご用意 オリフラ付きウェハー PC VE-1520 透明ガラス ギャップディテクター×2 （ウェハー） 導体 VL-1520 信号ケーブル 測定台とセンサーを VE-1520 電気的につなぐ ギャップディテクター AX-5022B RS-232Cケーブル CPUによる CL-015 システムコントロール ウェハー用スライドテーブル CL-5610 非接触厚さ計 導体 CL-5610 非接触厚さ計 （センサーと電気的につなぐ） 走行中の厚さ計測 フィルムなどの厚さ計測 対向導体とフィルムは接触させる 鋼板圧延機 VL-1520 信号ケーブル×2 VE-8020 ギャップ ディテクター×2 VE-5010 VE-2011 VE-5011 VE-1021 VE-8021 ギャップディテクター 計測範囲（μm） 20～200 50～500 100～1000 800～8000 計測部外径（mm） φ3（保持部φ10） φ6（保持部φ10） φ8（保持部φ10） φ40（保持部φ10） 導体 ケーブル接続方式＊１ コネクター接続（専用ケーブル使用） CL-5610 非接触厚さ計 （センサーと電気的につなぐ） 表示分解能（μm）＊２ 0.1 0.1 0.1 2 CL-5610 非接触厚さ計 フィルム 直線性 接続する変位計、厚み計により異なります。それぞれの仕様欄をご確認ください。 使用温度範囲＊３ 0～80 ℃ センサー取り付けアンビル （センサーと電気的につなぐ） 価格 ¥126,000（税抜き） ¥149,000（税抜き） ¥84,000（税抜き） ¥137,000（税抜き） 専用ケーブル（1.5 m） VL-1520： ¥43,000（税抜き）／VL-1521： ¥46,000（税抜き） 銅張り積層板の計測 ■導体・半導体の変位計測 VE-5010 VE-1020 VE-1520 VE-3020 VE-8020 回転軸の軸振動・偏心を非接触で観察 計測範囲（μm） 50～500 100～1000 150～1500 300～3000 800～8000 銅張り積層板 計測部外径（mm） φ6 φ8 φ10 φ20 φ40（保持部φ20） 銅箔 絶縁体 ケーブル接続方式＊１ 直出し（1.5 m） コネクター接続（専用ケーブル使用） VL-1520 信号ケーブル アナログ出力 表示分解能（μm）＊２ 0.1 0.1 0.5 1 2 VL-1520 信号ケーブル×2 直線性 接続する変位計、厚み計により異なります。それぞれの仕様欄をご確認ください。 電気的につなぐ 電気的につなぐ 使用温度範囲＊３ 0～80 ℃ VT-5210 VE-3020 非接触変位計 ギャップ 価格 ¥100,000（税抜き） ¥95,000（税抜き） ¥65,000（税抜き） ¥105,000（税抜き） ¥120,000（税抜き） ディテクター 電気的につなぐ 専用ケーブル（1.5 m） ケーブル直出し VL-1520： ¥43,000（税抜き）／VL-1521： ¥46,000（税抜き） Y ＊1： 接続ケーブルは、専用ケーブルのみ使用できます（延長不可）。 VE-3020 VL-1520 X ギャップディテクター×2 信号ケーブル アナログ出力 ＊2： CL-5610／5610Sと接続し、導電体モード、標準モードで計測したときのものです。 VE-3020 電気的につなぐ ギャップディテクター ＊3： センサーが壊れることなく動作する温度範囲です。表示分解能・直線性が保証されるのは23±２ ℃の範囲となります。 CL-5610 非接触厚さ計 オシロスコープで 軸振動・偏心を観察 VT-5210 非接触変位計 ※ここで取り上げたシステム構成例は、様々なシステム構成実績の一部です。 8 9

安定した計測のために 外形寸法図（単位：mm） ■温度変化による影響 ■センサーと表示器の校正について ■ギャップディテクター （注）セ ンサーを固定するときは、i.（z インサートゾーン）の範囲内で固定のこと。 f.e（フェイスエンド）は、センサー端面のこと。 計測中に温度変化があると、センサーやセンサーを固定している治 静電容量式計測システムでは、センサーと接続される変位計・厚さ VE-2011 VE-5011 具の寸法が変化し、計測誤差が発生します。本システムで規定して 計は1対1で調整される必要があります。 いる計測精度の周囲温度範囲は、23±2 ℃です。その範囲外で使 静電容量式非接触厚さ計CLシリーズとギャップディテクターVEシリ 12i.z コネクター 12i.z コネクター 用する場合は、下記に示すセンサー単体の温度変化による影響を ーズセンサーを同時に注文される場合、センサー2つまでは無料で 参考に補正を行ってください。 調整を行います。静電容量式非接触変位計VTシリーズとギャップ ※センサーを固定している治具の寸法変化は、お客様にて別途補正してください。 ディテクターVEシリーズセンサーを同時に注文される場合、センサー f.e f.e ※下記はグリップアーム固定の場合です。 1つは無料で調整を行います。 28 26 製品納入後、新しいセンサーを使用する場合は別途調整費用が VEセンサー 止めネジ かかりますのでご注意ください。 I ■計測上の注意 VE-1021 VE-8021 d ●静電容量式計測システムでは、アンプが破損する恐れがあります 12i.z コネクター コネクター 計測対象面 ので、センサーの計測電極を計 センサー外殻 測対象物に接触させないでくだ 計測電極 Δd≒（k1×l＋k2×d）×Δt さい。また、同様の理由により、 ガード電極 f.e K1 ： センサーハウジング材の線膨張率（1.7×10－5） 計測対象に静電気等が帯電し 24 K2 ： センサー電極材の面膨張率（3.4×10－5） ないように処理してください。 センサー底面 18i.z I ： センサー面と固定点との距離 Δt ： 温度変化 f.e 26.3 ●静電容量式計測システムでは、センサーの外殻と計測対象物（絶 d ： 計測ギャップ 縁体計測の場合基準床）が電気的に接続されていることが必要 Δd ： 変換器の出力変化 です。導通が十分に取れていない場合、安定した計測ができませ VE-5010 17.7 VE-1020 22.7 10.7 んのでご注意ください。 17.7 ケーブル（φ３） 外形寸法図 ケーブル（φ３） （単位：mm） f.e 5i.z R1 0 f.e 10i.z 0 最少 R1 少 最 24.5 24.5 ■非接触厚さ計 18 コネクター 18 コネクター CL-5610 210 275 （15） ※ケーブル長（ケーブル部） １．５ m ※ケーブル長（ケーブル部）１．５ m VE-1520 VE-3020 15i.z 12i.z コネクター コネクター f.e 21.5 f.e 25 VE-8020 VL-1520 34 ケーブル（φ３） コネクター REAR VIEW CL-5610S 210 275 （15） 最少R10 34 f.e 19i.z 26.5 コネクター ※ケーブル長（ケーブル部）１．５ m VL-1521 34 ケーブル（φ３） コネクター（ストレート型） 最少R10 25 11 コネクター（Ｌ型） REAR VIEW ※CL-0420の外形寸法図は「VT-5710/5720/0420」をご参照ください。 φ7 ※ケーブル長（ケーブル部）１．５ m 10 11 （15） 99 （15） 99 24 φ9 φ9 φ7 φ6h7 φ8 φ3 φ40 φ4 φ10 h7 φ10 h7 φ10 h7 φ20 h7 φ9 φ9 φ9 φ7 φ7 φ8h7 φ6 φ4 φ40 φ10 h7 φ20 h7 φ10 h7

■非接触変位計 VTシリーズ VT-5210 VT-5710/5720/CL-0420 42.4 14 122 （10.5） 95 （25） 195 （14） 4-M3深5 19.5 85 （17.5） REAR VIEW ■CL-015ウェハー厚さ測定用スライドテーブル（受注生産） CL-015は、CL-5610シリーズとVEセンサー（VE-5011、 1021、1520）とを組み合わせてシリコンウェハーなどの 導電ウェハーの厚さを非接触で測定するための簡易型 ワーク取り出し溝、2箇所 手動式スライドテーブルです。真空吸着ピンセットが使 （幅25 mm、深さ10 mm） いやすいように、ウェハーを乗せる盤面に切り溝をつけ φ 158 センサー ています。 測定テーブル 対象ウェハー 外径：100～150 mm 厚さ：0.1～1 mm その他、200 mm、300 mm用テーブルも製作致します。 180 260 注： このテーブルには、センサーを上下にセットする必要があります。 （システム構成例のページをご参照ください） ■価格 ギャップディテクター 測定範囲（μm） 外 径（mm） 価格（税抜き） 非接触厚さ計 内 容 価格（税抜き） VE-5010 500 φ6 ¥100.000 CL-5610 標準型 ¥662,000 VE-1020 1000 φ8 ¥95.000 CL-5610S ギャップ変換器分離型（CL-0420＊：3 変換器、 表示器間ケーブル2.5 m付属＊4） ¥819,000 VE-1520＊1 1500 φ10 ¥65,000 VE-3020＊1 3000 φ20 ¥105,000 CL-0110＊2 出力機能（アナログ出力、コンパレーター出力） ¥158,000 VE-8020＊1 8000 φ40（保持部φ20） ¥120,000 CL-0120＊2 BCD出力機能 ¥74,000 VE-2011＊1 200 φ3（保持部φ10） ¥126,000 CL-0200＊2 高分解能演算機能 ¥105,000 VE-5011＊1 500 φ6（保持部φ10） ¥149,000 オプ CL-0201 VE5010/5011測定範囲変更オプション ¥5,300（センサー1本毎） VE-1021＊1 1000 φ8（保持部φ10） ¥84,000 シ CL-0210＊2 高インピーダンス接地モード機能 ¥84,000 ョ VE-8021＊1 8000 φ40（保持部φ10） ¥137,000 ン CL-0300＊2 絶縁体測定機能 ¥158,000 ＊1： これらギャップディテクターには専用ケーブル（VL-1520またはVL-1521）が必要です。 CL-015＊3 ウェハー用スライドテーブル（4～6インチ用） ¥389,000 AX-5022B 専用RS-232Cケーブル（2 m） ¥18,700 非接触変位計 内 容 価格（税抜き） AA-8207 BCD出力ケーブル（3 m、片側オープン） ¥19,800 VT-5710 電源 DC±15 V／応答周波数 4 ｋHz ¥220,000 ＊2： 出荷後の機能追加の場合はオプション費の他に作業費+再調整費が加算されます。 VT-5720 電源 DC±15 V／応答周波数 10 ｋHz ¥315,000 作業費：¥20,000（税抜き）＋1機能あたり¥10,000（税抜き） 例) CL-0110とCL-0200を追加する場合： VT-5210 電源 AC100～240 V／応答周波数 4 ｋHz ¥389,000 ¥20,000＋¥20,000（2機能）＝¥40,000（税抜き）が作業費として加算されます。 ＊3： 受注生産品です。ご希望の場合は別途お問い合わせください。 ＊4： ケーブル長は１０ ｍまで別費用にて変更できます。2CH計測の場合は、2本必要となります。 信号ケーブル 内 容 価格（税抜き） ケーブル長変更費（1本）＝¥13,000（税抜き）＋長さ（ｍ）×¥1,500（税抜き）/ｍ VL-1520 1.5 m 両端ストレートコネクター ¥43,000 例）５ ｍに変更する場合： ¥13,000＋5（ｍ）×¥1,500＝¥20,500（税抜き）が作業費として加算されます。 VL-1521 1.5 m L型↔ストレートコネクター ¥46,000 ※CL-5610、CL-5610Sは外為法（外国為替及び外国貿易法）の規定により、リスト規制貨物（及び技術）に該当します。 お客様へのお願い　　■ 輸出または国外へ持ち出す際のご注意 当社製品（役務を含む）を輸出または国外へ持出す場合は、外為法（外国為替及び外国貿易法）の規定により、リスト規制該当品であれば、経済産業大臣へ輸出許可申請の手続きを 行ってください。なお、非該当品であってもキャッチオール規制に該当する場合は、経済産業大臣へ輸出許可申請が必要となります。当社製品の該非判定書をお求めの際は、当社ホーム ページの該非判定書発行依頼ページよりご依頼ください。お問い合わせは、最寄りの当社営業所または当社総務人事グループまでご連絡ください。 ●記載事項は変更になる場合がありますので、ご注文の際はご確認ください。 注意 ●機器を正しく安全にお使いいただくために、ご使用前に必ず「取扱説明書」をよくお読みください。 ●価格は変更になる場合がありますので、ご注文の際はご確認ください。 ●代理店・販売店 〒220‒0012 神奈川県横浜市西区みなとみらい3‒3‒3 横浜コネクトスクエア12階 TEL（. 045）935‒3888 お客様相談室 フリーダイヤル 0120－388841 受付時間 ： 9:00～12:00／13:00～18:00（土・日・祝日を除く） 北 関 東（028）684‒2400 浜 松（053）462‒5611 九 州（092）432‒2335 埼 玉（048）474‒8311 中 部（0565）41‒3551 海 外（045）935‒3918 首 都 圏（045）935‒3838 関 西（06）6386‒3141 沼 津（055）988‒3738 広 島（082）246‒1777 ホームページアドレス https://www.onosokki.co.jp/ E‒mailアドレス webinfo@onosokki.co.jp CAT.NO.1711-12 Printed in Japan（ SUN） '24.4月改訂 ＊本カタログ記載の価格はすべて税抜き価格です。 （5） 150 85 111 （150） 6.5 43 （6.5） 56