JCM-7000 アプリケーションデータ〜低真空（LV）有効活用事例紹介〜

JCM-7000 アプリケーションデータ JCM-7000で無処理でスピーディーに観察＆分析！ ～低真空 (LV) 有効活用事例紹介～

電気を通さない絶縁試料を 無処理でそのまま SEM観察してみませんか？ JEOL キャラクター 「ろくまるくんワールド」 Copyright Ⓒ 2019 JEOL Ltd. ななまるくん 走査電子顕微鏡（SEM)は電気を通す（導電性）試料の観察が一般的なので、 電気を通さない絶縁試料をSEM観察すると ● 観察中に画像が真っ白や真っ暗になる ● 画像が突然歪んだり、動いたりする ● 試料表面構造に依存しない横スジが入る ガラス板上異物の観察 100 μm こんなことはないですか？ 100 μm 低真空機能を使うと良好に観察できます。 1 J C M - 7 0 0 0 A p p l i c a t i o n d a t a

SEMの低真空（LV）モードとは JEOL キャラクター 「ろくまるくんワールド」 Copyright Ⓒ 2019 JEOL Ltd. ろくまるくん 電子線 電子線 イオン化 ガス分子 ガス分子がイオン化 してプラス化 中和 プラス化したガス分子と 試料表面にたまった電子 が中和 図1 図2 高真空状態 低真空状態 電気を通さない（絶縁）試料に電子線を照 帯電を解消する手段として、「低真空モー 射すると、試料に導電性がないため、試 ド」があります。低真空モードは試料室に 料表面に電子が溜まります。この現象を 空気や窒素ガス等を導入する観察手法で 「帯電」といい、SEMの観察を妨げること す。これにより正常なSEM観察ができるよ になります（図1）。 うになります（図2）。 低真空機能のメリット 1） ガラスやセラミックスなどの電気を通さない（絶縁）試料を無処理で観察、分析できます 2） 含水、含油試料（植物、食品、油が付着した部品等）、ガス放出量の多い試料（コンクリート等） の観察、分析ができます 3） 蒸着粒子が回り込みにくい複雑な構造を持つ試料（繊維、粉体等）の観察、分析ができます 4） 無処理で測定したい貴重品や製品（部品、完成品）がそのまま観察、分析できます J C M - 7 0 0 0 A p p l i c a t i o n d a t a 2

高分子材料 種類の異なるストッキング表面の観察 500 μm 500 μm 入射電圧：15.0 kV 入射電圧：15.0 kV 観察倍率：×50 観察倍率：×50 不織布マスク表裏の観察　表面（左） 裏面（右） 500 μm 500 μm 入射電圧：15.0 kV 入射電圧：15.0 kV 観察倍率：×40 観察倍率：×40 コーティングの難しい複雑な構造を無処理で観察できます。 3 J C M - 7 0 0 0 A p p l i c a t i o n d a t a

キズテープ表面の観察 500 μm 100 μm 入射電圧：15.0 kV 入射電圧：15.0 kV 観察倍率：×40 観察倍率：×100 スポンジ（左）とメラミンスポンジ（右）表面の観察 100 μm 100 μm 入射電圧：15.0 kV 入射電圧：15.0 kV 観察倍率：×200 観察倍率：×200 J C M - 7 0 0 0 A p p l i c a t i o n d a t a 4

食品 そうめん（乾麺）（左）とそば（乾麺）（右）表面の観察 10 μm 10 μm 入射電圧：15.0 kV 入射電圧：15.0 kV 観察倍率：×1,000 観察倍率：×1,000 鯛の鱗の観察 10 μm 5 μm 入射電圧：15.0 kV 入射電圧：15.0 kV 観察倍率：×1,000 観察倍率：×3,000 5 J C M - 7 0 0 0 A p p l i c a t i o n d a t a

キャットフードの観察と元素マッピング 合成マッピング像 C-K ■ C-K　■ Na-K　■ Ca-K Na-K Ca-K 50 μm 入射電圧：15.0 kV 観察倍率：×300 50 μm SEM像で見える白い粒子部にNaやCaの分布が確認できます。 塩分補給タブレットの観察と元素マッピング 合成マッピング像 C-K ■ C-K　■ Na-K　■ Cl-K Na-K Cl-K 100 μm 入射電圧：15.0 kV 観察倍率：×160 100 μm SEM像で見える白い部分にNaやClの分布が確認できます。 J C M - 7 0 0 0 A p p l i c a t i o n d a t a 6

電子部品 電子部品のモンタージュ 観察範囲 20 mm 入射電圧：15.0 kV 観察範囲：28.16 × 21.12 mm 視野数：10 × 10 視野倍率：×40 5 mm モンタージュ機能を使用することで広範囲のSEM画像が取得できます。 7 J C M - 7 0 0 0 A p p l i c a t i o n d a t a

電気製品 蛍光灯管内壁の観察 10 μm 5 μm 入射電圧：15.0 kV 入射電圧：15.0 kV 観察倍率：×2,000 観察倍率：×5,000 岩石 軽石の観察と３D表示 Live 3D像（カラーマップ表示） カラー表示：高 → 低；白 → 赤 → 緑 → 青 500 μm 反射電子組成像 試料を傾斜せずに試料表面の凹凸が確認できます。 反射電子像から３D画像を構築することが可能です。 J C M - 7 0 0 0 A p p l i c a t i o n d a t a 8

植物 酵母（左）、大葉（右）の観察 5 μm 200 μm 入射電圧：10 kV 入射電圧：15 kV 観察倍率：×3,000 観察倍率：×80 生物 鶏の羽根の観察 100 μm 10 μm 入射電圧：15.0 kV 入射電圧：15.0 kV 観察倍率：×200 観察倍率：×1,000 9 J C M - 7 0 0 0 A p p l i c a t i o n d a t a

卓上走査電子顕微鏡（SEM）JCM-7000のご紹介 JCM-7000は、「誰でもSEM/EDSを操作できる」がコンセプトの卓上走査電子顕微鏡です。 ななまるくん TM JCM-7000 「誰でも SEM/EDS が操作できる」ための主な機能 　一つの画面上で、光学像から走査電子顕微鏡（SEM）像に移行 　観察しながら元素分析 　オート機能ですぐに高画質 　前処理不要の低真空（LV）モード 　詳細な形態観察ができる高真空（HV）モード 　観察しながら3D構築 　コピー＆ペースト不要の自動レイアウトによる結果出力 JCM-7000 主な仕様 写真倍率 ×10 ～ ×100,000（ 128 mm × 96 mm を表示サイズとして倍率を規定） 表示倍率 ×24 ～ ×202,168（ 280 mm × 210 mm を表示サイズとして倍率を規定） 画像モード 高真空モード：二次電子像、反射電子像（ 組成、凹凸、立体像）、3D像 低真空モード：反射電子像（ 組成、凹凸、立体像）、3D像 加速電圧 5 kV、10 kV、15 kV（ 3 段） 電子銃 タングステンフィラメント・ウェーネルト一体型グリッド 試料ステージ X - Y モーター駆動ステージ　X : 40 mm　Y : 40 mm 最大試料寸法 80 mm 径、50 mm 高 試料交換 ステージ引出し式 画素数 640 × 480、1,280 × 960、2,560 × 1,920、5,120 × 3,840 自動機能 アライメント調整、フォーカス、非点、露出調整 測長機能 2点間測長、角度測長、線幅測定 ファイル形式 BMP、TIFF、JPEG、PNG コンピューター デスクトップPC OS Windows®10 モニター 24 型 排気系 完全自動、TMP：1 台、RP：1 台 外観・仕様は改良のため予告無く変更する場合があります。 Microsoft、Windows、PowerPoint、Microsoft Officeは米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標または商標です。 Microsoft Wordは、米国Microsoft Corporationの商品名称です。 J C M - 7 0 0 0 A p p l i c a t i o n d a t a 10

No. 1102I070C (Kp)