高精度、高速、高耐環境性と接触式、光学式の多彩なセンサを搭載可能な三次元座標測定機AXCEL（アクセル）

高精度、高速、高耐環境性と 多彩なプローブシステムを兼ね備えた 三次元座標測定機のグローバルスタンダード 部品の高精度化に伴う高精度測定や、検査に要する測定時間の短縮、スループットの改善、 複雑形状部品の測定など、あらゆる業界において、測定機器への要求は一層拡大し続けています。 XYZAX AXCEL は、高精度化、高速駆動、温度保証範囲拡大を実現。 さらに、用途に応じて多彩なプローブシステムを選択でき、 あらゆるアプリケーションへの対応が可能です。 東京精密がお送りする新たなるグローバルスタンダード XYZAX AXCEL が、拡大する多種多様なニーズにお応えします。 60

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クラストップレベルの高精度 最大許容⻑さ測定誤差：E0, MPE (µm) 10/15/8 サイズまで 1.8 + 3L / 1000 XYZAX AXCEL は、新開発の高剛性ブリッジの採用と、Y 軸ガイドを上下左右４方向から エアパッドで支持する新構造により、クラストップレベルの高精度を実現しました。　　　　 新開発駆動機構による驚異のスピード 駆動速度 最大　 700 mm/sec　　　 　　当社従来比 最大 64 % UP 加速度　 最大 2300 mm/sec2　　　　　当社従来比 最大 35 % UP 各軸の駆動部に、新開発の駆動機構を採用し、高速かつ安定した駆動を実現。 従来のベルト駆動から、新開発駆動方式に変更することで運動性能が大幅に向上しました。 この新開発駆動機構により、駆動速度 64% アップ、加速度 35% アップのハイスピードを実現（当社従来機比）。 測定に要するトータル時間を短縮でき、測定効率を大幅に向上します。 広い精度保証温度範囲 15 ～ 30℃* Ｘ軸ガイドやＹ軸キャリッジが直接温度変化の影響を受けないよう、新設計のカバーを採用。 さらに、温度変化による石定盤の変形を抑える構造も取り入れることで、温度変化による影響を最小限とし、 高精度を維持しながら、精度保証温度範囲を 15 ～ 30 ℃*と大幅に拡大しました。 この広い精度保証温度範囲により、測定室の温度管理に掛かるコストなどを抑制することが可能です。 *RDS タイプは標準、PH タイプはオプション 62

高精度化を実現する要素技術 新開発 高剛性ブリッジ Ｙ方向 従来比 3.8 倍 剛性UP ねじれ方向 従来比 1.5 倍 剛性UP 三次元座標測定機の重要な部品であるブリッジの剛性は、測定時の精度に大きく影響を及ぼします。 XYZAX AXCEL は、新開発の高剛性ブリッジを採用。特に、Ｘ軸ガイドの構造を全面的に見直すことで、 Ｙ方向・ねじれ方向の剛性を格段に高めることに成功しました。 この新開発高剛性ブリッジは、XYZAX AXCEL の高精度化を実現した最も大きな要素となっています。 Ｙ軸４方向エアパッド支持 特許取得済 ピッチング方向の振れを低減 ヨーイング方向の振れを低減 高剛性ブリッジに加え、XYZAX AXCEL はＹ軸ガイドを上下左右４方向からエアパッドで支持する 新開発の支持構造を採用しています（特許取得済）。 この構造により、ブリッジをＹ方向に移動させた際に生じるピッチング方向・ヨーイング方向の振れを抑制。 プローブ先端の振動を低減することで、更なる高精度化を実現しています。 63 ザイザックス シリーズ

三次元座標測定機 XYZAX AXCEL 精度保証温度範囲を拡大する要素技術 Ｘ軸ガイドカバー *・Ｙ軸キャリッジカバー Ｘ軸ガイドカバー Ｙ軸キャリッジカバー Ｘ軸ガイドおよびＹ軸キャリッジには、新開発のカバーを採用。 ガイドやキャリッジを剥き出しにせずカバーで保護することで、温度変化の影響を抑えることができ、 XYZAX AXCEL の精度保証温度範囲の拡大を実現しました。 また、Ｘ軸ガイドカバーは、Ｘ軸ガイドへの異物の付着を防ぐ役割も担っています。 *RDS タイプ標準。PH タイプは 10/10/6 サイズ以上は標準、それ以外のサイズはオプション 温度変化の影響を抑える定盤構造 特許取得済 モータ等から発生する熱が 定盤前後から出入りする 定盤の測定領域内に 熱を低減し、温度勾配の 流れ込むことを防ぐ、 発生を抑制する Ｙ軸溝構造 特殊断熱部材 カバーリングせず、 熱を放出する Y 軸ガイド 外気の流入を抑え、 内部のスケールへの異物の 付着も防止する Ｙ軸シャッター構造 石定盤は熱伝導率が低いため内部に熱が伝わりにくく、周囲の外気の温度が変化すると、 定盤の内部が一様な温度となるまでに⻑時間にわたって温度勾配が生じます。 このような温度勾配は、定盤の変形による定盤表面の真直度低下を引き起こし、測定精度の低下を招いてしまいます。 XYZAX AXCEL は、Ｙ軸溝構造と定盤の前後部に装着した断熱部材、カバーリングせず熱を放出するＹ軸ガイド構造により、 これらの問題を解決しています。 64

パフォーマンスを更に高める機能・オプション 節電やランニングコスト抑制に有効な Air Saver 機能（標準） 自動車のアイドリングストップのように、本体待機時に圧縮空気の 供給を自動的に停止する Air Saver 機能を搭載。 不必要な空気の消費を抑え、節電やランニングコストの削減に貢 献します。また、ジョイスティック操作や CNC 測定の開始時に圧 縮空気の供給を自動で再開するため、手動で圧縮空気の供給を ON/OFF する手間なく操作することができます。 床からの振動伝達を低減するエア除振台（Z800 以上のサイズ標準 *） XYZAX AXCEL は、エア除振台装置を搭載可能。 床からの振動伝達を低減し、振動による影響を抑えます。 また、エア除振台を搭載しても測定機の外形寸法は 変わらないため、設置スペースを気にせずご使用いただけます。 * Z600 以下のサイズへの搭載はオプション。 また、エア除振台搭載時はアンダーカバーが付属します。 除振台（左）と除振台を覆うアンダーカバー（右） 床から定盤までの高さを変更した特殊架台仕様（オプション *） XYZAX AXCEL の床から定盤までの高さは、通常 600 mm（Z600 サイズ） ～ 630 mm（Z800 サイズ・Z1000 サイズ）ですが、特殊架台仕様として この高さを変更した機種も個別に検討いたします（例：立ったままでも操作し やすいように架台を高くした、高さ 800 mm 仕様など）。 * 本オプションは工場出荷オプションです。 床から定盤までの高さ 800 mm 仕様 両 Y 軸ガイドカバー仕様（オプション *） 左右両方の Y 軸ガイドをカバーすることで、ガイド面への塵の付着や、ワーク・治 具との接触による傷の発生を防止し、ガイド面を保護することができます。XYZAX AXCEL の広い精度保証温度範囲と相まって耐環境性能を発揮し、現場環境など 測定室環境以外での使用に有効なオプションです。 * 本オプションは工場出荷オプションです。 LEDライト機能（オプション） X 軸ガイド下部に、定盤上を照らす LED ライト をオプションで装着可能。ライトが手元やワーク の細部を明るく照らし出し、操作性を向上します。 65 ザイザックス シリーズ

三次元座標測定機 XYZAX AXCEL 非接触測定にも対応可能 AXCEL シリーズの高精度スキャニング測定モデル あらゆるワークへの対応を可能にするプローブヘッド RDS-C5（XYZAX AXCEL RDS 標準） RDS-C5は、XYZAX AXCEL RDSが標準搭載する自動首振りプローブヘッドです。 水平方向・垂直方向のどちらにも 5° ピッチで ±180° 回転させることができ、 5,184 通りの位置決めが可能*。きめ細かなアプローチを行えるため、 複雑な形状のワークも測定することができます。 *組み合わせるプローブシステムによって、垂直方向の回転角度に安全上の制限が生じる場合があります。 66

ニーズに応じて様々なプローブを装着 接触センサ 光学非接触センサ RDS LineScan2 （オプション） ViSCAN （オプション） VAST XXT XDT （オプション） RDS-C5 プローブヘッドは、用途に応じて様々なプローブの装着が可能。 標準付属のスキャニングプローブ VAST XXT TL3 のほか、 様々な角度から非接触画像測定を行う画像プローブ ViSCAN、 面の広範囲・高速測定が可能なレーザプローブ LineScan2 などを オプションとして搭載でき、幅広い測定のニーズに対応します。 プローブは自動交換が可能 （ラック、交換マガジン、プローブソケット等はオプション） 校正時間を大幅に短縮する、RDS-CAA 機能 通常の首振りプローブの場合、測定に使用する姿勢一つひとつ、 その全てのポジションで校正を行う必要がありますが、 RDS-CAA 機能を持つ RDS-C5 は、 指定された 12 ポジションでの 自動校正を行うだけで、5,184 ポジションの姿勢全てを校正することなく 利用することができます。この RDS-CAA 機能により、 校正に要する時間を大幅に短縮することが可能です。 67 XDT

三次元座標測定機 XYZAX AXCEL スキャニング測定用プローブ VAST XXT（TL3：標準、TL4：オプション） 標準仕様の TL3 タイプのほか、 VAST XXT は、RDS ヘッドに装着するパッシブスキャニングプローブです。 軸方向の最大⻑さ 250 mm の 通常のパッシブスキャニングプローブは、可動範囲内で測定力が大きく変 TL4 タイプをオプションとして選択可能。 化するため、たわみ補正誤差に不確かさが生じてしまいますが、VAST XXT では、0.01 N ～ 0.13 N*と測定力を非常に低く、かつ僅かな変化 量に抑えられます。 この低測定力により、最小ボール径φ0.3 mmのスタイラスを使用可能です。 また、 可動範囲が ±3 mmと広いため、万が一の衝突時もダメージを最小 限に抑えることができます。 * 測定力はスタイラスの⻑さや角度により変化します。 ポイント測定用プローブ XDT（オプション） XDT は、RDS ヘッドに装着するポイント測定用プローブです。 VAST XXT TL3 タイプと同様に、±3 mm の広い可動範囲を有し、 軸方向に最大 150 mm、横方向に最大 65 mm までの⻑さのスタイラスを 取りつけることができます。 スタイラスや各種ジョイント、エクステンションのほか、 スタイラス自動交換用の交換皿も VAST XXT TL3と共有可能です。 測定方式 軸方向 横方向 最大 最小スタイラススタイラス長さ (mm) スタイラス長さ (mm) スタイラス質量 (g) ボール径 (mm) VAST XXT TL3（標準） ポイント/ パッシブスキャニング 30 - 150 最大 65 最大 15 VAST XXT TL4 ポイント/ （オプション） パッシブスキャニング 125 - 250 最大 40 最大 10 φ0.3 XDT（オプション） ポイント 30 - 150 最大 65 最大 15 68

非接触式画像プローブ ViSCAN（オプション） ViSCAN は、RDS ヘッドに取り付ける非接触画像プローブです。 RDS ヘッドとの組合せにより、様々な角度から画像測定を行うことができます。 接触式プローブと同様に、手動測定、自動測定のどちらにも対応。 また、芯出し顕微鏡のようなターゲットモニタによる任意位置でのポイント測定のほか、 スキャニング測定を行うことも可能です。 スタイラスが接触できない極小ワークや小さな穴・溝のあるワーク、 変形しやすい柔らかいワークや薄いワーク等、接触式では測れない場合に最適です。 分割光・照度の手動設定。自動測定時にも反映 0.16 mm の溝幅測定 様々な角度からの画像測定が可能 円セグメント　多点測定 69 ザイザックス シリーズ

三次元座標測定機 XYZAX AXCEL 非接触式ラインレーザプローブ LineScan2 システム LineScan2 は RDS ヘッドに取付けるレーザプローブです。 半導体レーザを発振させワークの反射光を受光して測定点を大量に取得します。 大量の点群データを取得してリバースエンジニアリングを行いたい場合や、 面計測による形状測定のリードタイムを大幅に短縮したい場合に有効です。 LineScan2 は測定範囲や精度の異なる 4 つのモデルをご用意しており、 用途に応じて使い分けることで、様々なワークの非接触測定を実現します。 モデル 項目 LineScan 2-8 LineScan 2-25 LineScan 2-50 LineScan 2-100 Z 測定範囲（mm） 8 25 50 100 ワーキングディスタンス（mm） 32 63 94 220 測定幅（測定範囲中心部（）mm） 10 25 50 80 最大取得点数 700,000 点 / 秒 700,000 点 / 秒 256,000 点 / 秒 700,000 点 / 秒 プロービングエラー MPEPF(OT（) µm） 3.3 12 20 50 球形状標準偏差（1σ（）µm） 0.9 4 5 12 70

LineScan2 システムに、精度を大幅アップしたニューモデルが登場 金型磨き面など、光沢面の高速・高精度測定に最適 LineScan2-8 NEW LineScan2 システムに、青色半導体レーザを使用した高精度モデルが新登場。 測定点の大量取得という LineScan2 の特⻑に加え、抜群の高精度と光沢面への 適応性向上により、金型磨き面など、従来は測定が難しかった強い光沢のある面を、 高速かつ高精度に測定することができます。 LineScan2-8 による鏡面ワークの測定例 LineScan2 と組み合わせ、リバースエンジニアリングや金型修正を強力サポート ZRE (ZEISS Reverse Engineering) NEW ZRE は、ワークの測定結果をもとに 3D CAD モデルの作成・修正を行うソフトウェアです。 リバースエンジニアリングを直感的に行えるほか、金型の修正を定量化・効率化する革新的な「金型修正機能」を備えています。 ●専門知識不要の直感的なリバースエンジニアリング 点群データの自動分割 分割した点群に形状を貼り付け、面を簡単に生成 面を接続し、3D CAD モデル完成 ●金型 CAD モデルを定量的に修正できる、革新的な「金型修正機能」 成形品の 3D CAD モデルと測定データの誤差を金型 CAD モデルに反映して修正することで、従来は成形品の測定結果をもとに作業者 が感覚的に調整していた金型の修正量を定量化。「成形品の測定→金型 CAD モデルの修正→成形品の再製作と測定→金型 CAD モデ ルの再修正……」というトライアンドエラーを最小限に抑え、金型修正を作業者の経験に頼らず、かつ極めて効率的に行うことができます。 金型 CAD 金型 CAD モデル　　 モデル　　 成形品　　　 成形品　　　 CAD モデル CAD モデル 金型 CAD モデルと 成形品の CAD モデルと 成形品の誤差を金型 CAD モデルに反映 修正した金型 CAD モデル 成形品 CAD モデル 測定データの誤差 71 ザイザックス シリーズ

三次元座標測定機 XYZAX AXCEL 仕 様 型式 XYZAX AXCEL RDS 7/5/5 7/7/5 9/6/6 9/10/6 9/15/6 10/10/6 10/12/6 10/15/6 10/10/8 10/12/8 10/15/8 X 軸 （mm） 650 850 1000 1000 測定範囲 Y 軸 （ mm） 500 700 600 1000 1500 1000 1200 1500 1000 1200 1500 Z 軸 （ mm） 480 600 800 測長方式 リニアスケールシステム 最小表示 （µm） 0.01 温度条件 A （µm） 1.8 + 3L/10002.3 + 3L/1000 最大許容長さ測定誤差： E0, MPE 温度条件 C （µm） 1.8 + 4L/1000 E , 2.3 + 4L/1000150 MPE 1.8 + 5L/1000 RDS-C5 温度条件 E （µm） 2.3 + 5L/1000 測定精度 *1 +VAST XXT 繰り返し範囲の最大許容限界： R0, 1.3MPL （µm） 最大許容シングルスタイラス形状誤差： PFTU, MPE （µm） 1.8 最大許容スキャニングプロービング誤差： MPETHP （µm） 2.9 (T = 75 s) 各軸案内方式 エアベアリング 材質 はんれい岩 使用可能幅（X） （mm） 950 1050 1200 1270 テーブル 使用可能奥行き（Y） （mm） 1400 1600 1500 1900 2400 1900 2100 2400 2000 2200 2500 床からの高さ （mm） 600 600 630 平面度 JIS 1 級 被測定物取付ねじ M10 ねじ穴 被測定物 最大高さ （mm） 670 790 1000 最大質量 （kg） 600 800 800 1000 1500 1000 1200 1500 1000 1200 1500 最大加速度 （mm/s2） 2300 （mm/s） オートモード自動測定0.01 ～ 700（無段階可変） 駆動速度 速度可変範囲 （mm/s） ジョイスティック及びマニュアルモード（自動測定）0 ～ 120（無段階可変） 測定速度 （mm/s） ジョイスティック及びマニュアルモード（自動測定）0 ～ 5 温度条件 A (℃ ) 18 ～ 22 環境温度 温度条件 C (℃ ) 16 ～ 26 温度条件 E (℃ ) 15 ～ 30 温度条件 A (℃/hour) 1.0 (℃/day) 2.0 精度保証環境 温度変化 温度条件 C (℃/hour) 1.0 (℃/day) 2.0 温度条件 E (℃/hour) 2.0 (℃/day) 5.0 温度条件 A (℃/m) 1.0 温度勾配 温度条件 C (℃/m) 1.0 温度条件 E (℃/m) 1.0 空気源 供給圧力 / 使用圧力 (MPa) 0.49 ～ 0.69 / 0.39 空気消費量 (NL/min) 55 85 電圧 (V/%) AC100/110/115/120/125/220/230/240 ±10 電源 （工場出荷時に調整、アース接地を要す） 消費電力 (W) 1210 1210 1350 1500 幅 （mm） 1462 1716 1866 1930 本体寸法 奥行 （mm） 1450 1650 1550 1950 2450 1950 2150 2450 2050 2250 2550 外形寸法・質量 高さ （mm） 2339 2578 3015 本体質量 (kg) 1610 1800 2100 2550 3150 2850 3100 3450 3800 4100 4600 本体搬入時高さ*2 (mm) 1940 2080 2200 *1 E0, MPE、E150, MPE 及び R0, MPL の試験及び評価方法は、JIS B 7440-2: 2013 (ISO 10360-2: 2009) に準拠します。 *2 測定機搬入の際は、搬入経路の高さ、特に入り口などの開口高さの確認を 　PFTU, MPE の試験及び評価方法は、JIS B7440-5: 2013 (ISO 10360-5: 2010) に準拠します。 　お願いいたします。 　MPETHP の試験及び評価方法は、JIS B7440-4: 2003 (ISO 10360-4: 2000) に準拠します。 　開口高さは、各測定機の搬入時高さに搬入台などの高さ約 200 mm を加え 　上記測定精度は下記仕様で測定した場合の数値です。 　た高さが必要です。 　・E0, MPE、E150, MPE、 R0, MPL 及び PFTU, MPE…先端 φ5、長さ50 mmスタイラス 　・MPETHP…先端 φ3、長さ50 mmスタイラス 外観図 X Y 幅 72 奥行き 高さ 搬入高さ Z

XYZAX AXCEL RDS XYZXAYXZ AXC AEXL CREDLS RプDロSー プブロ構ー成ブ構成 12/15/10 12/20/10 12/25/10 1200 1500 2000 2500 MSR + スタイラスマガジン 1000 （オプション） リニアスケールシステム 0.01 2.2 + 3L/1000 2.7 + 3L/1000 2.2 + 4L/1000 2.7 + 4L/1000 2.2 + 5L/1000 2.7 + 5L/1000 RDS-C5 2.2 専用スタンド + スタイラスマガジン （オプション） 3.5 3.8 (T = 75 s) エアベアリング はんれい岩 1470 2500 3100 3600 630 JIS 1 級 M10 ねじ穴 1200 1500 1000 2300 オートモード自動測定 プローブソケット 0.01 ～ 700（無段階可変） （オプション） ジョイスティック及びマニュアルモード （自動測定）0 ～ 120（無段階可変） ジョイスティック及びマニュアルモード （自動測定）0 ～ 5 18 ～ 22 16 ～ 26 15 ～ 30 1.0 2.0 1.0 2.0 2.0 5.0 1.0 1.0 1.0 XDT VAST XXT TL3 VAST XXT TL4 ViSCAN LineScan2 0.49 ～ 0.69 / 0.39 90 （オプション） （標準） （オプション） （オプション） （オプション） AC100/110/115/120/125/220/230/240 ±10 （工場出荷時に調整、アース接地を要す） 1500 2180 2550 3150 3650 3415 5200 6300 7600 2600 TL3用交換皿 TL4用交換皿 （オプション） （オプション） エクステンション （オプション） 各種アダプタ（オプション） M3スタイラス（オプション） 73 ザイザックス シリーズ