三次元測定機用製品カタログ

Page 1:三次元測定機用製品カタログProbing systems for co-ordinate measuring machines

Page 2:2レニショーテクノロジーレニショーは自動計測分野の最先端に立ち、グループ全体の製品を通じて、ユーザーの皆様の加工部品の高精度化と国際標準にトレーサブルな測定のお手伝いをしております。レニショーのプローブ技術は、三次元測定機（CMM）での早くて繰返精度の高い測定を可能にしました。現在もポストプロセスでの品質管理の要求に応えるようプロービングシステムの開発をしております。CNC工作機械に使われているプローブは、加工プロセスの自動制御化を可能としました。これにより、大幅な時間と費用を削減することができるようになりました。CNC工作機械や三次元測定機で使用可能なスキャニング、3Dデジタイジングプローブを開発したことで、パーツや金型の形状が測定できるようになり、複製するためのNCプログラムの作成が可能となりました。その後、費用効果の高いデジタイザーとしてとして、Cycloneスキャニング測定機とソフトウェアを開発。RAMTIC（Renishaw’s automated milling, turning and inspectioncentre）は、1台の工作機械での加工と測定を可能としたシステムで、部品の自動搬送、ツールの自動交換もでき、既存の工作機械の可能性を最大に引き出します。CNC工作機械はレニショーボールバーシステム、三次元測定機はマシンチェックゲージと空間精度の測定をすることができます。機械の校正には、レニショーレーザー測長システムがあります。軸の移動量の測定にリニアスケール、レーザー干渉計、エンコーダーシステムがあります。フレキシブルなスケールはリール巻きになっており、必要な長さに切って使用できるため、スケールの長さで悩む必要はありません。素材の2Dスペクトル分析をするためのラマン分光器の分野にも展開しております。レニショーは、世界的に成長が見込まれるセクターに、これからも製品ラインナップの拡充を続けます。新たな市場の機会を捉えることで継続的な開発と、世界中の工場に生産の将来性をひらく高いレベルの革新的な製品投入し続けます。三次元測定機用プロービングシステム三次元測定機三次元測定機は幅広い工業製品に使われ、特にポストプロセスでの製造部品の検査で使われます。早く、精度の高いレニショープローブとプロービングシステムはデファクトスタンダードとして、多くの三次元測定機で使用されております。三次元測定機は、マイクロメータ、ノギス、専用ゲージに変わる精度保証の基準として使われています。プローブシステム様々なアプリケーションに対応できるよう、レニショーのプロービングシステムは幅広いラインナップを取り揃えております。三次元測定機への取付けプローブはプローブヘッドに取り付け、三次元測定機に搭載されます。プローブヘッドのタイプは、フレキシビリティと自動制御対応の必要性に応じて選べます。レニショーでは、手動タイプと自動タイプのヘッドを多数取り揃えております。自動ヘッドは、プローブを有効に使うことができ、三次元測定機の3軸制御、5軸制御に対応しています。自動ヘッドは、すばやく自動でプローブとエクステンションを交換することができるオートチェンジラックシステムにも対応しております。アドバンスドコントローラー一般的にスキャニング測定は低速で使用するものでしたが、レニショーのユニバーサルCMMコントローラ（UCC）シリーズは、従来の何倍も速い速度でのスキャニングを実現しました。アクセサリー複雑なワークを測定するには、スタイラス自動交換やプローブとエクステンションの自動交換が便利です。プローブの種類や測定ワークの寸法に対応できるよう幅広いタイプのスタイラスを取り揃えております。測定精度の低下を招く恐れがあるため、スタイラスはレニショー純正スタイラスを御使用ください。ガイダンスこのカタログは、三次元測定用プロービングシステムについて書かれており、各プローブの特長、技術情報、仕様を掲載しています。プローブは、ワークに接触すると信号を出力するセンサーで、繰返精度の高いセンサーです。ポイント測定のためのタッチプローブから、ワークの形状を測定するスキャニングプローブまで、幅広いプローブがあります。三次元測定機の種類三次元測定機が手動機か自動機かに応じて使用するプローブ、プローブヘッドを選定します。手動機で使用可能なプローブ、プローブヘッドは自動機でも使用可能です。プローブの選定タッチトリガープローブは、三次元形状のワークの測定に最適で、汎用性が高く様々なアプリケーション、素材、表面にお使いいただけます。アクセサリの種類も豊富です。プローブは、一体型のプローブとスタイラスモジュールに分かれるタイプのプローブがあります。スタイラスモジュールチェンジは、アプリケーションに応じた最適なスタイラスやモジュールを自動交換できるツールで、測定の効率を上げることができます。プローブのセンシング方法により、キネマティックプローブ（メカ接点式）と電気式プローブに分かれます。プローブサイズも種類があり、比較的大きなキネマティックプローブは、丈夫でオーバートラベル（逃げ幅）が大きく、手動三次元測定機に向いています。小さなプローブは、狭いスペースがあるワークに向いています。電気式プローブは、長寿命で、高密度のポイント測定ができ、キネマティックプローブより高精度という特徴があります。プローブの取付けは、三次元測定機のタイプと用途に合わせて、シャンク、M8ネジ、オートジントと取付け方法が選べます。レニショー独自のオートジント式プローブとエクステンションバーは、すばやく取付け取外しができるため、フレキシビリティと測定効率を高めることができます。スキャニングプローブスキャニングは、数千点のポイントデータを取得し形状測定をするため、幾何学形状の検査、形状測定に最適です。短時間で大量のデータが取得できるため、より信頼性の高い測定結果が得られます。レニショーの固定式、回転ヘッド仕様のスキャニングプローブは高精度で、耐久性があり、抵触圧になっています。すべてのスキャニングプローブでスタイラスの自動交換に対応しており、フレキシビリティと測定効率が高くなっています。プローブヘッド手動三次元測定機には、多くの場合マニュアルプローブヘッドかシャンク付けのプローブが取り付けられています。プローブヘッドは、M8ネジ仕様、オートジョイント仕様、TP20内蔵のタイプがあります。プローブヘッドは、固定式と回転式があります。自動三次元測定機には、手動タイプと自動タイプのプローブヘッドが取付けられます。自動ヘッドはインデックスタイプ（角度ピッチあり）とサーボタイプ（角度ピッチなし）があります。自動ヘッドを三次元測定機に取付けることで、簡単に三次元測定機の使い勝手を向上することができ、測定効率をあげることができます。インデックスタイプの自動ヘッドは、7.5°ピッチで合計720姿勢に回転することができるため、多くの角度で測定することができます。再現性のあるヘッドは、一度キャリブレーションをした姿勢(角度)は、姿勢を変えた後でも再キャリブレーションをしないで使用することができます。多くの時間を節約することができ、ワークの測定面に最適な角度で当たることができます。サーボタイプのヘッドは、固定角度に制限が無く、大型の三次元測定機に向いています。プローブ／プローブヘッド／インターフェイス選定したプローブからインターフェイスを選びます。選定したプローブヘッドから対応するコントローラーを選びます。エクステンションバー／シャンクプローブとプローブヘッドのシャンクを選びます。エクステンションバーはプローブシステムの使い勝手を向上します。チェンジャー自動三次元測定機に取り付けられる多くのプローブが、スタイラスの自動交換、プローブの自動交換に対応しています。オートジョイントタイプのプローブは、プローブの自動交換に対応しています。アクセサリプローブシステムにあったアクセサリを選定してください。スタイラス様々な測定に対応できるよう幅広い種類のスタイラスを取り揃えております。スタイラスについては、別紙「スタイラスと付属品」をご覧ください。

Page 3:01基本システム製品リスト高精度 CNC 用タッチプローブ�������������������������������� 02汎用タッチプローブ������������������������������������� 03TP20 モジュール仕様������������������������������������ 04スキャニングプローブ������������������������������������ 06マニュアルヘッド�������������������������������������� 08自動首振りヘッド�������������������������������������� 10プローブインターフェイス���������������������������������� 10構成図������������������������������������������� 12アクセサリオートジョイント ― M8 ネジ変換 ������������������������������ 16オートジョイント ― オートジョイント ���������������������������� 16M8 ネジ ― M8 ネジ ������������������������������������ 17

Page 4:02製品リストプローブ名称 TP7M TP200特長高精度ログンスタイラス対応小型高精度スタイラス自動交換対応測定圧力標準 0.02N 0.02N調整範囲 − −繰返精度（２σ） 0.25μｍ 0.4μｍＸＹ・２Ｄ方向性 ±0.25μｍ ±0.8μｍオーバートラベル押し込み方向最大 5mm 4.5mm横方向 ±16° ±14°寸法 φ25×50mm φ13.5×43mm重量 85g 22g固定方法 オートジョイント Ｍ８ネジスタイラス自動交換 − 対応（SCR200）スタイラス取り付けネジ Ｍ４ Ｍ２インターフェイス PI7−2 PI200スタイラス長さ（参考） ≦180mm ≦100mm基準スタイラス長さ 50mm 50mm固定方法がシャンクとなっているプローブは、プローブヘッドなしで測定機に直接取り付けますTP200,TP20はスタンダードモジュール使用時の仕様高精度CNC用タッチプローブ

Page 5:03TP1STP2（TP2−5W）TP20 TP6 TP8マニュアルCMM向きオーバートラベルが広い小型プローブ小型プローブスタイラス自動交換対応TP1SとTP2の中間ロングスタイラス対応低価格三次元測定機向け0.15N 0.07N 0.08N 0.12N 0.12N0.10 ～ 0.50N 0.07 ～ 0.15N − 0.11 ～ 0.30N 0.12 ～ 0.30N0.5μｍ 0.35μｍ 0.35μｍ 0.35μｍ 0.5μｍ±2.0μｍ ±0.8μｍ ±0.8μｍ ±1.0μｍ ±1.0μｍ8.5mm 3mm 4mm 5.5mm 5.5mm±19.5° ±14° ±14° ±22° ±22°φ46×46mm φ13×38mm φ13.2×38mm φ25×41mm φ30×70mm128g 22g 22g 56gシャンク Ｍ８ネジ Ｍ８ネジ Ｍ８ネジ シャンク（回転可）− − 対応（MCR20） − −Ｍ３ Ｍ２ Ｍ２ Ｍ３ Ｍ３PI4−2 PI4−2 PI4−2 PI4−2 PI4−2− − ≦40mm − −21mm 10mm 10mm 21mm 21mm固定方法がシャンクとなっているプローブは、プローブヘッドなしで測定機に直接取り付けますTP200,TP20はスタンダードモジュール使用時の仕様汎用タッチプローブ

Page 6:04TP20モジュール仕様TP20プローブはモジュールの種類を変えることで測定圧力やプローブの長さを変えることができますモジュール種類 ローフォース（LF） スタンダードフォース（SF） ミディアムフォース（MF）特長 柔らかい測定物 標準仕様長い・重いスタイラス用測定圧力 固定値0.055N10mmスタイラス使用時0.08N10mmスタイラス使用時0.1N25mmスタイラス使用時繰返精度（２σ） 0.35 μm 0.35 μm 0.5 μmＸＹ・２Ｄ方向性 ±0.6 μm ±0.8 μm ±1.0 μmオーバートラベル押し込み方向（最大） 3.1mm 4mm 3.7mm横方向 ±14° ±14° ±14°寸法 φ13.2×20mm φ13.2×20mm φ13.2×20mm重量 22 g 22 g 22 gスタイラス取り付けネジ Ｍ２ Ｍ２ Ｍ２スタイラス長さ（参考） ≦30mm ≦40mm 40-60mmモジュール交換精度　自動：±0.5μm ／手動：±1.0μm標準仕様のTP20プローブは磁力のある場所ではプローブ信号を出力しません。磁力のある場所で使用する場合はノンインヒビットタイプ（NI）を使用してください。モジュール種類 スタンダードフォース ローフォースエクステンディットオーバートラベル特長 標準モジュール 低触圧モジュール押し込み方向の逃げが広い測定圧力 固定値 0.02N 0.02N 0.02N繰返精度（２σ） 0.4μｍ 0.4μｍ 0.4μｍＸＹ・２Ｄ方向性 ±0.8μｍ ±0.8μｍ ±0.8μｍオーバートラベル押し込み方向（最大） 4.5mm 4.5mm 12.5mm横方向 ±14 ° ±14 ° ±14 °寸法 φ13.5×13mm φ13.5×13mm φ13.5×24mm重量 22g 22g 22gスタイラス取り付けネジ Ｍ２ Ｍ２ Ｍ２スタイラス長さ（参考） ≦100mm ≦50mm ≦100mmTP200モジュール交換精度 自動：±0.5μm ／手動：±1.0μmスタイラス球φ1mm未満を使用する場合はLFモジュールを使用してください。TP200モジュール仕様TP200プローブには標準仕様のSFモジュールの他、測定圧力の低いLFモジュールとオーバートラベル量の多いEOモジュールがありますボディモジュール

Page 7:05エクステンディットフォース（EF） 6Ｗモジュール EM1モジュール EM2モジュールＭＦモジュールで誤入力する場合 引き込み方向の計測可能SFモジュールよりプローブの全長が50㎜長いSFモジュールよりプローブの全長が75㎜長い0.1N50mmスタイラス使用時0.14N10mmスタイラス使用時0.08N10mmスタイラス使用時0.08N10mmスタイラス使用時0.65 μm 0.8 μm 0.35 μm 0.35 μm±2.0 μm ±1.5 μm ±0.8 μm ±0.8 μm2.4mm 4.5/-1.5mm 4mm 4mm±14° ±14° ±14° ±14°φ13.2×20mm φ13.2×24mm φ13.2×70mm φ13.2×95mm22 g 22 g 28 g 30 gＭ２ Ｍ２ Ｍ２ Ｍ２− ≦30mm ≦40mm ≦40mmプローブインターフェイスインターフェイス名称 PI4-2 PI7-2 PI200電源85 ～ 264V200mA最大85 ～ 264V200mA最大85 ～ 264V200mA最大寸法高さ 88mm 88mm 88mm幅 146mm 146mm 146mm奥行 183mm 183mm 183mm重量 1.6kg 1.6kg 1.6kg信号出力 SSR, TTL SSR, TTL SSR, TTL適応プローブ TP1S, TP2, TP6, TP20 TP7M, TP2, TP6, TP20 TP200, TP2, TP6, TP20

Page 8:06スキャニングプローブプローブ名称 SP80 SP80H特長クイルマウント型高精度スキャニングプローブロングスタイラス対応取付け 垂直クイルマウント 水平クイルマウントインターフェイスSP80 ドーターカード（UCC2 ／ UCC1コントローラー使用時）CC6 カウンターカード ＋ IU80 インターポレータユニットプローブ特性3軸（X, Y, Z）リニアモーション3Dアナログ測定範囲 ±2.5mm（X, Y, Z）±2.5mm（Y, Z）±1.25mm（X最小）オーバートラベル − −保護機構マグネット式ジョイント（X, Y）バンプストップ機構（Z）スケール分解能 <0.02µm測定圧 約1.8N/mm（X, Y, Z）約1.8N/mm（X, Y）約2.5N/mm（Z）重量SP80本体：860gSH80 スタイラスホルダ：185gKM80 クイルマウント：110g電源プローブ：＋9V ～＋18V,（最大300mA dc）システム：＋5V ±0.25V,（最大1A dc）出力（X, Y, Z） 1.5V ±0.25V p−p アナログスタイラス M5スタイラス長さ≦800mm≦500g≦500mm≦300gスタイラス自動交換 対応（SCP80） 対応（SCP80V）

Page 9:07SP600M SP25M汎用スキャニングプローブφ25の小型スキャニングプローブタッチプローブオプションオートジョイントシャンク（SP600）クイルマウント（SP600Q）オートジョイントAC1 アナログコンバータPCカード（ISAbus）AC2 アナログコンバータPCカード（ISAbus）SP25Mドータカード（UCC2使用時）AC3 PC インターフェイスカード（ISA bus）3軸（X, Y, Z）リニアモーション3Dアナログピボットモーション3Dアナログ±1mm（X, Y, Z） ±0.5mm（X, Y, Z）−±2.0mm（X, Y）1.7mm（＋Z）1.2mm（–Z）マグネット式ジョイント（X, Y, –Z）マグネット式ジョイント（X, Y, –Z）バンプストップ機構（＋Z）0.1µm（AC2使用時）1.0µm（AC1使用時）<0.1µm1.2N/mm 0.2N/mm−0.6N/mmSP600M：216gSP600：172gSP600Q：299gSP25Mボディ：60gSM25−1モジュール：35gSM25−2モジュール：40gSM25−3モジュール：49gSM25−4モジュール：71gTM−25−20モジュール：40g＋12V ～−12V5V（±10%）＋12V（±5%），–12V（＋10%／−8%）＋5V（＋10%／−13%）DCアナログ 4V to 8.5V/mm 非線形アナログM4 M3≦300mm≦20gSM25−1 ＋ SH25−1：20 − 50mmSM25−2 ＋ SH25−2：50 − 105mmSM25−3 ＋ SH25−3：120 − 200mmSM25−4 ＋ SH25−4：220 − 400mm対応（SCR600） 対応（FCR25）

Page 10:08マニュアルヘッドプローブヘッド名称 PH1 PH6 PH6M特長200mmエクステンション対応水平回転角度15°ピッチ垂直回転は任意の角度で固定可能Ｍ8ネジタイプのプローブ用オートジョイントタイプのプローブ用回転角度水平方向（角度ピッチ） 360°（15°） 固定 固定垂直方向（角度ピッチ） ±115°（−） 固定 固定繰返位置決め精度（２σ） 再現性なし − −最大エクステンション 200mm 200mm 200mmプローブ固定方法 Ｍ８ネジ Ｍ８ネジ オートジョイントプローブ取付け再現精度 再現性なし 再現性なし 1μｍ寸法 40×40mm φ19×28mm φ60×40mm重量 125g 48g 160g固定方法 シャンク シャンク シャンク回転制御 手動 固定 固定プローブ自動交換 − − −プローブ固定方法が、TP20モジュール専用となているタイプは、プローブヘッドの中にTP20ボディが内蔵されているため他のプローブは取り付けられません。プローブ固定方式がオートジョイントとなっているヘッドにＭ８ネジ仕様のプローブを取り付けるには、PAAアダプタを使用します。

Page 11:09MH20 MH20iMIHMIH−SMH8 RTP20任意の角度で固定可能回転角度15度ピッチで位置決め回転角度7.5度ピッチで位置決めディスプレ搭載で回転角度表示シーケンスの作成可能MIH−S：MIHのRS232C　　　　 通信対応バージョン回転角度15度ピッチで位置決め三次元測定機の動力を利用した、パッシブ式自動首振りヘッドTP20内蔵±300°（−） ±180°（15°） ±180°（7.5°） ±180°（15°） ±180 °（15°）±93°（−） 0 ～ 90°（15°） 0 ～ 105°（7.5°） 0 ～ 90°（15°） 0 ～ 90 °（15°）再現性なし 1.5μｍ 1μｍ 1.5μｍ 1.5μｍ75mm（EM2） 75mm（EM2） 300mm 50mm 75mm（EM2）TP20モジュール専用 TP20モジュール専用 オートジョイント Ｍ８ネジ TP20モジュール専用2μｍ 2μｍ 1μｍ 再現性なし 2μｍφ31×73mm φ48×61mm φ62×102mm φ48×69mm φ48×86.3mm100g 210g 580g 205g 208gシャンク シャンク シャンク シャンク シャンク手動 手動 手動 手動 自動− − − − 対応（MCR20）

Page 12:10自動首振りヘッドプローブヘッド名称 PH10M PH10MQ PH10T特長M8ネジタイプ、オートジョイントタイプのプローブは全て取付け可能プローブ自動交換に対応PH10Mのクイルマウント仕様クイルマウント採用で、省スペースPH9後継機種回転角度水平方向（角度ピッチ） ±180 °（7.5°） ±180 °（7.5°） ±180 °（7.5°）垂直方向（角度ピッチ） 0 ～ 105 °（7.5°） 0 ～ 105 °（7.5°） 0 ～ 105 °（7.5°）繰返位置決め精度（２σ） 0.4μｍ 0.4μｍ 0.4μｍ最大エクステンション 300mm 300mm 300mmプローブ固定方法 オートジョイント オートジョイント Ｍ８ネジプローブ取付け再現精度 1μｍ 1μｍ 再現性なし寸法 60×117mm 80×73mm 62×102mm重量 645g 730g 645g固定方法 シャンク クイルマウント シャンク回転制御 自動 自動 自動プローブ自動交換 対応（ACR1・ACR3） 対応（ACR1・ACR3） −プローブ固定方式がオートジョイントとなっているヘッドにＭ８ネジ仕様のプローブを取り付けるには、PAAアダプタを使用します。PH10MQは主軸から突出する部分の寸法

Page 13:11PHS REVO PH20大型三次元測定機用サーボポジショニングヘッドクイルマウント採用で、省スペース任意の回転角度で固定可能750mmロングエクステンション対応5軸制御対応のプローブヘッド500mm/s高速スキャニング門型三次元測定機用5軸制御対応のプローブヘッド高速ポイント測定プローブの方向性を自動補正±184 °（0.2 arcSec） 無制限（0.08 acrsec） 無制限（0.08acrsec）±184 °（0.2 arcSec） －5°～ 120°（0.08 acrsec） －115°～ 115°（0.08acrsec）0.1μｍ − －750mm 500mm（スタイラスを含む） 75mm（EM2）Ｍ８ネジ＆オートジョイント RSPプローブ専用 TP20モジュール専用− − 2μmφ100×247mm 118×239mm 84×1223000g 1750g 810gクイルマウント クイルマウント クイルマウント／シャンク自動 自動 自動対応（ACR2） 対応（RCP） 対応（MCR20NI・MCR20）

Page 14:12構成図アダプタアダプタスタイラススタイラス スタイラスPH1にTP200は使用できません。専用インターフェイスPH6はケーブル内蔵マルチワイヤープローブ対応（TP7M, SP600M, SP25M）

Page 15:13アダプタスタイラス スタイラス

Page 16:14シャンクスタイラス スタイラス

Page 17:15シャンク専用インターフェイスSP600MをPH10MQに接続するにはPEM25エクステンションバーが必要となります。アダプタアダプタスタイラス スタイラス スタイラス

Page 18:16アクセサリPAA １ PAA2 PAA3 PEM25 PEM1 PEM2 PEM3材質 スチール アルミニウム アルミニウム スチール アルミニウム アルミニウム アルミニウム有効長 30mm 140mm 300mm 25mm 50mm 100mm 200mmD1 φ24.95 φ24.95 φ24.95 φ24.95 φ24.95 φ24.95 φ24.95D2 φ17.8 φ13 φ13 φ24.95 φ24.95 φ24.95 φ24.95重量 57g 85g 144g 60g 64g 93g 147gオートジョイント ― M8ネジ変換 オートジョイント ― オートジョイント

Page 19:17PEL1 PECF1 PEL2 PECF2 PEL3 PECF3 PEL4材質 アルミニウム カーボン アルミニウム カーボン アルミニウム カーボン アルミニウム有効長 50mm 50mm 100mm 100mm 200mm 200mm 300mmD1 φ13 φ13 φ18 φ13 φ18 φ13 φ24.95D2 φ13 φ13 φ13 φ13 φ13 φ13 φ13重量 60g 27g 64g 37g 93g 64g 147gプローブの向きを変えることができるジョイントM8ネジ ― M8ネジPK1ナックルジョイント

Page 20:サポート三次元測定機用の製品、プローブ、プローブヘッド、インターフェイスは、多くの製品で代替修理を行っております。代替修理とは、不良品を引き取り、新品または同等品との交換をもって修理完了とするサービスです。新品を購入する場合よりも低価格になっています。製造後 10 年以上経過した製品については、修理対応期間終了となります。また、製造後 10 年以内の製品でも、破損の状態や劣化の状態が激しいものについても、修理対応の対象とならない場合がございます。詳しくは CMM グループカスタマーサポートへお問い合わせください。修理・サポート現品修理 代替修理 精度検査プローブ × ○ ○マニュアルヘッド × ○ ×自動首振りヘッド ○ ○ ○インターフェイス × ○ ×コントローラー ○ ○ ×レニショー株式会社 CMMグループ〒160-0004東京都新宿区四谷4－29－8レニショービルT 03-5366-5316F 03-5366-5320レニショー株式会社 名古屋支社〒461-0005愛知県名古屋市東区東桜1－4－3大信ビル2階T 052-961-9511F 052-961-9514E cmmsupport.japan@renishaw.comwww.renishaw.jp 2011.1スタイラス、ケーブルについては、消耗品のため新品販売のみとなります。