需要拡大が進む半導体製造に貢献するオーバルの流量計

Introduction 新しい成⻑段階を迎えている半導体業界 半導体をはじめとした電⼦部品の⽣産は⻑年増加傾向が続いており、2022年における世界の半導 体市場は6,000億ドル（約69兆円）を超える⾒通しにあります。加えて、半導体を製造するための 装置の需要予測も同様に上昇傾向にあります。 その要因の⼀端として挙げられるものとして、PC・スマートフォンをはじめとしたデバイスの⾼ 機能化、5G回線による通信の⾼速化、IoT活⽤の普及などがあります。私たちがより便利に、よ り早く、より快適な⽣活を送るために⽋かせない製品・技術には、必ずと⾔って良いほど半導体 が活⽤されているのです。 また、市場規模の拡⼤に伴い、半導体そのものの技術進化も急速に⾼まっています。いわゆる、 半導体におけるIC（集積回路）の微細化・集積化です。近年、競合他社との熾烈な争いに勝つた めに、コンパクトかつ⾼機能化が半導体メーカーには求められています。 半導体製造に貢献するオーバル流量計 市場需要の上昇、技術進化が⽌まらない半導体業界において、半導体の製造⼯程で活⽤される流 量計に対するニーズも多様なものとなっています。オーバルはそのような多様なニーズに対応で きる流量計ラインナップと提案⼒を有しています。 ご要望に応じた豊富なラインナップ 従来の半導体製造では純⽔に近い流体の計測を⾏うケースが多く、そのような場合は⾼精度な流 量計が求められることはほどんどありませんでした。しかし、⽇進⽉歩の半導体製造装置におい て、そこに付随する流量計へのニーズも多様化しています。例えば、洗浄液に⽔ではない⾼価な 流体を⽤いていることから精度の⾼い流量計が必要な場合もあれば、従来のようにできるだけ廉 価なものを求められる場合もあり、ご要望は様々です。オーバルはコリオリ流量計をはじめとし た⾼精度な計測を実現する流量計から、コストパフォーマンスの⾼い汎⽤性のある流量計まで、 様々なラインナップを有しており、半導体製造装置メーカー様からの多様なニーズに対応するこ とができます。 半導体製造装置の仕様に合わせたカスタマイズも可能 流量計の選定において、半導体製造装置の仕様にマッチしないという課題はよく挙げられるもの です。 オーバルは⼩型化が進む半導体製造装置への流量計搭載に向けて、豊富なラインアップから最適 な流量計のご提案、装置設計段階からの参画、新装置に適応したオリジナルカスタマイズなど、 柔軟な対応を提供しています。 1

CASE1：半導体製造における「チップ切出」の粉塵防⽌対策として ウエハーから半導体チップを切り出す際、チップに残る粉塵を抑えるために粉塵防⽌剤を吹き付 ける⼯程があります。この防⽌剤の適切な流量調整・管理を⾏うために、オーバルの流量計を活 ⽤いただいています。 粉塵防⽌剤の計測において重要なのは、流量ではなく流速（粉塵防⽌剤）の計測です。つまり、 リアルタイムによる素早い応答性を発揮できる流量計が求められます。 オーバルのフローメイトは応答性に優れているため、粉塵防⽌剤の流量調整・管理に多くの採⽤ 実績があります。 CASE2：半導体洗浄装置で⽤いられる「超臨界流体」の流量計測として 半導体集積回路の微細化に伴い、回路パターンを形成する構造体の強度が弱まっている傾向にあ ります。そのため、従来使われてきた純⽔などの洗浄液では、洗浄・乾燥時に⽣じる流体の表⾯ 張⼒によりパターンが崩壊してしまうリスクがあります。 このようなパターンの崩壊という課題に対しては、表⾯張⼒がほぼゼロである超臨界流体の活⽤ が有効です。温度・圧⼒・安全性等の実⽤的な観点から、超臨界流体として超臨界⼆酸化炭素 （CO2）の適⽤事例が最も多い現状にあります。 オーバルのコリオリ流量計は、超臨界流体の流量計測に求められる⾼い精度基準をクリアしてお り、最新の半導体洗浄装置で⽤いられる超臨界流体の流量計として採⽤されています。 この他にも、半導体製造プロセスにおける様々なシーンで流量計の導⼊が進んでいます。本資料 ではオーバルの数ある流量計の中でも、特に半導体関連⽤途で導⼊が進んでいる流量計をご紹介 いたします。 2

Coriolis Flow Meters

ALTImassⅡ TypeU（⾼精度形） 最適化、統⼀化設計にもとづく究極のU字形フローチューブ 標準的な流量計測に加え、微少流量計測、短時間充填などの⽤途においても⾼精度に質量流量を計測できる⾼ 機能形コリオリ流量計です。⾼機能変換器（⾃⼰診断機能、⼤画⾯表⽰、タッチ操作による現場での設定変更 が可能）を搭載し、パラメータバックアップ機能により変換器交換が容易に⾏えます。 半導体製造装置をはじめ、装置搭載への実績も多数あります。 主な特⻑ メンテナンス機能の充実化 • ゼロ点調整機能（前⾯キー操作のステータス⼊⼒に加え、変換器に押しボタンを完備） • エラーロギング機能 • 時計機能（電源投⼊からの累積時間を変換器内に保存） • ⼯場出荷パラメータのリロード機能 • 表⽰ユニットへのパラメータバックアップ機能 ⾃⼰診断機能の充実化 • 流量計のステータス状態を2⾊のバックライト（⽩、オレンジ）と2つのLED（⾚・緑）で表現 • ⼊⼒信号（センサー）の断線チェック • 配管振動チェック • 変換器の温度監視 ⼤画⾯!現場での設定変更が可能 表⽰画⾯は、⼤画⾯で⾒やすくバックライト機能を付けることで暗い場所での設定も容易 ゼロ点安定性誤差の向上 ALTImass 従来 ALTImassⅡシリーズ（Type U） ⾼い密度精度 ⾼いレベルの密度計測により安定した密度計測を実現し、⾼い密度精度を実現 ⾼速応答 リアルタイム処理の⾼速応答により流量変化への追従性が⾼く、短時間でバッチ計量 ２線式ソリューション • 4〜20mA出⼒とパルス出⼒の同時出⼒が可能 • ALTImassシリーズ専⽤ディストリビュータを使⽤することで２線式が可能 • ケーブルコストを低減 4

ALTImassⅡ TypeS（単⼀直管形） 耐振性をクリアーしたシングルストレートチューブ 付着・固着しやすい液体の計量や、液の置き換えライン洗浄・配管内の液抜き など、素早く確実に⾏う必要のあるクリーンプロセスに最適です。 半導体製造装置をはじめ、装置搭載への実績も多数あります。 主な特⻑ メンテナンス機能の充実化 • ゼロ点調整機能（前⾯キー操作のステータス⼊⼒に加え、変換器に押しボタンを完備） • エラーロギング機能 • 時計機能（電源投⼊からの累積時間を変換器内に保存） • ⼯場出荷パラメータのリロード機能 • 表⽰ユニットへのパラメータバックアップ機能 ⾃⼰診断機能の充実化 • 流量計のステータス状態を2⾊のバックライト（⽩、オレンジ）と2つのLED（⾚・緑）で表現 • ⼊⼒信号（センサー）の断線チェック • 配管振動チェック • 変換器の温度監視 ⼤画⾯!現場での設定変更が可能 表⽰画⾯は、⼤画⾯で⾒やすくバックライト機能を付けることで暗い場所での設定も容易 ゼロ点安定性誤差の向上 ALTImass 従来 ALTImassⅡシリーズ（Type U） ⾼い密度精度 ⾼いレベルの密度計測により安定した密度計測を実現し、⾼い密度精度を実現 ⾼速応答 リアルタイム処理の⾼速応答により流量変化への追従性が⾼く、短時間でバッチ計量 ２線式ソリューション • 4〜20mA出⼒とパルス出⼒の同時出⼒が可能 • ALTImassシリーズ専⽤ディストリビュータを使⽤することで２線式が可能 • ケーブルコストを低減 5

Cori MateⅡ ⾮防爆仕様限定ですが、表⽰器を⼀体化したコンパクトで使いやすいコリオリ流量計です。廉価でありながら ⾼精度な微少の流量計測が可能です。 ⼀体形 分離形検出器 分離形変換器 主な特⻑ • 設置や取扱が簡単 • 耐震台が不要 • ⼀本チューブ構造 • ⼀体形、分離形構造の選択が可能 6

Positive Displacement Flowmeters

フローメイト・スーパーマイクロフローメイト フローメイト 燃焼器や暖房器の燃料消費計としての⽤途をはじめ、各種液体の少流量計測 に最適なパルス発信器を内蔵した⼩形の容積流量計です。 ⽔、純⽔専⽤の 38 形（樹脂製）も加わり、より微少流量への幅を広げました。 スーパーマイクロフローメイト 家庭⽤燃料電池やファインセラミックス焼成⼯程、実験、添加⽤途などの極 微少流量計測に最適な、パルス発信器を内蔵した⼩形の容積流量計です。 主な特⻑ • パルス発信器を内蔵したコンパクトな流量計 • 簡単な構造で堅牢、安価 • 燃焼器や暖房器の燃料計あるいは⼩流量の積算計として、表⽰や監視の集中管理可能 • バルブやポンプと組合せ、薬液や⾷品添加剤の⽐例注⼊や流量制御をコンパクトにまとめられる • 燃料電池などの微少流量計測に最適 ※極微少の1.5mL/minから計測可能（38形） • ⾼精度：±1.0％RD（40、41、45形） 適⽤流体 ⽔ / ガソリン / 灯油 / 軽油 / 重油 / その他 ※ 38形は⽔のみとなります 8

Vortex Flow Meters

Eggs DELTA Ⅱ Eggs DELTAⅡは、液体または気体に使⽤できる廉価形のカルマン渦式フ ローモニターです。エネルギー流体の消費量管理や各種装置に搭載しての 流量監視等、末端ラインにおける流量管理⽤として最適です。表⽰部の無 い出⼒専⽤形の「Eggs DELTA Pulse」を別途ラインアップしています。 主な特⻑ • ダスト・ミストに強い構造 • ウエットガスも計測可能 • 可動部が無く、メンテナンス性に優れている アプリケーション事例 ・冷却⽔の計測 適⽤流体 ⽔ / 空気 / 窒素 / その他 Eggs DELTA Pulse Eggs DELTA Pulseは、パルス出⼒専⽤形とし、価格を下げた、渦式 フローモニターです。エネルギー流体の消費量管理や各種装置に搭載 しての流量監視等、末端ラインにおける流量管理⽤として最適です。 さらに、バリアユニットを結合した本質安全防爆仕様をラインアップ しており、防爆エリアでも使⽤可能です。 樹脂継⼿ ⾦属継⼿ 主な特⻑ • ダスト・ミストに強い構造 • ウエットガスも計測可能 • 可動部が無く、メンテナンス性に優れている バリアユニット 適⽤流体 ⽔ / 空気 / 窒素 / その他 10

About OVAL

流量計とシステムソリューションのオーバル オーバルは1949年の創業以来、流体計測制御の専業メーカとして⼀貫した事 業を展開してまいりました。 多岐に渡るラインアップを誇る流量計をご提供するセンサ事業、流体計測に関 わるシステムパッケージをご提供するシステム事業、そしてお客様のご要望に きめの細かいメンテナンス対応でお応えするサービス事業を三本の柱とし、常 に時代に最適な商品とサービスを提供し、お客様の最⼤級の満⾜を追求できる よう注⼒してまいりました。 今後も地球規模の環境貢献、社会貢献に取り組みながら、最新のIoTやAIの技 術を取り込み、変化の創造を繰り返しながら、社員⼀丸となって成⻑し、進化 し続けてまいります。 オーバルの強み 豊富なラインナップ 流量計には容積式、コリオリ式、渦式、タービン式、超⾳波式、熱式など様々な計測原理があり、 オーバルは各原理の製品を取り揃えています。さらに⼩⼝径から⼤⼝径、低温から⾼温、⾼圧⼒ や⾼粘度対応など幅広くラインアップしております。お客様のご要望に合わせて最適な流量計を ご提案いたします。 またお客様のご要望に合わせた流量計をカスタマイズして開発することも可能です。 国産ならではの⾼品質＋安⼼サポート 防爆や⾼圧ガスなど⽇本国内をはじめ、様々な規格があります。オーバルの流量計はそれらの規 格に対応しています。また、⽇本全国にサービス・メンテナンスのスタッフを配置しており、お 客様の現場で何かトラブルがあった際、全国どこへでもすぐに駆けつけられることも国産の強み です。 設計から施⼯までワンストップで対応が可能 オーバルはお客様の課題分析からシステムの提案・導⼊までご提供できる体制を構築しています。 流量計の販売にとどまらず、全体最適を実現します。 流量計専⾨メーカーとして培った計測技術を⽣かし、お客様の課題やご要望に応じた最適な制 御・⾃動化・システム製品をオーダーメイドでご提供いたします。各種バッチシステム、ブレン ドシステム、充填システム、流量計校正装置など、システム製品を作り始めて60年以上の実績が あります。また、オーバルは「建設業の許可」を取得しておりますので、設計のみならず施⼯ま でワンストップで対応が可能です。 12

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