液晶パネル製造工程での冷却

HP新コンテンツ案 導入事例　-　流量計はどこで使われているの？ 流量計は液晶製造装置の冷却水配管で使われています フロント パネル 偏光板 光源 導光板 当社の流量計は、液晶テレビに使われている液晶パネル 液晶層 の製造工程で使われています。 TFT 基板 ( 画素を制御するスイッチ ) カラーフィルタ基板 ( 色を作り出す役割 ) 液晶テレビ 液晶パネル スマートフォン パソコン 液晶パネルの製造工程 ガラス基板 成膜 レジスト塗布 露光 現像 エッチング 洗浄 (金属膜 ) ・剥離 パターン検査 成膜 レーザーアニール 保護膜・信号線・ (絶縁膜 ) ( 加熱処理 ) 電極形成・スパッタリング 最終検査 当社の流量計が カラーフィルタと …液晶パネル 使われている工程 組み合せ 完成 成膜段階での熱 例えば、成膜工程では装置内で熱が発生するため、 装置の熱を冷却する必要があります。 成膜 その冷却水の流量や温度を監視するのが 流量計！ フォトマスク 半導体 IC を作るための回路パターンが描写されているガラス基板。 冷却 これを原版として、光によって半導体ウェハー上のレジストに転写することで回路パターンをつくる。( 写真のネガと同じ役目 ) 流量計 冷却水 冷却水 IN OUT センサやバルブを コンパクトに まとめる マニホールド FSシリーズができる前は… 流量計 FSシリーズ　の誕生！ FS シリーズのメーカー ＲＧＬ リガルジョイント 浮き子の 上下動 冷却水がちゃんと流れているかをデジタル表示、 大きな装置でもまとめて管理できるように開発されました。 流量計測 温度計測 ちなみにデジタル表示になる前は 浮き子式流量計を目視で監視して 冷却水ユニットとは いました。 冷却水に使用する配管を集約したもの。 流量センサ、ホース用継手、バルブ、電磁弁、 水フィルター等の部品が架台に組み込まれコンパクトになる。 流量計 マニホールド 冷却水ユニット 当社ではマニホールドを使用しさらに省スペースで組み込むことが可能。 半導体業界では、リガルジョイントの 様々なセンサやバルブ等を搭載して、 水を何十系統も流す こんな流量計が使われています 配管をコンパクトにまとめる 大型装置用には ことができます 配管部品を架台に組み込み、 コンパクトにします 羽根車式流量センサ　 カルマン渦式流量センサ　 センサをまとめる マニホールドをまとめる お問い合わせ 問い合わせフォームへリンク 新入社員研修資料に入れる 協力工場 樹脂成形 リガルジョイントはファブレス ( 製造設備をもたない ) で モノづくりをしているため、地域ネットワークでつながる 基板組立 協力工場に各部品の製造を依頼します。 出来上がった部品をリガルジョイントで組み立てることで 樹脂成形 製品が完成します。 組立 FLOW SENSOR POWER DOWN CHECK FS-S REGAL JIONT OFF STBY 50 40 60 ON UN-STAB 30 70 20 80 ON STAB 10 90 0 SET 100 ％ FLOW SENSOR POWER DOWN CHECK FS-S REGAL JIONT OFF STBY 50 40 60 ON UN-STAB 30 70 20 80 ON STAB 10 90 0 SET 100 ％ FLOW SENSOR POWER DOWN CHECK FS-S REGAL JIONT OFF STBY 50 40 60 ON UN-STAB 30 70 20 80 ON STAB 10 90 0 SET 100 ％

HP新コンテンツ案 2013.06.24　　　　　　　　　　　　　　 導入事例　-　流量計はどこで使われているの？ 広報企画課 長塚 流量計は液晶製造装置の冷却水配管で使われています フロント パネル 偏光板 光源 導光板 当社の流量計は、液晶テレビに使われている液晶パネル 液晶層 の製造工程で使われています。 TFT 基板 ( 画素を制御するスイッチ ) カラーフィルタ基板 ( 色を作り出す役割 ) 液晶テレビ 液晶パネル スマートフォン パソコン 液晶パネルの製造工程 ガラス基板 成膜 レジスト塗布 露光 現像 エッチング 洗浄 (金属膜 ) ・剥離 パターン検査 成膜 レーザーアニール 保護膜・信号線・ (絶縁膜 ) ( 加熱処理 ) 電極形成・スパッタリング 最終検査 当社の流量計が カラーフィルタと …液晶パネル 使われている工程 組み合せ 完成 成膜段階での熱 例えば、成膜工程では装置内で熱が発生するため、 装置の熱を冷却する必要があります。 成膜 その冷却水の流量や温度を監視するのが 流量計！ 冷却 流量計 冷却水 冷却水 IN OUT センサやバルブを コンパクトに まとめる マニホールド FSシリーズができる前は… 流量計 FSシリーズ　の誕生！ 浮き子の 上下動 冷却水がちゃんと流れているかをデジタル表示、 大きな装置でもまとめて管理できるように開発されました。 ちなみにデジタル表示になる前は 浮き子式流量計を目視で監視して いました。 流量計 マニホールド 冷却水ユニット 半導体業界では、リガルジョイントの 様々なセンサやバルブ等を搭載して、 水を何十系統も流す こんな流量計が使われています 配管をコンパクトにまとめる 大型装置用には ことができます 配管部品を架台に組み込み、 コンパクトにします 羽根車式流量センサ　 カルマン渦式流量センサ　 センサをまとめる マニホールドをまとめる お問い合わせ 問い合わせフォームへリンク フォトマスク 半導体 IC を作るための回路パターンが描写されているガラス基板。 これを原版として、光によって半導体ウェハー上のレジストに 転写することで回路パターンをつくる。( 写真のネガと同じ役目 ) FS シリーズのメーカー ＲＧＬ リガルジョイント 流量計測 温度計測 冷却水ユニットとは 冷却水に使用する配管を集約したもの。 流量センサ、ホース用継手、バルブ、電磁弁、 水フィルター等の部品が架台に組み込まれコンパクトになる。 当社ではマニホールドを使用しさらに省スペースで組み込むことが可能。 新入社員研修資料に入れる 協力工場 樹脂成形 リガルジョイントはファブレス ( 製造設備をもたない ) で モノづくりをしているため、地域ネットワークでつながる 基板組立 協力工場に各部品の製造を依頼します。 出来上がった部品をリガルジョイントで組み立てることで 樹脂成形 製品が完成します。 組立 FLOW SENSOR POWER DOWN CHECK FS-S REGAL JIONT OFF STBY 50 40 60 ON UN-STAB 30 70 20 80 ON STAB 10 90 0 SET 100 ％ FLOW SENSOR POWER DOWN CHECK FS-S REGAL JIONT OFF STBY 50 40 60 ON UN-STAB 30 70 20 80 ON STAB 10 90 0 SET 100 ％ FLOW SENSOR POWER DOWN CHECK FS-S REGAL JIONT OFF STBY 50 40 60 ON UN-STAB 30 70 20 80 ON STAB 10 90 0 SET 100 ％