半導体製造装置向け　水冷ユニット

仕　様 HP新コンテンツ案 導入事例　-　半導体・液晶製造装置の冷却水配管 半導体・液晶製造装置の冷却水配管 半導体・液晶パネル製造装置分野以前からマニホールドを使用していたが、 冷却水系統をまとめて冷却水ユニットとして発注 「設計・調達・組立工数を大幅に削減できた！！」 配管の問題を集合配管システム「マニホールド」で解決！ 「このスペースしか空いてない…」 「もっと工期を短縮できないか？」 「配管部から水漏れ！ 　　どの段階で？ 原因は？ 手配・加工・検査・組立… 責任範囲が不明確…」 部品点数13個… 部品点数が １ 個に！ 仕様書1枚で手配、 NSO R E CHEC K S FLO W T WNO JIO N D POW ER AL EG FS-S R 60 すぐに現場で取り付けられる！50 70 40 80 STB Y 30 90 NSO R OFF TAB 20 100-S E CHEC K N S U 10 ET ％S OW ON 0 TAB FL ST ON N DOW JIO N WER PO EGA L FS-S R R 0 60 NSO HECK5 0 SE C740 80 STB Y W 30 90 FLO OFF TAB 20 0 IO NT -S 10 W N N WER DO J U O L 10 T ％ PE EGAS R ON 0 B S-S STA F 50 60 ON 70 40 80 STB Y 30 90 F OR OF TAB 20 100S SN HECK UN-C 10 ET ％S OW SE 0ON TAB FL S ION T ON WN DO J POW ER L REG A FS-S OR K 0 NS CHEC50 6 70 SE40 80 TBYS 0 FLO W 3 90 T FF B 0 WN JIO N O TA 2 O100 WER D UN- S PO AL 10 ET ％ REGS ON 0 S-S STA B F 50 60 70 ON 40 80 Y OR ST B 0 S 3 90N HECKE C R OFFS AB 20 00 NSO T 1 ECKH UN -S SE C 10 SET ％ N 0 FLOW W OO STAB N NT FL R DO W JIO NT ON POW E AL WN IO G WER DO JO L RE P EGA FS-S S R FS- 50 60 50 6 0 70 70 0 40 80 4 80 Y STB Y STB 0 30 3 90 90 FF B 20 0 OFF TAB O TA 00 1 S 2 100 UN -S - 10 ％UN S ET 10 T ％ N 0SE O 0 TABON S TABS ON ON R R NSO CKO E CH E ENS CK CHE S W S FLOW LO NTF WNOWER DO L JIOP NT EGA DOW N IO R ER J POW L GA FS -S RE 50 60 FS-S 7 0 40 Y 8 0 50 60 STB 70 30 90 40 80 OFF TAB 20 100 STB Y S 30 U N- 0 1 0 ％ 9 SET N 0O OFF B 0 B N-S TA 2 100 STA U 10 ％SET ON0 ON STA B ON NSO R ECKCH W SE SOR F LO T N CHECKE NOW IO N S WER D PO AL J REG FLOW FS -S NT 50 6 0 N 70 R DO W JIO POW E GAL 40 80 RE STB Y -S 3 0 S 9 0 F OFF TABS 20 100 50 60 UN - 100 ％7 SET0 40 0 ON TBY 8 STA B S 30 90 ON OFF B 0STA 2 100 UN- 10 ％SET ON 0 STA B ON 冷却水ユニットとは SOR CHECK W SEN FLO T WN ON ER D O I POW AL J REG FS-S 50 60 70 40 Y 8 0 STB 30 90 OFF TAB 20-S 10 0 UN 10 SET ％ N 0O STA B ON 冷却水に使用する配管を集約したもの。 流量センサ、ホース用継手、バルブ、電磁弁、 決められたスペースに 組立工数 安心の 水フィルター等の部品が架台に組み込まれコンパクトになる。 当社ではマニホールドを使用しさらに省スペースで組み込むことが可能。 ピッタリ収まる！ 93.7％ 削減！ 品質保証つき！ 半導体・液晶製造装置の冷却水配管 ■現状 ・複数の冷却水配管を設計、製造、組立、装置へ取り付け 冷却水ユニット ・もしくは複数の冷却水系統をマニホールド化し発注、 半導体製造装置 装置取り付け マニホールド (モジュール化) 当社の冷却水ユニットを使うと… 冷却水配管の集約化、 ■改善後 一括表示、制御 水 冷却水関連の部品・機器をまとめ、流量監視や OUT エアー IN 制御を一括で行なえるようになった。 水 IN 水 戻り 設備や装置の省スペース化が進んだ。 集合配管 自社商品 集合配管 この商品で実現しました 水冷ユニット マニホールド 流量センサ ホース用継手 ホース用継手 省電力電磁弁 水フィルタ ■お客様の声 「半導体製造装置の設計をしていると、どうしても冷却水ラインの設計が遅れがちになってしまう。 冷却水ユニットを頼むときは、必要な情報を出せばOK。 　冷却水ラインを設計から一括で任せてしまえるので、設計コストが大幅に削減された。」 「部品の調達がラクになった。様々な業者に部品ひとつひとつを発注するのは手間だし納期もバラバラ。 冷却水ユニットは、RGLに一括で発注するだけ。 マニホールドも、仕様書から部品を選んで記入するだけでOK。 　部品点数も減るし、あの部品が入荷しないから組み立てられない、ということがない。」 「今までマニホールドのみの注文だったが、装置への取り付けの工数低減を視野に入れ、ユニット化した。 現場で冷却水ラインを組み立たり、いくつもマニホールドを取り付ける工数を考えると、ユニット化はとても有効。 しかも大きなスペースをとっていた装置が、だいぶ小さくなった。」

仕　様 HP新コンテンツ案 2012.5.31 導入事例　-　半導体・液晶製造装置の冷却水配管 広報企画課　 半導体・液晶製造装置の冷却水配管 半導体・液晶パネル製造装置分野以前からマニホールドを使用していたが、 冷却水系統をまとめて冷却水ユニットとして発注 「設計・調達・組立工数を大幅に削減できた！！」 配管の問題を集合配管システム「マニホールド」で解決！ 「このスペースしか空いてない…」 「もっと工期を短縮できないか？」 「配管部から水漏れ！ 　　どの段階で？ 原因は？ 手配・加工・検査・組立… 　　　責任範囲が不明確…」 部品点数13個… 部品点数が １ 個に！ 仕様書1枚で手配、 OR K SE NS CHEC FLO W NT N R DO W JIO POW E EGA L R FS-S 0 60 すぐに現場で取り付けられる！5 70 40 80 STB Y 30 90 OR OFF B 0NS TA 2 100 ECKE H UN -S S C 10 ％SET W ON 0 FLO S TAB NT ON N R DO W JIOE POW EGA L R FS-S 0 60 NSO R 5 E CHE CK 70 40 S80 TBY W S 30 90 FLO F NTOF -ST AB 20 100 WN IO N ER DO U ％ OW AL J 10 SET P REG0 ON -S STA B FS 50 60 ON 70 40 80 Y STB 30 90 R OFFO TAB 20 100NS CK UN- S CHE 10 ET ％ W SE SON 0 TABS FLO T N N ION O DO W J POW ER AL S R EG FS- OR HECK 50 60 S C 70 0 SE N 4 80 TBY LOWS 30 90 F NT OFF N O TAB 20 100 O W JI S WER D L PO UN- 10 ET ％ REG A S ON 0 B FS-S STA 50 60 70 ON 40 80 OR ST BY 30 90 SENS K CHE C R OFFO TAB 20 0CK UN-S 10HE 0 ％ FLOW S C 1 ET W SEN SON 0B STA ONT LON ER D OW W L JI F NT ON O N OP R DOWE JI REG A POW EGA L FS-S FS-S R 50 60 50 6 0 70 70 40 4 0 0 808 Y STB Y STB 0 0 3 903 90 OFF TAB 20 100 OFF B 0 -S -ST A 2 100 UN 10 ET ％ UN S10 ％ 0SET ON B ON 0 STA STA B ON ON SOROR N K CHE C S CK ECHE S SEN OW F LOW L NTF NOW IOWER D J ONT PO GAL WNO I RE WER D J PO GAL FS-S RE S 50 6 0 S- 70F 40 80 50 60 STB Y 70 30 90 40 80 OFF AB 20 BY -STN 1 00 ST 30 U 090 1 SET ％ 0 OFF AB 0 O N B N-S T 2 100 STA U 10 SET ％ ON0 ON B STA ON NSO R ECK SE CH OR FL OW S CK NTEN CH E OW N JIO D S POWE R AL W RE G FLO FS -S NT 50 60N O 70 ER D OW JI 0 POW 4 AL 80EG STB Y FS-S R 30 90 OFF TAB 20-S 10 0 50 60 UN 00 1 ET ％7 S 40 N 0 80 O B STB Y STA 30 90 ON OFF TABS 2 0 100 UN- 10 SET ％ 0 ON STA B ON NSO R CK CHE OW SE FL NT DOW N OW ER L JIO P EGA FS-S R 50 60 70 40 80 STB Y 30 90 OFF TAB 20 N-S 1 00 U 10 ％SET ON 0 STA B ON 決められたスペースに 組立工数 安心の ピッタリ収まる！ 93.7％ 削減！ 品質保証つき！ 半導体・液晶製造装置の冷却水配管 ■現状 ・複数の冷却水配管を設計、製造、組立、装置へ取り付け 冷却水ユニット ・もしくは複数の冷却水系統をマニホールド化し発注、 半導体製造装置 　装置取り付け マニホールド (モジュール化) 当社の冷却水ユニットを使うと… 冷却水配管の集約化、 ■改善後 一括表示、制御 水 冷却水関連の部品・機器をまとめ、流量監視や OUT エアー IN 制御を一括で行なえるようになった。 水 IN 水 戻り 設備や装置の省スペース化が進んだ。 集合配管 自社商品 集合配管 この商品で実現しました 水冷ユニット マニホールド 流量センサ ホース用継手 ホース用継手 省電力電磁弁 水フィルタ ■お客様の声 「半導体製造装置の設計をしていると、どうしても冷却水ラインの設計が遅れがちになってしまう。 　冷却水ユニットを頼むときは、必要な情報を出せばOK。 　冷却水ラインを設計から一括で任せてしまえるので、設計コストが大幅に削減された。」 「部品の調達がラクになった。様々な業者に部品ひとつひとつを発注するのは手間だし納期もバラバラ。 　冷却水ユニットは、RGLに一括で発注するだけ。 　マニホールドも、仕様書から部品を選んで記入するだけでOK。 　部品点数も減るし、あの部品が入荷しないから組み立てられない、ということがない。」 「今までマニホールドのみの注文だったが、装置への取り付けの工数低減を視野に入れ、ユニット化した。 　現場で冷却水ラインを組み立たり、いくつもマニホールドを取り付ける工数を考えると、ユニット化はとても有効。 　しかも大きなスペースをとっていた装置が、だいぶ小さくなった。」 冷却水ユニットとは 冷却水に使用する配管を集約したもの。 流量センサ、ホース用継手、バルブ、電磁弁、 水フィルター等の部品が架台に組み込まれコンパクトになる。 当社ではマニホールドを使用しさらに省スペースで組み込むことが可能。