ポジショニングテーブル

POSITIONING TABLE ポジショニングテーブル 構造と特長・ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ H-2 形式・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ H-2 特殊対応・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ H-3 呼び番号の構成・ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ H-4 NBポジショニングテーブルの機能評価方法・・・ H-5 精度・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ H-8 機能評価システム・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ H-10 精度測定データ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ H-11 寸法表・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ H-12〜 技術資料・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ H-32 NBポジショニングテーブル制御システム・ ・・ H-36 ポジショニングテーブルNWT形 ポ 構造と特長・ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ H-41 ジ 精度 シ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ H-41 ョ 位置決め精度・ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ H-41 ニ ン 運動・姿勢精度・ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ H-41 グ 寸法表 テ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ H-42 ー ACサーボモータ・ドライバ仕様・ ・・・・・・・・ H-43 ブ ル アライメントステージNTX形 構造と特長・ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ H-44 呼び番号の構成・ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ H-45 寸法表・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ H-45 NTX・ACサーボモータ・ドライバ仕様・・・・ H-46 H-1

POSITIONING TABLE ポジショニングテーブル 構造と特長 NCT形 NBL形 　NBポジショニングテーブルは、高速・高精度に対応したパルスモータ駆動方式の汎用形精密位置決めテーブルです。 　案内にNBスライドウェイ（NCT形）、NBスライドユニット（NSL形）、リニアガイド（NPT形、NBL形、NX2L形、 NX3L形）を用い、伝達機構には精密ボールねじを使用し、高速から低速にいたるまで安定した精度が得られます。 　また、標準仕様の他にメカトロニクスをはじめ広範囲な用途の中で、スペースや装置、スペック等に合わせた特殊 P.H-12 P.H-14 仕様にも対応いたします。 NX2L形 NX3L形 ●主な用途 各種電子部品製造装置／計測機／レーザー加工機 P.H-20 P.H-22 半導体製造装置／産業用ロボット／自動加工機／撮影機 NPT形 NSL形 形　式 P.H-24 P.H-30 NWT形 NTX形 形式 ストローク（mm） ガイド方式 耐荷重（kg） モータ形式 特長 NCT 50〜300 スライドウェイ 5相ステッピングモータ 、高剛性 SV形 60 高精度 ACサーボモータ ローハイト NBL 50〜800 ミニチュア 5相ステッピングモータ 軽量、高精度 P.H-42 P.H-44 リニアガイド 50 ACサーボモータ ロングストローク対応 カバー、ジャバラ仕様有り NX2L 300〜1,000 軽量、高精度、重荷重対応 高剛性 特殊対応 ACサーボモータ ワイドステージ ポ リニアガイド 100 ロングストローク対応 ジ シ NX3L 300〜1600 カバー仕様有り 特殊品対応についてもお任せください。標準品のカスタマイズから完全専用設計まで、お客様のご要望にお応えいた ョ ニ します。その際、本社技術スタッフがお客様を訪問し、詳細打合せをさせて頂きます。 ン グ NPT 300〜1,000 高剛性 5相ステッピングモータ 高精度、高剛性、重荷重対応 リニアガイド 200 ACサーボモータ ロングストローク対応 テ カバー、ジャバラ仕様有り ●特殊品対応の流れ ー ブ ル NSL 50〜800 スライドユニット 5相ステッピングモータ 軽量 よ担 CD形 50 ACサーボモータ 低価格 お 仕 お ご 製 ロングストローク対応 る当 問 ス 様 見 契 作 仕 NWT 50〜200 スライドウェイ 合 様タ 書 積 約 ・ 納 SV形 60 ACサーボモータ 超高精度 せ 確ッ 作 も ・ 検 品 認フ 成 り 承 に 認 査 NTX P.H-45参照 スライドウェイ SV形 20（小型仕様） アクチュエータ BG型 大型仕様） ACサーボモータ 回転中心位置の自由設定が可能 50（ 透過穴等の特殊対応 H-2 H-3

POSITIONING TABLE 呼び番号の構成 NB ポジショニングテーブルの機能評価方法 例） NCT 200 × 100 − AC / C R 精度測定は室温23℃の環境で水平に設置して無負荷にて行います。 1.位置決め精度 図H-1 2軸組合せ方向 　まず一定の向きで適当な位置決めをし、これを基準位 無記入 標準 置とする。次に同じ向きへ順次位置決めを行ない、それ 基準長さ R 下図参照 基準長さ ぞれの位置で基準位置から実際に移動した距離と移動 すべき距離との差を測定し、それらの基準長さ内におけ 保護機構の種類 基準長さ る最大差を求める。測定はほぼ全域にわたり、機種別に 無記入 保護機構無し 規定する測定間隔で行なう。これらの求めた最大差のう C カバー付き（NCT、NSL形は除く） ち、最大値を測定値とする。 J ジャバラ付き（NCT、NX-L、NSL形は除く） （ 位置決め精度＝（Δℓn）max 基 モータ形式 準 移動距離ℓ 位 ⊿ℓ＝（実際に移動した距離）ー（指令した距離）5M 5相ステッピングモータ（NX-L形は除く） 置 ） ⊿ℓ：n 基準長さ内における⊿ℓの最大差 AC ACサーボモータ 2.繰返し位置決め精度 　任意の一点に同じ方向からの位置決めを7回繰返して 図H-2 Y軸ストローク（上軸） 停止位置を測定し、読みの最大差1/2を求める。この測 定を原則として、移動距離の中央及びほぼ両端のそれぞ ℓ1 X軸ストローク（下軸） れの位置で行ない、求めた値のうちの最大のものを測定 値とする。 ℓ2 形式 繰返し位置 1 NCT スライドウェイ SV形使用 決 め 精 度＝±⎧⎧ ⎫ ⎩2⎨（ℓnの最大値）−（ℓnの最小値⎬） ℓ3 ⎩ ⎭max NBL ミニチュアリニアガイド使用 NX2L 高剛性リニアガイド使用 NX3L 高剛性リニアガイド使用 3.ロストモーション ℓ7 NPT 高剛性リニアガイド使用 NSL スライドユニット CD形使用 　まず一つの位置について正（あるいは負）の向きでの 位置決めを行ない、その位置を測定する（図H-3のℓ1）。 図H-3 次に同じ向きに指令を与えて移動させ、その位置から負 （あるいは正）の向きでの位置決めを行ない、その位置 ℓ1 を測定する（図H-3のℓ1′）。更に負（あるいは正）の向き テーブルの組合せ ℓ1' に指令を与えて移動させ、その位置から正（あるいは負） ℓ2 標準 R仕様 の向きに同一指令を与えて移動させて正（あるいは負） ポ ジ の向きでの位置決めを行ない、その位置を測定する（図 ℓ2' シ H-3のℓ2）。以下この動作を繰返し、正及び負の向きで ℓ ョ 3 ニ のそれぞれ7回の位置決めの停止位置の平均値の差を ン 求める。この測定を動きの中央及びほぼ両端で行い、求 グ ℓ7 テ めた値のうちの最大のものを測定値とする。 ー ℓ7' ブ ル ロストモーション＝ 1 1 測 定 値 7（ℓ1＋ℓ2…ℓ7）− 7（ℓ1'＋ℓ2'…ℓ7' ） max X軸（下軸） X軸（下軸） H-4 H-5 Y軸（上軸） Y軸（上軸） ⊿ℓ ⊿ℓ1 ⊿ℓ2 ⊿ℓn

POSITIONING TABLE 4.バックラッシュ 図H-4 8.真直度 図H-7 　テーブルに送りをかけて、わずかに動かしたときのテス ⊿ℓ 　直線でなければならないテーブル運動の幾何学的直 トインジケータの読みを基準とし、更にその状態から送 線からの狂いの大きさとする。 真直度もどり り装置によらずにテーブルを同方向に微動させたときの 　水平真直度：テーブルの移動軸の左右（水平）方向の動き テストインジケータの読みの差を求める。この測定を移 　垂直真直度：テーブルの移動軸の上下（垂直）方向の動き 送りねじ送り 荷重変位 動距離の中央及びほぼ両端の位置で行ない、求めた値 　レーザー真直度測定システムで測定し、測定した値に のうちの最大差を測定値とする。 平行な二つの直線で、その間隔が最小になるように狭ん だときの2直線の間隔で表わす。 バックラッシュ＝（Δℓ）max 図H-5 9.ピッチング、ヨーイング 図H-8 5.平行度A 　ピッチング：テーブル移動軸における上下方向の角度変化 　テーブルを取付けた定盤上にテストインジケータを固 平行度A 　ヨーイング：テーブル移動軸における左右方向の角度変化 垂直真直度 テーブル移動軸 定し、ほぼテーブル上面の中央にテストインジケータを位 　レーザー角度測定システムで測定し、読みの最大差で 置させ、テーブルを移動距離のほぼ全域にわたって動か 表わす。 ヨーイング したときのテストインジケータの読みの最大差を測定値 水平真直度 とする。 ピッチング 6.平行度B 平行度B 　テーブル中央にテストインジケータを固定し、テーブル を取り付けた定盤上にテストインジケータを当て、テーブ ルを移動距離のほぼ全域にわたって動かしたときのテス トインジケータの読みの最大差を測定値とする。※注　 NCT形、NWT形適用 7.XY運動の直角度 図H-6 　テーブル上面に、XあるいはY軸の移動を基準に直角 定規を据付け、基準軸と直角方向のほぼ移動距離全域 にわたって動かしたときのテストインジケータの読みの 最大差を測定値とする。 ポ ジ シ ョ ニ ン グ テ X ー 軸 ブ ル Y軸 H-6 H-7

POSITIONING TABLE 精　度 NCT形 単位：μm NPT形 単位：μm 1軸テーブル 位置決め 繰返し位置 バック 2軸テーブル 1軸テーブル 2軸テーブル 呼び番号 平行度 平行度A び番号 平行度 位置決め 繰返し位置 バック A B 精度 決め精度 ラッシュ 直角度 X方向 Y方向 呼び番号 呼 A 精度 決め精度 ラッシュ 直角度 平行度A X方向 Y方向 呼び番号 NCT 50-5M,-AC 3 NCT 50× 50-5M,-AC NPT 300-5M,-AC 15 20 15 20 15 NPT300×300-5M,-AC NCT100-5M,-AC 5 10 6 5 10 5 NCT100×100-5M,-AC NPT 400-5M,-AC NPT400×400-5M,-AC NCT150-5M,-AC 6 12 9 6 12 6 0×150-5M,-AC NPT 500-5M,-AC 20 30 20 25 20 NPT500×500-5M,-AC NCT200-5M,-AC 7 12 ±1 1以下 NCT15 7 13 7 NCT200×200-5M,-AC NPT 600-5M,-AC NCT250-5M,-AC 8 15 8 15 8 NCT250×250-5M,-AC NPT 700-5M,-AC 40 ±2 2以下 NCT300-5M,-AC 10 20 15 10 18 10 NCT300×300-5M,-AC NPT 800-5M,-AC NBL形 単位：μm NPT 900-5M,-AC 30 50 NPT1000-5M,-AC 1軸テーブル 位置決め 繰返し位置 ーブル 標準品のY軸（上軸）のストロークは500mmが最大となります。500mmを超えるストロークをご希望の場合はNBまでお問い合わせくだ 呼び番号 平行度 バック 2軸テ さい。 A 精度 決め精度 ラッシュ 直角度 平行度A X方向 Y方向 呼び番号 NBL 50-5M,-AC NBL 50× 50-5M,-AC NBL100-5M,-AC 10 30 20 10 NBL100×100-5M,-AC NSL形（コマーシャルタイプ） 単位：mm NBL150-5M,-AC 10 NBL150×150-5M,-AC 1軸テーブル 2軸テーブル NBL200-5M,-AC NBL200×200-5M,-AC 繰返し位置 バック 平行度 平行度A NBL250-5M,-AC 15 25 15 NBL250×250-5M,-AC 呼び番号 決め精度 ラッシュ 直角度 呼び番号 A X方向 Y方向 NBL300-5M,-AC NBL300×300-5M,-AC NSL 50-5M,-AC NSL 50× 50-5M,-AC NBL350-5M,-AC 20 35 ±1 1以下 15 30 20 NBL350×350-5M,-AC NBL400-5M,-AC NBL400×400-5M,-AC NSL100-5M,-AC NSL100×100-5M,-AC NBL450-5M,-AC 20 35 25 NBL450×450-5M,-AC NSL150-5M,-AC 0.06 0.06 NSL150×150-5M,-AC NBL500-5M,-AC 25 40 NSL200-5M,-AC 0.05 0.1 NSL200×200-5M,-AC NBL600-5M,-AC NSL250-5M,-AC NSL250×250-5M,-AC NBL700-5M,-AC 50 NSL300-5M,-AC NSL300×300-5M,-AC NBL800-5M,-AC 35 55 0.07 NSL350-5M,-AC ±0.05 0.1以下 NSL350×350-5M,-AC 標準品のY軸（上軸）のストロークは450mmが最大となります。450mmを超えるストロークをご希望の場合はNBまでお問い合わせください。 0.07 NSL400-5M,-AC NX2L形 単位：μm NSL450-5M,-AC 1軸テーブル 度 位置決め 繰返し位置 バック 2軸テーブル NSL500-5M,-AC 呼び番号 平行 NSL600-5M,-AC A 精度 決め精度 ラッシュ 直角度 平行度A X方向 Y方向 呼び番号 0.08 NX2L 300-AC 20 NSL700-5M,-AC 00-AC 35 15 30 20 NX2L 300×300-AC NX2L 4 L 400×400-AC NSL800-5M,-AC NX2L 500-AC 25 40 20 35 25 NX2 NX2L 500×500-AC 標準品のY軸（上軸）のストロークは350mmが最大となります。350mmを超えるストロークをご希望の場合はNBまでお問い合わせください。 NX2L 600-AC ポ NX2L 700-AC 50 ±2 2 ジ NX2L 800-AC ●ストロークの相異なるテーブルを組合わせた2軸テーブ 図H-9 シ NX2L 900-AC 35 55 ル精度については、次の様になります。 ョ ニ NX2L 1000-AC ①平行度AのX方向 ン 標準品のY軸（上軸）のストロークは500mmが最大となります。500mmを超えるストロークをご希望の場合はNBまでお問い合わせください。 　X軸ストロークと同一ストロークをもつ2軸基本テーブ グ テ ルの平行度AのX方向 NX3L形 単位：μm ー ②平行度AのY方向 ブ 1軸テーブル ル 位置決め 繰返し位置 バック 2軸テーブル 　Y軸ストロークと同一ストロークをもつ1軸テーブル精 呼び番号 平行度 度の平行度A A 精度 決め精度 ラッシュ 直角度 平行度A X方向 Y方向 呼び番号 ③直角度 NX3L 300-AC 20 　X-Yのどちらか長いストロークと同じストロークをもつ -AC 35 15 30 20 NX3L 300×300-AC NX3L 400 400×400-AC NX3L 500-AC 25 40 20 35 25 NX3L NX3L 500×500-AC 2軸基本テーブルの直角度 Y 軸 NX3L 600-AC ※位置決め精度、繰返し位置決め精度、バックラッシュ -AC 50 25 40 30 NX3L 600×600-AC NX3L 700 については1軸テーブル精度と同等になります。 NX3L 800-AC ±2 2 　例　NCT 200×100-5Mの精度 NX3L 900-AC 35 55 ⎧平行度A：X方向　13μm、Y方向　5μm NX3L 1000-AC 軸 ⎨ X NX3L 1200-AC ⎩直角度：7μm NX3L 1400-AC 45 65 　　　NBL 300×50-5Mの精度 NX3L 1600-AC ⎧ ⎨平行度A：X方向　30μm、Y方向　10μm 標準品のY軸（上軸）のストロークは600mmが最大となります。600mmを超えるストロークをご希望の場合はNBまでお問い合わせください。 ⎩直角度：15μm H-8 H-9

POSITIONING TABLE 機能評価システム 精度測定データ 　NBポジショニングテーブルは超精密レーザー測定シ ●テーブル呼び番号　NCT50-AC ステムを使用して、さまざまな機能を評価し最適な特性 ●ドライバ呼び番号　MSD011A1XX を保証します。 なお測定は、室温23℃の環境下にて行います。 位置決め精度 真直度（水平） カラーレーザープリンター コントローラ ドライバ ポ ジ シ ョ ニ 超精密レーザー測定装置 真直度（垂直） ン グ テ ー ブ ル NBポジショニングテーブル H-10 H-11

POSITIONING TABLE NCT形 NCT300 6-M6深さ13 A ※モーターコネクタ B C M 75 E 180 E 25 12 NCT50 A B C M 60 センサーコネクタ E 150 E O.T.2センサ 6 23 10 4-M6深さ11 ※モーターコネクタ 85 85 85 85 D ORGセンサ PORG2センサ D 30.5 Ｎ-取付穴 O.T.1センサ 1/2S 1/2S ※部モーターコネクタはステッピング モータータイプに適用します。 O.T.2センサ PORG2センサ センサーコネクタ D 120 D ORGセンサ 29 N-取付穴 O.T.1センサ 有効 最高 加減速 水平 主要寸法 ボール イナーシャ センサ 質量 1/2S 1/2S ストローク 速度 時間 可搬 A B C M E D N- ねじ ストロークエンド 呼び番号 質量 取付穴 リード モータ ガイド （O.T.1,O.T.2） 原点 ※部モーターコネクタはステッピング Vmax. （0 〜 Vmax.） （径） 原点前 （ORG） モータータイプに適用します。 mm mm/sec sec kg mm mm mm mm mm mm mm ×10−4kg・m2 （PORG2） kg NCT 50-5M -AC 56 100 0.1 268 45 53 250 0.2 310 170 48 92 10 25 4-M6用 0.121 3K-S545 0.129 MSMF012L1A2 SV4160 フォトマイクロ エンコーダZ相 9 NCT100-5M 4 61 53 S545 フォトマイクロ -AC 100 100 0.1 32 250 0.2 367 210 65 92 15 20 0.150 3K- 0.158 MSMF012L1A2 SV4200 エンコーダZ相 12 NCT100〜250 NCT150-5M 150 100 0.1 389 -AC 250 0.2 250 86 53 35 40 6-M6用 0.174 3K-S545 フォトマイクロ 5 6-M6深さ11 A B C M 60 NCT200-5M 100 0.1 60 428 92 0.181 MSMF012L1A2 SV4240 14 E 180 E 6 23 10 -AC 200 494 53 3K-S545 フォトマイクロ エンコーダZ相 フォトマイクロ 250 0.2 533 330 111 92 75 80 （φ15）0.215 0.223 MSMF012L1A2 SV4320 エンコーダZ相 18 ※モーターコネクタ NCT250-5M 250 100 0.1 599 3K-S545 フォトマイクロ -AC 250 0.2 638 410 136 53 92 115 35 0.257 ポ 10-M6用 0.265 MSMF012L1A2 SV4400 エンコーダZ相 22 ジ NCT300-5M 300 100 0.1 560.5 2 48.5 4K-M564 フォトマイクロ シ -AC 250 0.2 607 450 6 65 92 135 55 0.286 0.294 MSMF012L1A2 SV4440 エンコーダZ相 29 ョ ニ イナーシャはボールねじ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。 ン 水平可搬質量は加減速時間により変化します。 グ ACサーボモータの電源はAC100V仕様も選択できます。 テ ー ブ ル 最小送り量 O.T.2センサ センサーコネクタ 分解能 pluse/rev 1,000* 2,500 5,000 10,000 PORG2センサ 最小送り量 mm 0.005 0.002 0.001 0.0005 D O.T.1センサ ORGセンサ D 85 85 29 N-取付穴 * 出荷時の設定 1/2S 1/2S 表記以外の設定も可能です。NBまでお問い合わせください。 ※部モーターコネクタはステッピング モータータイプに適用します。 H-12 H-13 （170） 85 120 170 200 150 130 150 170 160 180 200 （170） 85 200 150 160 180 200

POSITIONING TABLE NBL形 −標準形− ４-Ｍ6深さ16 有効 最高 加減速 水平 主要寸法 ボール イナーシャ センサ 質量 A B 10 M 72 ストローク 速度 時間 可搬 A B M D N- ねじ ストロークエンド Ｎ-取付穴 D 150 150 150 D 36.5 呼び番号 質量 取付穴 リード モータ ガイド （O.T.1,O.T.2） 原点 130 16 16 Vmax. （0 〜 Vmax.） （径） 原点前 （ORG） mm mm/sec sec kg mm mm mm mm mm ×10−4kg・m2 （PORG1） kg NBL 50-5M 50 200 0.2 328.5 4K-M564 フォトマイクロ -AC 500 0.4 336.2 270 48.5 56.2 60 4-M6用 0.172 0.168 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 7.5 NBL100-5M 100 200 0.2 378.5 4K-M564 フォトマイクロ 8.0 -AC 500 0.4 386.2 320 48.5 56.2 10 0.191 0.187 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 8　.5 NBL150-5M 150 200 0.2 428.5 4K-M564 フォトマイクロ -AC 500 0.4 436.2 370 48.5 56.2 35 6-M6用 0.210 0.207 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 9.0 NBL200-5M 200 200 0.2 478.5 4K-M564 フォトマイクロ 9.5 O.T.２センサ 50 -AC 500 0.4 486.2 420 48.5 56.2 60 0.230 0.226 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 10　.0 ORGセンサ PORG1センサ NBL250-5M 250 200 0.2 528.5 4K-M564 フォトマイクロ O.T.1センサ -AC 500 0.4 536.2 470 48.5 56.2 10 0.249 0.246 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 10.5 NBL300-5M 300 200 0.2 578.5 4K-M564 フォトマイクロ 11.0 -AC 500 0.4 586.2 520 48.5 56.2 35 8-M6用 0.269 0.265 MQMF012L1A2 ミニ エンコーダZ相 11　.5 20 1/2S 180 1/2S 20 ※モ－タ－コネクタ NBL350-5M 350 200 0.2 4K-M564 チュア -AC 500 50 628.5 10 0.4 636.2 570 48.5 56.2 60 0.288 （φ15） 0.284 MQMF012L1A2 リニア フォトマイクロ フォトマイクロ ガイド エンコーダZ相 12.0 NBL400-5M 400 200 0.2 678.5 4K-M564 呼び15 フォトマイクロ 12.5 -AC 500 0.4 686.2 620 48.5 56.2 10 0.307 0.304 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 13　.0 NBL450-5M 450 200 0.2 728.5 4K-M564 フォトマイクロ ※部モ－タ－コネクタはステッピングモ－タ－タイプに適用します センサ－コネクタ -AC 500 0.4 736.2 670 48.5 56.2 35 10-M6用 0.327 0.323 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 13.5 NBL500-5M 500 200 0.2 778.5 4K-M564 フォトマイクロ 14.0 -AC 500 0.4 786.2 720 48.5 56.2 60 0.346 0.343 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 14　.5 NBL600-5M 600 200 0.2 878.5 0.385 4K-M564 フォトマイクロ 15.5 -AC 500 0.4 886.2 820 48.5 56.2 35 12-M6用 0.381 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 16　.0 NBL700-5M 700 200 0.2 978.5 0.429 4K-M564 フォトマイクロ ポ -AC 500 0.4 986.2 920 48.5 56.2 10 14-M6用 0.425 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 17.5 ジ NBL800-5M 800 200 0.2 1,078.5 0.468 4K-M564 フォトマイクロ シ ョ -AC 500 0.4 1,086.2 1,020 48.5 56.2 60 0.464 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 19.0 ニ ン イナーシャはボールネジ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。 グ 水平可搬質量は加減速時間により変化します。 テ ACサーボモータの電源はAC100V仕様も選択できます。 ー ブ ル 最小送り量 分解能 pluse/rev 1,000* 2,000 5,000 10,000 最小送り量 mm 0.01 0.005 0.002 0.001 * 出荷時の設定 表記以外の設定も可能です。NBまでお問い合わせください。 H-14 H-15 130 2 60 40 180 160 180

POSITIONING TABLE NBL形 −カバータイプ− 6-Ｍ6深さ16 A 有効 最高 加減速 水平 主要寸法 ボール イナーシャ センサ 質量 10 B 10 M 77 ストローク 速度 時間 可搬 A B M D N- ねじ ストロークエンド Ｎ-取付穴 D 150 150 150 D 21 36.5 呼び番号 質量 取付穴 リード モータ ガイド （O.T.1,O.T.2） 原点 80 80 16 Vmax. （0 〜 Vmax.） （径） 原点前 （ORG） mm mm/sec sec kg mm mm mm mm mm ×10−4kg・m2 （PORG1） kg NBL 50-5M/C 50 200 0.2 338.5 0.165 4K-M564 フォトマイクロ 8.5 -AC/C 500 0.4 346.2 270 48.5 56.2 60 4-M6用 0.162 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 9　.0 NBL100-5M/C 100 200 0.2 388.5 48.5 0.185 4K-M564 フォトマイクロ 9.5 -AC/C 500 0.4 396.2 320 56.2 10 0.181 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 10　.0 NBL150-5M/C 150 200 0.2 438.5 48.5 0.204 4K-M564 フォトマイクロ -AC/C 500 0.4 446.2 370 56.2 35 6-M6用 0.200 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 10.5 NBL200-5M/C 200 200 0.2 488.5 0.223 4K-M564 フォトマイクロ -AC/C 500 0.4 496.2 420 48.5 56.2 60 0.220 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 11.5 O.T.２センサ 50 ORGセンサ PORG1センサ NBL250-5M/C 250 200 0.2 538.5 5 0.243 4K-M564 フォトマイクロ O.T.1センサ -AC/C 500 0.4 546.2 470 48. 56.2 10 0.239 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 12.5 NBL300-5M/C 300 200 0.2 588.5 0.262 4K-M564 フォトマイクロ -AC/C 500 0.4 596.2 520 48.5 56.2 35 8-M6用 0.258 MQMF012L1A2 ミニ エンコーダZ相 13.5 20 1/2S 180 1/2S 20 ※モ－タ－コネクタ NBL350-5M/C 350 200 0.2 0.281 4K-M564 チュア 14.0 -AC/C 500 0.4 50 638.5 48.5 10 646.2 570 56.2 60 （φ15） 0.278 MQMF012L1A2 リニア フォトマイクロ フォトマイクロ ガイド エンコーダZ相 14　.5 NBL400-5M/C 400 200 0.2 688.5 5 0.301 4K-M564 呼び15 フォトマイクロ -AC/C 500 0.4 696.2 620 48. 56.2 10 0.297 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 15.0 NBL450-5M/C 450 200 0.2 738.5 0.320 4K-M564 フォトマイクロ ※部モ－タ－コネクタはステッピングモ－タ－タイプに適用します センサ－コネクタ -AC/C 500 0.4 746.2 670 48.5 56.2 35 10-M6用 0.317 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 16.0 NBL500-5M/C 500 200 0.2 788.5 0.340 4K-M564 フォトマイクロ -AC/C 500 0.4 796.2 720 48.5 56.2 60 0.336 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 17.0 NBL600-5M/C 600 200 0.2 888.5 8.5 0.378 4K-M564 フォトマイクロ 18 -AC/C 500 0.4 896.2 820 4 56.2 35 12-M6用 0.375 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 　.519.0 NBL700-5M/C 700 200 0.2 988.5 0.423 4K-M564 フォトマイクロ ポ -AC/C 500 0.4 996.2 920 48.5 56.2 10 0.419 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 21.0 ジ NBL800-5M/C 200 0.2 4-M6用 0.461 4K-M564 フォトマイクロ シ 800 1,088.5 ョ -AC/C 500 0.4 1,096.2 1,020 48.5 1 56.2 60 0.458 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 23.0 ニ ン イナーシャはボールネジ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。 グ 水平可搬質量は加減速時間により変化します。 テ ACサーボモータの電源はAC100V仕様も選択できます。 ー ブ ル 最小送り量 分解能 pluse/rev 1,000* 2,000 5,000 10,000 最小送り量 mm 0.01 0.005 0.002 0.001 * 出荷時の設定 表記以外の設定も可能です。NBまでお問い合わせください。 H-16 H-17 168 2 60 40 180 12 12 160 180

POSITIONING TABLE NBL形 −ジャバラタイプ− N-取付穴 ４-Ｍ6深さ１６ 有効 最高 加減速 水平 主要寸法 ボール イナーシャ センサ 質量 A ストローク 速度 時間 可搬 A B M D E N- ねじ ストロークエンド 10 B 10 M 呼び番号 質量 取付穴 リード モータ ガイド（O.T.1,O.T.2） 原点 D 150 150 150 D 130 Vmax. （0 〜 Vmax.） （径） 原点前 （ORG） 2 69 1 mm mm/sec sec kg mm mm mm mm mm mm ×10−4kg・m2 （PORG1） kg NBL 50-5M/J 50 200 0.2 368.5 4K-M564 フォトマイクロ -AC/J 500 0.4 376.2 300 48.5 56.2 75 35 4-M6用 0.201 0.197 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 10.0 NBL100-5M/J 100 200 0.2 428.5 .5 0.220 4K-M564 フォトマイクロ -AC/J 500 0.4 436.2 360 48 56.2 30 40 0.217 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 11.0 NBL150-5M/J 150 200 0.2 488.5 48.5 6-M6用 0.240 4K-M564 フォトマイクロ 11.5 -AC/J 500 0.4 496.2 420 56.2 60 45 0.236 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 12　.0 NBL200-5M/J 200 200 0.2 548.5 8.5 0.259 4K-M564 フォトマイクロ 12.5 -AC/J 500 0.4 556.2 480 4 56.2 15 50 0.256 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 13　.0 O.T.２センサ PORG1センサ 16 16 O.T.1センサ 50 斜線部 36.5 ORGセンサ NBL 250-5M/J 250 200 0.2 608.5 5 0.278 4K-M564 フォトマイクロ ジャバラ範囲 72 -AC/J 500 0.4 616.2 540 48. 56.2 45 55 8-M6用 0.275 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 13.5 NBL300-5M/J 300 200 0.2 668.5 48.5 0.298 4K-M564 フォトマイクロ -AC/J 500 0.4 676.2 600 56.2 75 60 0.294 MQMF012L1A2 ミニ エンコーダZ相 14.5 E 1/2S 180 1/2S E NBL350-5M/J 350 200 0.2 0.317 4K-M564 チュア ※モ－タ－コネクタ -AC/J 500 0.4 50 728.5 48.5 736.2 660 56.2 30 10 65 0.314 MQMF012L1A2 リニア フォトマイクロ フォトマイクロ 15.5 ガイド エンコーダZ相 NBL400-5M/J 200 0.2 10-M6用（φ15） 0.337 4K-M564 呼び15 フォトマイクロ -AC/J 400 788.5 500 0.4 796.2 720 48.5 56.2 60 70 0.333 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 16.5 NBL450-5M/J 450 200 0.2 858.5 0.356 4K-M564 フォトマイクロ ※部モ－タ－コネクタはステッピングモ－タ－タイプに適用します センサ－コネクタ -AC/J 500 0.4 866.2 790 48.5 56.2 20 80 0.352 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 17.5 NBL500-5M/J 500 200 0.2 928.5 8.5 12-M6用 0.375 4K-M564 フォトマイクロ -AC/J 500 0.4 936.2 860 4 56.2 55 90 0.372 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 18.5 NBL600-5M/J 600 200 0.2 1,048.5 8.5 0.450 4K-M564 フォトマイクロ -AC/J 500 0.4 1,056.2 980 4 56.2 40 100 14-M6用 0.446 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 21.0 NBL700-5M/J 700 200 0.2 1,178.5 0.494 4K-M564 フォトマイクロ ポ -AC/J 500 0.4 1,186.2 1,110 48.5 56.2 30 115 16-M6用 0.490 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 23.0 ジ NBL800-5M/J 800 200 0.2 1,308.5 5 0.533 4K-M564 フォトマイクロ シ ョ -AC/J 500 0.4 1,316.2 1,240 48. 56.2 20 130 18-M6用 0.529 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 25.0 ニ ン イナーシャはボールネジ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。 グ 水平可搬質量は加減速時間により変化します。 テ ACサーボモータの電源はAC100V仕様も選択できます。 ー ブ ル 最小送り量 分解能 pluse/rev 1,000* 2,000 5,000 10,000 最小送り量 mm 0.01 0.005 0.002 0.001 * 出荷時の設定 表記以外の設定も可能です。NBまでお問い合わせください。 H-18 H-19 130 2 60 15 40 190 155 180 210

POSITIONING TABLE NX2L形 NX2L形 −カバー付き− −カバー無し− Ｌ Ｌ 10 Ｌａ 15 99 Ｌａ 15 99 250 ６－Ｍ８ 深さ１６ 250 100 100 100 （ワーク取付用） ＡＣサーボモータ 30 44.5 ８－Ｍ８深さ１６ 90 90 88 ＡＣサーボモータ （ワーク取付用） 18 44.5 ＭＳＭＥ０４２Ｇ１Ａ ＭＳＭＥ０４２Ｇ１Ａ （Ｐａｎａｓｏｎｉｃ） （Ｐａｎａｓｏｎｉｃ） ２×Ｎ－φ９キリ通し ２×Ｎ－φ９キリ通し 50センサードグ幅 200 φ１４ザグリ深さ１．５ 2.5 ステージ取付用） 50センサードグ幅 200 φ１４ザグリ深さ１．５ Ｐ （Ｎ－１）×２００ （ Ｐ Ｐ （Ｎ－１）×２００ Ｐ （ステージ取付用） Ｏ．Ｔ．２センサ ＰＯＲＧセンサ Ｏ．Ｔ．１センサ Ｏ．Ｔ．２センサ ＰＯＲＧセンサ Ｏ．Ｔ．１センサ ＥＥ－ＳＸ４７４（オムロン） ＥＥ－ＳＸ４７４（オムロン） ＥＥ－ＳＸ４７４（オムロン） ＥＥ－ＳＸ４７４（オムロン） ＥＥ－ＳＸ４７４（オムロン） ＥＥ－ＳＸ４７４（オムロン） 40 １／２有効ストローク　 （２５０） １／２有効ストローク　40 40 １／２有効ストローク　 （250） １／２有効ストローク　 40 有効 最高 加減速 水平 主要寸法 ボール センサ 質量 有効 最高 加減速 水平 主要寸法 ボール センサ 質量 ストロ−ク 速度 時間 可搬 L La P N ねじ イナーシャ ストロークエンド ストロ−ク 速度 時間 可搬 L La P N ねじ イナーシャ ストロークエンド 呼び番号 質量 リード モータ ガイド （O.T.1,O.T.2） 原点 呼び番号 質量 リード モータ ガイド （O.T.1,O.T.2） 原点 Vmax.（0 〜 Vmax.） （径） 原点前 （ORG） Vmax.（0 〜 Vmax.） （径） 原点前 （ORG） mm mm/sec sec kg mm mm mm mm ×10−⁴kg・m² （PORG） kg mm mm/sec sec kg mm mm mm mm ×10−⁴kg・m² （PORG） kg NX2L 300-AC/C 300 754 630 115 3 0.865× 10−⁴ 27 NX2L 300-AC 300 744 630 115 3 0.839× 10−⁴ 22 NX2L 400-AC/C 400 854 730 65 − NX2L 400-AC 400 844 730 65 C/C 500 954 830 115 4 0.988× 10 ⁴ 29 4 0.961× 10−⁴ 25 ポ NX2L 500-A 1.11 ×10−⁴ 32 NX2L 500-AC 500 944 830 115 1.08 ×10−⁴ ジ NX2L 600-AC/C 600 1,054 930 65 −⁴ 高剛性 27 5 10 1.23 ×10−⁴ 高剛性 NX2L 600-AC 600 29 シ X2L 700-AC/C 700 500 0.4 100 34 NX2L 700-AC 700 500 0.4 100 1,044 930 65 1,144 1,030 115 5 10 1.21 ×10 ョ N 1,154 1,030 115 （φ20） 1.36 ×10−⁴ MSME042G1Aリニアガイド フォトマイクロ エンコーダZ相 6 （φ20） 1.33 ×10−⁴ MSME042G1Aリニアガイド フォトマイクロ エンコーダZ相 31 ニ NX2L 800-AC/C 800 1,254 1,130 65 − 呼び25 3 NX2L 800-AC 800 1,244 1,130 65 呼び25 AC/C 900 1,354 1,230 115 6 1.48 ×10 ⁴ 39 ン グ NX2L 900- 1.60 ×10−⁴ 41 AC 900 1,344 1,230 115 6 1.45 ×10−⁴ 33 NX2L 900- 1.57 ×10−⁴ 35 テ NX2L 1000-AC/C 1,000 1,454 1,330 65 7 1.72 ×10−⁴ 44 NX2L 1000-AC 1,000 1,444 1,330 65 7 1.70 ×10−⁴ 37 ー ブ イナーシャはボールねじ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。 イナーシャはボールねじ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。 ル 水平可搬質量は加減速時間により変化します。 水平可搬質量は加減速時間により変化します。 ACサーボモータの電源はAC200V仕様のみとなります。 ACサーボモータの電源はAC200V仕様のみとなります。 H-20 H-21 240 126 260 19 19 15 20 220 20 90 90 126 220 15 220 235

POSITIONING TABLE NX3L形 NX3L形 −カバー付き− −カバー無し− Ｌ ＡＣサーボモータ Ｌ ＭＳＭＥ０８２Ｇ１Ａ 15 Ｌａ 15112 Ｌａ 15 112 （Ｐａｎａｓｏｎｉｃ） ６－Ｍ８深さ１６ 120 ８－Ｍ８深さ１６ 125 125 105 125 125 ＡＣサーボモータ 34 55 （ワーク取付用） 55 （ワーク取付用） ＭＳＭＥ０８２Ｇ１Ａ （Ｐａｎａｓｏｎｉｃ） ストローク１２００～ ストローク１２００～ １６００の場合の形状 １６００の場合の形状 （２点鎖線） （２点鎖線） ２×Ｎ－φ９キリ通し 50センサードグ幅 ２×Ｎ－φ９キリ通し 50センサードグ幅 250 φ１４ザグリ深さ９ 2.5 250 19 φ１４ザグリ深さ９ 2.5 Ｐ （Ｎ－１）×２５０ Ｐ （ステージ取付用） Ｐ （Ｎ－１）×２５０ Ｐ （ステージ取付用） Ｏ．Ｔ．２センサ ＰＯＲＧセンサ Ｏ．Ｔ．１センサ Ｏ．Ｔ．２センサ ＰＯＲＧセンサ Ｏ．Ｔ．１センサ ＥＥ－ＳＸ４７４（オムロン） ＥＥ－ＳＸ４７４（オムロン） ＥＥ－ＳＸ４７４（オムロン） 有効ストローク 有効ストローク ３００～１０００ １２００～１６００ ＥＥ－ＳＸ４７４（オムロン） ＥＥ－ＳＸ４７４（オムロン） ＥＥ－ＳＸ４７４（オムロン） 40 １／２有効ストローク 300 １／２有効ストローク 40 （トップカバー形状が 40 １／２有効ストローク 300 １／２有効ストローク 40 異なります） 有効 最高 加減速 水平 主要寸法 ボール センサ 質量 有効 最高 加減速 水平 主要寸法 ボール センサ 質量 ストロ−ク 速度 時間 可搬 L La P N ねじ イナーシャ ストロークエンド ストロ−ク 速度 時間 可搬 L La P N ねじ イナーシャ ストロークエンド 呼び番号 質量 リード モータ ガイド （O.T.1,O.T.2） 原点 呼び番号 質量 リード モータ ガイド （O.T.1,O.T.2） 原点 Vmax.（0 〜 Vmax.） （径） 原点前 （ORG） Vmax.（0 〜 Vmax.） （径） 原点前 （ORG） mm mm/sec sec kg mm mm mm mm ×10−⁴kg・m² （PORG） kg mm mm/sec sec kg mm mm mm mm ×10−⁴kg・m² （PORG） kg NX3L 300-AC/C 300 822 680 90 3 1.84×10−⁴ 46 NX3L 300-AC 300 807 680 90 NX3L 400-AC/C 400 922 780 140 2.14×10−⁴ 50 3 1.75×10−⁴ 37 NX3L 400-AC 400 907 780 140 2.05×10−⁴ 40 NX3L 500-AC/C 500 1,022 880 65 4 2.44×10−⁴ 54 NX3L 500-AC 500 1,007 880 65 4 2.34×10−⁴ 43 ポ NX3L 600-AC/C 600 1,122 980 115 2.74×10−⁴ 57 NX3L 600-AC 600 1,107 980 115 2.64×10−⁴ 46 ジ シ NX3L 700-AC/C 700 400 1,222 1,080 40 5 10 3.05×10−⁴ 高剛性 61 NX3L 700-AC 700 1,207 1,080 40 5 10 2.94×10−⁴ 高剛性 50 ョ NX3L 800-AC/C 800 0.4 100 1,322 1,180 90 3.35×10−⁴ 65 NX3L 800-AC 800 400 0.4 100 1,307 1,180 90 ニ NX3L 900-AC/C 900 1,422 1,280 140 （φ25） MSME082G1A リニアガイド フォトマイクロ エンコーダZ相 3.65×10−⁴ 呼び30 69 （φ25）3.24×10−⁴ MSME082G1A リニアガイド フォトマイクロ エンコーダZ相 53 NX3L 900-AC 900 1,407 1,280 140 3.54×10−⁴ 呼び30 56 ン グ NX3L 1000-AC/C 1,000 1,522 1,380 65 6 3.95×10−⁴ 73 NX3L1000-AC 1,000 1,507 1,380 65 6 3.84×10−⁴ 59 テ NX3L 1200-AC/C 1,200 1,722 1,580 40 ー 7 4.56×10−⁴ 81 NX3L1200-AC 1,200 1,707 1,580 40 7 4.44×10−⁴ 66 ブ NX3L 1400-AC/C 1,400 1,922 1,780 140 5.16×10−⁴ 88 NX3L1400-AC 1,400 1,907 1,780 140 5.04×10−⁴ 72 ル NX3L 1600-AC/C 1,600 300 2,122 1,980 115 8 5.77×10−⁴ 96 NX3L1600-AC 1,600 300 2,107 1,980 115 8 5.63×10−⁴ 78 イナーシャはボールねじ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。 イナーシャはボールねじ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。 水平可搬質量は加減速時間により変化します。 水平可搬質量は加減速時間により変化します。 ACサーボモータの電源はAC200V仕様のみとなります。 ACサーボモータの電源はAC200V仕様のみとなります。 H-22 H-23 340 3 □80 20 210 12 115 370 24 24 15 25 320 25 125 125 3 □80 5 210 12 100 320 15 320 335

POSITIONING TABLE NPT形 −標準形− N-取付穴 有効 最高 加減速 水平 主要寸法 ボール イナーシャ センサ 質量 O.T.1センサ ストローク 速度 時間 可搬 A B M D N- ねじ ストロークエンド O.T.2センサ PORG2センサ A PORG1センサ ORGセンサ 呼び番号 質量 取付穴 リード モータ ガイド （O.T.1,O.T.2） 原点 B 10 M センサーコネクタ Vmax. （0 〜 Vmax.） （径） 原点前 （ORG） D 300 300 D ※モーターコネクタ mm mm/sec sec kg mm mm mm mm mm ×10−4kg・m2 （PORG1, PORG2） kg 90 4-M8深さ２０ 150 20 20 NPT 300-5M 64.5 21K-M596 フォトマイクロ -AC 300 200 0.2 644.5 500 0.4 679 570 99 135 4-M8用 1.12 1.21 MSMF042L1A2 エンコーダZ相 44 NPT 400-5M 0 0.2 744.5 64.5 24 21K-M596 フォトマイクロ -AC 400 20 500 0.4 779 670 99 35 1. 1.34 MSMF042L1A2 エンコーダZ相 48 NPT 500-5M 844.5 64.5 21K-M596 フォトマイクロ -AC 500 200 0.2 500 0.4 879 770 99 85 6-M8用 1.36 1.46 MSMF042L1A2 エンコーダZ相 53 NPT 600-5M 0 0.2 944.5 64.5 1.48 21K-M596 高剛性 フォトマイクロ -AC 600 20 500 0.4 58 200 979 870 99 135 10 1.58 MSMF042L1A2 リニア エンコーダZ相 44.5 NPT 700-5M 0.2 1,044.5 64.5 （φ20） 1.61 21K-M596 ガイド フォトマイクロ フォトマイクロ -AC 700 200 500 0.4 1,079 970 99 35 1.70 MSMF042L1A2 呼び30 エンコーダZ相 63 NPT 800-5M 0.2 1,144.5 64.5 1.73 21K-M596 フォトマイクロ -AC 800 200 500 0.4 1,179 1,070 99 85 8-M8用 1.83 MSMF042L1A2 エンコーダZ相 68 NPT 900-5M 00 0.2 1,244.5 64.5 .85 21K-M596 フォトマイクロ 25 １/２Ｓ 220 １/２Ｓ 25 -AC 900 2 500 0.4 1,279 1,170 99 135 1 1.95 MSMF042L1A2 エンコーダZ相 72 NPT1000-5M 1,344.5 64.5 21K-M596 フォトマイクロ -AC 1,000 200 0.2 500 0.4 1,379 1,270 99 35 10-M8用 1.98 2.07 MSMF042L1A2 エンコーダZ相 77 イナーシャはボールネジ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。 水平可搬質量は加減速時間により変化します。 ※部モ－タ－コネクタはステッピングモ－タ－タイプに適用します ACサーボモータの電源はAC100V仕様も選択できます。 最小送り量 分解能 pluse/rev 1,000* 2,000 5,000 10,000 最小送り量 mm 0.01 0.005 0.002 0.001 ポ * 出荷時の設定 ジ 表記以外の設定も可能です。NBまでお問い合わせください。 シ ョ ニ ン グ テ ー ブ ル H-24 H-25 160 5 40 40 10 220 157 200 220

POSITIONING TABLE NPT形 −カバータイプ− N-取付穴 有効 最高 加減速 水平 主要寸法 ボール イナーシャ センサ 質量 O.T.1センサ ストローク 速度 時間 可搬 A B M D N- ねじ ストロークエンド O.T.2センサ PORG2センサ A PORG1センサ ORGセンサ 呼び番号 質量 取付穴 リード モータ ガイド （O.T.1,O.T.2） 原点 10 B 10 M センサーコネクタ Vmax. （0 〜 Vmax.） （径） 原点前 （ORG） D 300 300 D ※モーターコネクタ 100 mm mm/sec sec kg mm mm mm mm mm ×10−4kg・m2 （PORG1, PORG2） kg 4-M8深さ２０ 150 75 30 20 NPT 300-5M/C 300 200 0.2 654.5 64.5 21K-M596 フォトマイクロ -AC/C 500 0.4 689 570 99 135 4-M8用 1.13 1.23 MSMF042L1A2 エンコーダZ相 49 NPT 400-5M/C 400 200 0.2 754.5 64.5 1.25 21K-M596 フォトマイクロ -AC/C 500 0.4 789 670 99 35 1.35 MSMF042L1A2 エンコーダZ相 54 NPT 500-5M/C 500 200 0.2 854.5 64.5 21K-M596 フォトマイクロ -AC/C 500 0.4 889 770 99 85 6-M8用 1.37 1.47 MSMF042L1A2 エンコーダZ相 59 NPT 600-5M/C 600 200 0.2 954.5 64.5 50 21K-M596 高剛性 フォトマイクロ -AC/C 500 0.4 99 135 1. 10 1.59 MSMF042L1A2 リニア エンコーダZ相 64 NPT 700-5M/C 200 0 989 870 64.5 20） 1.62 21K-M596 ガイド フォトマイクロ フォトマイクロ 44.5 -AC/C 700 0.2 20 1,054.5 500 0.4 1,089 970 99 35 （φ 1.72 MSMF042L1A2 呼び30 エンコーダZ相 69 NPT 800-5M/C 800 200 0.2 1,154.5 64.5 21K-M596 フォトマイクロ -AC/C 500 0.4 1,189 1,070 99 85 8-M8用 1.74 1.84 MSMF042L1A2 エンコーダZ相 74 25 １/２Ｓ 220 １/２Ｓ 25 NPT 900-5M/C 900 200 0.2 1,254.5 64.5 6 21K-M596 フォトマイクロ -AC/C 500 0.4 1,289 1,170 99 135 1.8 1.96 MSMF042L1A2 エンコーダZ相 79 NPT1000-5M/C 1,000 200 0.2 1,354.5 64.5 21K-M596 フォトマイクロ -AC/C 500 0.4 1,389 1,270 99 35 10-M8用 1.99 2.08 MSMF042L1A2 エンコーダZ相 85 イナーシャはボールねじ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。 水平可搬質量は加減速時間により変化します。 ※部モ－タ－コネクタはステッピングモ－タ－タイプに適用します ACサーボモータの電源はAC100V仕様も選択できます。 最小送り量 分解能 pluse/rev 1,000* 2,000 5,000 10,000 最小送り量 mm 0.01 0.005 0.002 0.001 ポ * 出荷時の設定 ジ 表記以外の設定も可能です。NBまでお問い合わせください。 シ ョ ニ ン グ テ ー ブ ル H-26 H-27 160 5 40 40 10 20 137 20 200 220 2.5 223.2 2.5

POSITIONING TABLE NPT形 −ジャバラタイプ− N-取付穴 有効 最高 加減速 水平 主要寸法 ボール イナーシャ センサ 質量 PORG2センサ O.T.1センサ O.T.2センサ ストローク 速度 時間 可搬 A B M D E N- ねじ ストロークエンド A PORG1センサ ORGセンサ センサーコネクタ 呼び番号 質量 取付穴 リード モータ ガイド （O.T.1,O.T.2） 原点 10 B 10 M ※モーターコネクタ Vmax. （0 〜 Vmax.） （径） 原点前 （ORG） D 300 300 D 90 mm mm/sec sec kg mm mm mm mm mm mm ×10−4kg・m2 （PORG1, PORG2） kg 4-M8深さ２０ 150 75 20 20 NPT 300-5M/J 300 200 0.2 704.5 64.5 3 21K-M596 フォトマイクロ -AC/J 500 0.4 739 620 99 10 50 1.1 1.28 MSMF042L1A2 エンコーダZ相 51 NPT 400-5M/J 400 200 0.2 824.5 64.5 21K-M596 フォトマイクロ -AC/J 500 0.4 859 740 99 70 60 6-M8用 1.25 1.40 MSMF042L1A2 エンコーダZ相 57 NPT 500-5M/J 500 200 0.2 944.5 64.5 21K-M596 フォトマイクロ -AC/J 500 0.4 979 860 99 130 70 1.38 1.52 MSMF042L1A2 エンコーダZ相 63 NPT 600-5M/J 600 200 0.2 1,064.5 64.5 21K-M596 高剛性 フォトマイクロ -AC/J 500 0.4 1,099 980 99 40 80 1.50 10 MSMF042L1A2 リニア エンコーダZ相 68 44.5 NPT 700-5M/J 700 200 0.2 200 1,184.5 フォトマイクロ -AC/J 500 0.4 1,219 1,100 5 8-M8用 1.65 64. 1.62 21K-M596 ガイド フォトマイクロ 99 100 90 （φ20） 1.77 MSMF042L1A2 呼び30 エンコーダZ相 74 NPT 800-5M/J 800 200 0.2 1,304.5 64.5 21K-M596 フォトマイクロ -AC/J 500 0.4 1,339 1,220 99 10 100 1.74 1.89 MSMF042L1A2 エンコーダZ相 80 NPT 900-5M/J 900 200 0.2 1,424.5 64.5 21K-M596 フォトマイクロ E 1/2S 220 1/2S E -AC/J 500 0.4 1,459 1,340 99 70 110 10-M8用 1.87 2.01 MSMF042L1A2 エンコーダZ相 86 NPT1000-5M/J 1,000 200 0.2 1,544.5 64.5 21K-M596 フォトマイクロ -AC/J 500 0.4 1,579 1,460 99 130 120 1.99 2.14 MSMF042L1A2 エンコーダZ相 91 イナーシャはボールネジ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。 水平可搬質量は加減速時間により変化します。 ※部モ－タ－コネクタはステッピングモ－タ－タイプに適用します ACサーボモータの電源はAC100V仕様も選択できます。 最小送り量 分解能 pluse/rev 1,000* 2,000 5,000 10,000 最小送り量 mm 0.01 0.005 0.002 0.001 ポ * 出荷時の設定 ジ 表記以外の設定も可能です。NBまでお問い合わせください。 シ ョ ニ ン グ テ ー ブ ル H-28 H-29 160 5 40 40 17.5 235 220（ワーク取付面） 157 200 220

POSITIONING TABLE NSL形 ４-Ｍ6深さ１２ N-取付穴 有効 最高 加減速 水平 主要寸法 ボール イナーシャ センサ 質量 A ストローク 速度 時間 可搬 A B M D N- ねじ ストロークエンド B 10 M 82 呼び番号 質量 取付穴 リード モータ ガイド （O.T.1,O.T.2） 原点 D 200 200 D 43 120 16 16 Vmax. （0 〜 Vmax.） （径） 原点前 （ORG） mm mm/sec sec kg mm mm mm mm mm ×10−4kg・m2 （PORG1） kg NSL 50-5M 50 200 0.2 338.5 4K-M564 フォトマイクロ -AC 500 0.4 346.2 280 48.5 56.2 40 0.197 0.190 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 9.0 NSL100-5M 100 200 0.2 388.5 4K-M564 フォトマイクロ -AC 500 0.4 396.2 330 48.5 56.2 65 4-M6用 0.216 0.210 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 10.0 NSL150-5M 150 200 0.2 438.5 4K-M564 フォトマイクロ 10.5 -AC 500 0.4 446.2 380 48.5 56.2 90 0.236 0.229 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 11　.0 NSL200-5M 200 200 0.2 488.5 4K-M564 フォトマイクロ モーターコネクタ -AC 500 0.4 496.2 430 48.5 56.2 15 0.255 0.248 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 11.5 NSL250-5M 250 200 0.2 538.5 4K-M564 フォトマイクロ -AC 500 0.4 546.2 480 48.5 56.2 40 0.275 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 12.5 O.T.2センサ センサ－コネクタ 32 2 O.T.1センサ ORGセンサ NSL300-5M 200 6-M6用 0.268 4K-M564 フォトマイクロ PORG1センサ -AC 300 0.2 588.5 500 0.4 596.2 530 48.5 56.2 65 0.294 0.287 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 13.5 NSL350-5M 350 200 0.2 4K-M564 10 1/2S 170 1/2S 50 -AC 500 50 638.5 10 0.4 646.2 580 48.5 56.2 90 0.313 （φ15） 0.307 MQMF012L1A2 CD20 フォトマイクロ フォトマイクロ エンコーダZ相 14.0 NSL400-5M 400 200 0.2 688.5 4K-M564 フォトマイクロ -AC 500 0.4 696.2 630 48.5 56.2 15 0.333 0.326 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 15.0 NSL450-5M 450 200 0.2 738.5 4K-M564 フォトマイクロ -AC 500 0.4 746.2 680 48.5 56.2 40 8-M6用 0.352 0.345 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 16.0 NSL500-5M 500 200 0.2 788.5 4K-M564 フォトマイクロ 16.5 -AC 500 0.4 796.2 730 48.5 56.2 65 0.372 0.365 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 17　.0 NSL600-5M 600 200 0.2 888.5 0.410 4K-M564 フォトマイクロ -AC 500 0.4 896.2 830 48.5 56.2 15 0.403 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 18.5 NSL700-5M 200 10-M6用 700 0.2 988.5 0.449 4K-M564 フォトマイクロ ポ -AC 500 0.4 996.2 930 48.5 56.2 65 0.442 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 20.0 ジ NSL800-5M 800 200 0.2 1,088.5 0.488 4K-M564 フォトマイクロ シ ョ -AC 500 0.4 1,096.2 1,030 48.5 56.2 15 12-M6用 0.481 MQMF012L1A2 エンコーダZ相 22.0 ニ ン イナーシャはボールネジ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。 グ 水平可搬質量は加減速時間により変化します。 テ ACサーボモータの電源はAC100V仕様も選択できます。 ー ブ ル 最小送り量 分解能 pluse/rev 1,000* 2,000 5,000 10,000 最小送り量 mm 0.01 0.005 0.002 0.001 * 出荷時の設定 表記以外の設定も可能です。NBまでお問い合わせください。 H-30 H-31 150 200 186 28 200

POSITIONING TABLE 技術資料 1.分解能 表H-1 　ドライバ励磁方式と分割数 3.モータ選定法 図H-10　ボールねじ駆動 　分解能とは1パルス当りのテーブル移動量（最小送り モータ形式 ドライバ 分割数 　特殊形状テーブル等でモータを選定する場合、以下の 量）のことをいい、ボールねじリードとモータ1回転当り 励磁方式 パルス/rev 資料を参考にしてください。 の分割数によって求めます。 2相励磁 200 　図H-10にボールねじ駆動の代表例を示します。 F2 2相ステッピングモータ 1〜2相励磁 400 ここで W1 ：ワーク質量（kg） W1 モータ W2 ：テーブル可動部質量（kg） F1 ⊿ℓ= P W2 f ………………………………（1） r 4相励磁 500 5相ステッピングモータ F1 ：テーブル進行方向に逆って押す力（N） 1〜2相励磁 1,000 F2 ：テーブル移動時にかかる力（N） ⊿ℓ：分解能（mm）P：ボールねじリード（mm） D ：ボールねじ代表径（mm） リードP fr：モータ 1 回転当りの分割数（パルス /rev） 表H-2 　ドライバてい数と分割数（例） ℓ ：ボールねじ全長（mm） ℓ エンコーダ分割数 ドライバ 分割数 P ：ボールねじリード（mm） 　分割数モータ形式とドライバの組合わせによって異な パルス/rev てい倍 パルス/rev となります。 ります。 ●駆動方式 ●ステッピングモータ 1てい倍 1,000 　ポジショニングテーブルでは、イナーシャ（慣性力）が 図H-11　三角駆動 　ステッピングモータの場合、分割数はドライバの励磁 1,000 2てい倍 2,000 働き、瞬時に速度を上げることができません。そのため加 方式によって決まります。（表H-1） 4てい倍 4,000 速時間を考えた駆動方式が使用されます。駆動方式に ●サーボモータ 1てい倍 2,500 は、距離移動によって三角移動、台形移動があります。 Vmax 　サーボモータの場合、分割数はエンコーダ分割数とド ①三角駆動（図H-11） V ライバの電気てい倍と分周比（電子ギア）によって決まり 2,500 2てい倍 5,000 　三角駆動は短い距離の移動に使用されます。 ます。（表H-2） 4てい倍 10,000 2.最高速度と最高周波数 S＝Vta＝ 1 2 Vtc ………………………（4） 　最高速度は、ボールねじリードとモータ回転数によっ て求めます。 　最高周波数は最高速度と分解能によって求めます。 S：移動距離（mm）V：移動速度（mm/sec） ta ta ta：加減速時間（sec）tc：位置決め時間（sec） tc Vmax＝ PN 60 ……………………………（2） fmax＝Vmax ②台形駆動（図H-12） ⊿ℓ ……………………………（3） 　台形駆動は長い距離の移動に使用されます。 Vmax：最高速度（mm/sec）N：モータ回転数（rpm） fmax：最高周波数（PPS）⊿ℓ：分解能（mm） P：ボールねじリード（mm） Vmax：最高速度（mm/sec） S＝V（ta＋tb）＝V（tc−ta）………………（5） 図H-12　台形駆動 　したがって最高速度はパルスコントローラ、ドライバ等 の最高周波数に制限されることがあります。 S：移動距離（mm）V：移動速度（mm/sec） Vmax ta：加減速時間（sec）tb：定速運転時間（sec） 表H-3 　ボールねじリードと分解能及び最高速度 tc：位置決め時間（sec） V 最高 ボールねじリード mm ポ ●角速度と角加速度 ジ 分割数 周波数 2 4 5 10 20 使用モータ ①角速度 シ 分解能 最高速度 分解能 最高速度 分解能 最高速度 分解能 最高速度 分解能 最高速度 ョ 　角速度は次式により求めます。 ニ パルス/rev Kpps μm mm/sec μm mm/sec μm mm/sec μm mm/sec μm mm/sec ン グ 200 6 10 20 25 50 100 2相 60 120 150 300 600 ω= 2πN ＝ 2πV テ 60 P ……………………（6） ta tb ta ー ステッピング 400 12 5 10 12.5 25 50 ブ モータ 500 20 4 8 10 20 40 t ル c 5相 80 160 200 400 800 ω：角速度（rad/sec）N：モータ回転数（rpm） 1,000 40 2 4 5 10 20 V：移動速度（mm/sec）P：ボールねじリード（mm） 500 25 4 8 10 20 40 ②角加速度 1,000 50 2 100 4 200 5 250 10 500 20 1,000 サーボモータ 　角加速度は次式により求めます。 2,000 100 1 2 2.5 5 10 4,000 100 0.5 50 1 100 1.25 125 2.5 250 5 500 dω dt ＝ω1−ω0 ⊿ℓ ……………………（7） ─dω d─t ：角加速度（rad/sec2）ω0：速度変化前の角速度（rad/sec） ω1：速度変化後の角速度（rad/sec） ⊿t：速度変化に要する時間（sec） H-32 H-33 φD

POSITIONING TABLE ●イナーシャ ●モータ起動トルク 図H-13　速度−トルク曲線 　イナーシャはSI単位系ではkg・m2で表わされ、重力単 ③負荷イナーシャ（JR）とモーターロータのイナーシャ（JM） 　モータ起動トルクと所要トルクは次式の関係になります。 位系ではkgf・cm・sec2で表わされます。また重量と代 　テーブルにはカップリング、エンコーダ、タコジェネ スルーイングトルク特性曲線 表系を用いたGD2値もイナーシャの代用として使用され レータ等の運動部品が取付きます。テーブル仕様にそっ ます。それぞれの値は次式で変換できます。 て全ての運動部分のイナーシャを求めます。求めたイ TM≧κT ………………………………（17） ト ナーシャの総和（モーターロータのイナーシャを除く）が ル 2 負荷イナーシャとなります。 ク J＝g・l×10−4＝ GD ータ起動トルク（N・m） κ：安全率 　 4 ………………（8） TM：モ T：所要トルク（N・m） T TM （N・m） J：SI単位系のイナーシャ（kg・m2） JR=JA−JM=JT＋JB＋JN ……………（11） 　モータ起動トルクは、使用するモータとドライバの組 I：重力単位系のイナーシャ（kgf・cm・sec2） 合わせで異なります。 g：重力加速度（980cm/sec2） GD2：GD2値（kg・m2） JR：負荷イナーシャ（kg・m2） ①ステッピングモータ ①直線運動部のイナーシャ（J JA：テーブルのモータ軸換算イナーシャ（kg・m2） 　ステッピングモータの場合、モータとドライバの組合 f T） JM：モーターロータのイナーシャ（kg・m2） 　直線運動部のイナーシャはワークの質量とテーブル可 わせの特性曲線（トルクカーブ）により求めます。モータ JT：直線運動部のイナーシャ（kg・m2） 動部の質量で求めます。 JB：ボールねじのイナーシャ（kg・m2） 起動トルクは、モータの周波数fとスルーイングトルクの モータ周波数（f pps） JN：その他の運動部分のイナーシャ（kg・m2） 曲線との交点のTMとなります。 ②ACサーボモータ JT＝（W1＋W ⎧P×10−3⎫2 2）・ 定 ⎩ 2π ⎭……………（9） ④モータの仮選 　ACサーボモータの場合は、モータの最大（ピーク）ト 　負荷イナーシャとモーターロータのイナーシャの比率 ルクがTMとなります。 でモータのサイズの仮選定を行います。最適な比につい JT：直線運動部のイナーシャ（kg・m2） W1：ワーク質量（kg） ては各モータの資料を参照してください。 W2：テーブル可動部質量（kg） P：ボールねじリード（mm） ●実効トルク 図H-14　実効トルク 　サーボモータを使用する場合、実効トルクを算出し、 ②ボールねじのイナーシャ（JB） 定格連続領域にあることを確認する必要があります。 　ボールねじのイナーシャは次式で求めます。 JR≦KJM ………………………………（12） 12t1+T22t2+T32t3…+Ti2ti RM＝ T +t2+t3…+ti 速 J WB・D2 T JM：モーターロータのイナーシャ（kg・m2 −6＝πD4 ） t1 B＝ 8 ×10 32 ・ρ・ℓ×10−6 …（10） JR：負荷イナーシャ（kg・m2）　K：イナーシャ比 ＝ ΣTi2 度 ti …………………（18） 　 Σt ……… i V JB：ボールねじのイナーシャ（kg・m2） （mm/sec） W ：ボールねじの質量（kg） D：ボールねじの代表径（mm） TRM：実効トルク（N・m） B ρ：ボールねじの密度（kg/mm3） ℓ：ボールねじの全長（mm） ここで t1 t3 t4 t6 t8 ●所要トルク（T） t2 t5 t7 t9 　モータの所要トルクには、加速トルク、摩擦トルク、負 ②摩擦トルク（Tμ） TRM＜TR ………………………………（19） T1 荷トルク、ボールねじ起動トルクがあります。 　摩擦トルクは次式で求めます。 ト T5 T7 ル ポ TR：定格トルク（N・m） ク T ジ T=Tα+Tμ+TL+TB ………………（13） Tμ=［9.8（W1+W P 2）+F2］μ 3 となります。 　 2 …… T6 T8 シ 2πη×10− ……（15） T ョ （N・m） ニ T4 ン T：所要トルク（N・m） Tα：加速トルク（N・m） Tμ：摩擦トルク（N・m） W1：ワーク質量（kg） T グ 9 Tμ：摩擦トルク（N・m） TL：負荷トルク（N・m） W2：テーブル可動部質量（kg） T3 テ ー TB：ボールねじ起動（N・m） F2：テーブル移動時にかかる力（N） μ：動摩擦係数　 時間（t sec） ブ P：ボールねじリード（mm） η：ボールねじ効率 ル ①加速トルク（Tα） 　加速トルクは次式で求めます。 ③負荷トルク（TL） 　負荷トルクは次式で求めます。 T dω α=J dω A dt =（JR+JM）dt …………（14） T F1P L= −3 2πη×10 ……………………（16） Tα：加速トルク（N・m） JA：テーブル全体のイナーシャ（kg・m2） TL：負荷トルク（N・m）　F1：外力（N） JR：負荷イナーシャ（kg・m2） P：ボールねじリード（mm）η：ボールねじ効率 JM：モーターロータのイナーシャ（kg・m2） ─dω ④ボールねじ起動トルク（TB） d─t ：角加速度（rad/sec2） 　ボールねじを起動するために必要なトルクです。 H-34 H-35

POSITIONING TABLE NB ポジショニングテーブル制御システム パルスコントローラ仕様 ●特長 1） ステッピングモータ使用の場合、オープンループ制御の 3） パルスコントローラはインデックス運転、プログラム運転、 ため装置構成が簡単です。ACサーボモータ使用の場 PCからのシリアル通信運転等多彩な運転モードが選択 合、セミクローズドループ制御のため、より確実な制御と できます。またプログラム運転では簡易的なシーケンスプ なり、また高速対応が可能です。 ログラムも作成できます。（ステップ数64） 2） パルスコントローラ及びドライバは超小型であり、省スペー 4） 外部入力は、有接点・無接点入力どちらでも可能です。 ス化が図れます。 呼び番号 MR220AU 制御軸数 2軸 電源 24V 動作温度範囲 0〜45℃(結露しないこと) 外形寸法 高さ90mm×幅36mm×奥行き64mm インデックスパルス登録数 各軸64 インデックスパルス設定範囲 -8,388,608〜8,388,607(相対値/絶対値指定可能) ドライブ速度登録数 4 ドライブ速度設定範囲 1pps〜4Mpps（1〜8,000×倍率1〜500) フォトマイクロセンサ 加減速カーブ 定速、直線加減速（台形） ・原点出し ・スキャンドライブ 動作モード ・連続ドライブ Y X ・インデックスドライブ ・プログラムドライブ ・記憶媒体 EEPROM ・ステップ数 64 プログラム機能 ・命令数 12命令 ・パワーオンプログラム自動スタート機能有り ポ ・パラレル　I/F ジ シ ・RS-232C ョ 制御インターフェース ニ ・USB(USB規格V1.1に準拠) ン グ (PLC、PC、リモートボックスと通信可能) テ パルスコントローラ ドライバ ー 汎用入力 最大5点(動作モードにより異なります) ブ ル 汎用出力 2点(各軸1点) 操作プログラムの動作環境 IBM AT互換パソコン　OS：Windouws10,8.1,7,Vista,XP ※オプションのリモートボックスでも操作可能です。 オプション 　リモートボックス（PCに接続せずに操作、プログラムの作成が可能になります） 呼び番号 MR200RB 外径寸法 高さ62mm×幅150mm×奥行き23mm ・動作モード、パラメータ、プログラムの書き込み、ドライブ操作が可能 仕様 ・現在位置書き込み(ティーチング)可能 ※注　仕様は予告なく変更する事がありますのでご了承ください。 H-36 H-37

POSITIONING TABLE 5相ステッピングモータ・ドライバ仕様 ACサーボモータ・ドライバ仕様 【特長】 【特長】 1. AC100 〜 220V電源入力の5相ステッピングモータ用マイクロステップドラ 1. 高機能オートチューニングを搭載し、適応フィルタ機能や各種ゲインを自動で イバです。 設定、調整できます。 2. 16種類のステップ角を設定できます。最大分割数は250分割125,000パル 2. 小型・軽量です。 ス/回転が可能です。 3. 高速・高応答です。 4. 位置、速度、トルク及び位置、速度、トルクのうちの2つの組合せから制御モー 3. 低振動機能によりフルステップ、ハーフステップ駆動時がさらに低振動になり ドを選択できます。 ます。 また、リニアスケールを用いたフルクローズ制御も可能です。（出荷時は位置制御） 4. 切替信号で２種類のマイクロステップ角が自由に使い分けできます。 5. 前面のデジタルパネルで制御状態をリアルタイムに表示します。また、操作 5. コネクタタイプのねじ式端子台で保守が容易です。 キーにより各種設定も容易に行えます。 6. 専用通信ソフト“PANATERM”をインストールしたパソコンと接続すること により、モータ動作のモニタリングや設定が可能です。 7. ダイナミックブレーキを内蔵しています。 適用テーブル NCT50〜250 NCT300･NBL･NSL NPT 適用テーブル NCT NBL･NSL NPT モータ分割数標準出荷時設定 1,000パルス/rev ※1 モータ分割数標準出荷時設定 ※1 1,000パルス/rev 1,000パルス/rev 1,000パルス/rev 型名 3K-S545 4K-M564 21K-M596 型名 MSMF012L1A2 MQMF012L1A2 MSMF042L1A2 モ ー 電流（A/相） 0.75 1.4 1.4 定格出力（W） 100 100 400 タ ホールディングトルク（N･m） 0.24 0.44 2.06 定格トルク（N･m） 0.32 0.32 1.27 仕 様 ローターイナーシャ（×10−4kg･m2） 0.068 0.175 0.90 モ 最大トルク（N･m） 0.95 1.11 3.82 質量（kg） 0.31 0.5 1.8 ー 定格回転数（rpm） 3,000 3,000 3,000 タ 型名 KR-A535M 仕 最大回転数（rpm） 6,000 6,500 6,000 励磁方式 マイクロステップ 様 ローターイナーシャ（×10−4kg･m2） 0.048 0.15 0.27 マイクロステップ分割数 1、2、4、5、8、10、16、20、25、40、50、80、100、125、200、250 ロータ慣性モーメントに対する推奨負荷慣性モーメント比 30倍 20倍 30倍 電源入力 AC100V〜220V 3.5A ロータリエンコーダー 23ビットエンコーダ 23ビットエンコーダ 23ビットエンコーダ ド 入 入力形態 正転パルス＋逆転パルスまたは方向指令信号＋パルス 質量（kg） 0.47 0.54 1.2 ラ イ 力 電圧 H＝4〜8V　L＝0〜0.5V 型名 MADLT05SF MADLT05SF MBDLT25SF バ パ ル 最高パルス周波数 500kpps 仕 制御方式 IGBT PWM方式　正弦波駆動 様 ス 内部抵抗 270Ω 電源入力 単相/三相 200V〜240V（100V仕様も御用意できます。※2） 分割数選択入力、モータ励磁OFF入力 入 入力形態 正転パルス+逆転パルス、方向指令信号+パルス、A相+B相 入出力信号 力 原点励磁出力 パ 入力方式 ラインドライバまたはオープンコレクタ 位 ル 置 オートカレントダウン 27〜90％（標準設定値　50％） ス 最高パルス周波数 8Mpps（オープンコレクタ使用時は500kpps） 制 使用温度、湿度 0〜40℃　85％RH以下（結露なきこと） ド ロータリーエンコーダ分解能 223 パルス/rev（8,388,608 パルス/rev相当） 御 ポ ラ 時 株式会社テクノドライブ製 ジ イ の シ ※1：ドライバはNBにて初期設定を変更して出荷します。株式会社テクノドライブ様の出荷設定と異なる箇所があります。 バ 入力信号 偏差カウンタクリア、指令パルス禁止入力、制振制御切替 指令分周逓倍切替、トルクリミット切替、制御モード切替 仕 ョ 仕 様 ニ 様 位置決め完了、位置指令有無出力 ン 出力信号 グ サーボアラーム出力、サーボレディ出力、ブレーキ解除出力など テ ー ブ エンコーダーフィードバック出力 A･B相：ラインドライバ出力 ル Z相：ラインドライバ出力、オープンコレクタ出力 保護機能 過電圧、不足電圧、過速度、過電流、オーバーロード、 オーバーヒート、過負荷、エンコーダ異常など 使用温度、湿度 0〜55℃　20〜85%RH以下（結露なきこと） パナソニック株式会社製 ※1：ドライバはNBにて初期設定を変更して出荷します。パナソニック株式会社様の出荷設定と異なる箇所があります。 ※2：100V仕様の場合は、モータ及びドライバ型名が異なります。 H-38 H-39