小型真空ポンプ【ドライ真空ポンプ・油回転真空ポンプ・排気装置】

No. VP-1601 SMALL VACUUM PUMPS CATALOG 小 型 真 空 ポ ン プ カ タ ロ グ アルバック機工株式会社 www.ulvac-kiko.com

C O N T E N T S ■ドライ真空ポンプ ダイアフラム型ドライ真空ポンプ ● DAP・DA Series DAP-6D・DAP-12S・DAP-9D-DC24・DAP-18S-DC24・DA-15D・DA-30S ‥‥ 7 ● DA・DAT Series DA-30D・DA-60S・DAT-50D・DAT-100S ‥‥‥‥ 8 ● DA Series DA-20D・DA-40S・DA-41D・DA-81S ‥‥‥‥‥‥ 9 DA-60D・DA-120S・DA-121D・DA-241S ‥‥‥‥10 ● DAL Series DAL-181D・DAL-361S ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥11 ● DAP Series DAP-15・DAP-30 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥12 ● DAU・MD Series DAU-20・DAU-100・MD4UNT ‥‥‥‥‥‥‥‥‥13 ● DTU・MD-C Series DTU-20・MD4UCNT ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥14 ● DTC Series DTC-22・DTC-41・DTC-60・DTC-120 ‥‥‥‥‥‥15 揺動ピストン型ドライ真空ポンプ ● DOP Series DOP-40D・DOP-80S・DOP-80SP・DOP-120S ‥‥16 DOP-181SA・DOP-301SB・DOP-400SB・DOP-420SA ‥17 回転翼型ドライ真空ポンプ ● DSB Series DSB-151・DSB-251・DSB-451・DSB-601 ‥‥‥‥18 スクロール型ドライ真空ポンプ ● DIS Series DIS-90・DIS-251・DIS-501 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥19 ● DISL Series DISL-101・DISL-503 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥20 多段ルーツ型ドライ真空ポンプ ● DVR・RDA Series DVR-280・DVR-500・RDA-280H・RDA-500H ‥‥21 ■油回転真空ポンプ 油回転真空ポンプ ● G Series G-25SA・G-50SA・G-101S ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥22 G-5DA・G-10DA・G-20DA・G-50DA・G-101D ‥‥23 ● GHD・GLS・GLD Series GHD-031A・GHD-100A・GLS-051・GLD-051 ‥‥24 ● GLD Series GLD-040・GLD-137AA・GLD-137CC ‥‥‥‥‥‥25 GLD-202AA・GLD-202BB・GLD-280A ‥‥‥‥‥26 ● GCD Series GCD-051X・GCD-136X・GCD-201X ‥‥‥‥‥‥‥27 メカニカルブースタポンプ ● MBS Series MBS-052 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥28 小型オイルフィルトレーションシステム ● UFO・UFW Series UFO-003・UFW-003 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥28 ■排気装置 小型高真空排気装置 ● VPC Series VPC-051・VPC-051A・VPC-250F ‥‥‥‥‥‥‥‥29 ● DEPOX Series VFR-200M/X・VWR-400M/X・VTR-350M/X・VTS-350M/X ‥‥30 ターボ分子ポンプ排気装置 ● VPT Series VPT-060 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥31 ポータブルアスピレーター ● MDA Series MDA-015 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥31 メカニカルブースターポンプ排気装置 ● VM Series VMR-050・VMD-030 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥32 ■オプショナルパーツ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥33 ■外観図‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥37 型式 1段型、2段型の区分 ドライ真空ポンプ ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 　ド Ｓは1段型、Ｄは2段型を示します。 • DAP-6D • DAP-12S ラ カタログの DAP·DA • DAP-9D-DC24 イSeries DA-30S• DAP-18S-DC24 真• DA-15D • DA-30S 空ポ ン 見方 特　　　　長 プ●豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプの ●２段排気方式は、１段排気方式より低い圧力（良い真空） 実効排気速度　※数値は目安です。 　スタンダードタイプ ●自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計 ●接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ ●大気圧からの作動が可能 表記の値は50Hzにおける実効排気速度を示 ●用途に合わせて選べる豊富なラインナップ ●シンプル構造で、メンテナンスが容易 ●１段排気方式は、２段排気方式より大きい排気速度 します。60Hz の場合は約1.2倍の能力が得 られます。（他社の場合、排気速度を設計排 気速度で示している例がありますが、当社 では一部の機種を除き実効排気速度を採用 DAP-6D DAP-12S DAP-9D-DC24 DAP-18S-DC24 DA-15D DA-30S しています） 仕　　様 大気圧の気体を吸入した場合の実効排気 型　　式 DAP-6D DAP-12S DAP-9D-DC24 ※3 DAP-18S-DC24※3 DA-15D DA-30S Unit 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz － － 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 到達圧力とはポンプの真空をつくる最大の能力で、この圧力に 速度を示します。他のメーカによっては 実効排気速度 L/min 6 7 12 14 9 18 12 15 24 30 到達圧力※1 Pa（kPa）6.65×10（3 －94.7）24.0×10（3 －77.3）6.65×10（3 －94.7）24.0×10（3 －77.3）6.65×10（3 －94.7）26.6×10（3 －74.7） 達するとポンプの排気速度は0となります。 設計排気速度標示の場合があり、その場 単相、100V、10W、4P 単相、100V、10W、4P ブラシレスDCモータ、14W、4P ブラシレスDCモータ、14W、4P 単相、100V、39/43W、4P 単相、100V、39/43W、4P使用電動機 コンデンサ運転 コンデンサ運転 24V 24V コンデンサ運転 コンデンサ運転 全負荷電流 A 0.5 0.5 1.3 1.4 0.79 0.82 0.79 0.82 合は1.2倍程度にすることによって換算で 質量 kg 1.9 1.9 1.75 1.75 3.9 3.9 吸・排気口径 ※2 ※2 ※2 ※2 電源コードを含むポンプの単体の質量です。 きます。 （メネジサイズ） mm (Rc 1/8) (Rc 1/8) (Rc 1/8) (Rc 1/8) O.D.φ9×I.D.φ5 O.D.φ9×I.D.φ5 使用雰囲気温度範囲 ℃ 0 ～ 40 0 ～ 40 0 ～ 40 0 ～ 40 7 ～ 40 7 ～ 40 ポンプはこの使用雰囲気温度範囲内でご使用ください。 ※一部の機種では設計排気速度を記載し 最大寸法 mm 91(W)×163(L)×100.6(H) 91(W)×163(L)×100.6(H) 83.5(W)×165(L)×123.8(H) 83.5(W)×165(L)×123.8(H) 132(W)×203(L)×182(H) 132(W)×203(L)×182(H) RoHS対応 ● ● ● ● ● ● ております。 ※1：到達圧力の（　）内はゲージ圧表示 ※2：吸気管および排気管は付属していません。 ※3：DAP-9D-DC24・DAP-18S-DC24は装置組込み用の製品です。 対応規格／電圧 排気速度曲線 使用しているモータの定格を示します。 未対応の場合があります。詳しくはお問い合わせください。 型　式 認証取得 CE自己宣言 DC24V 1φ100V 1φ115V 1φ200V 1φ220V 1φ230V （L／min） 50Hz30 カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧でご DAP-6D － － － ● － ○ ○（220-230V）DAP-12S － － － ● － ○ ○（220-230V） 25 希望の場合はご照会ください。別途お見 DAP-9D-DC24 TUV・cTUVus ● ● － － － － － DA-30SDAP-18S-DC24 TUV・cTUVus ● ● － － － － － 20 積いたします。 DA-15D － － － ● － ○ ○ － DAP-18S-DC24DA-30S － － － ● － ○ ○ － 15 ●：標準　　○：オプション対応　　－：対応不可 DA-15D 10 DAP-9D-DC24 ご注意 「DA-15D」「DA-30S」の中間圧力での連続運転はお避けください。 DAP-12S 標準の吸気管の外径を示します。これと 5 DAP-6D ・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会 異なるサイズをご希望の場合はお問い合 ください。0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 （kPa） 圧力 わせください。 Pressure ・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。 ■より詳細な情報はHPへ➡http://www.ulvac-kiko.com　　外観図はP.37に掲載しています。 　ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。 7 ・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。 2 | SMALL VACUUM PUMPS CATALOG 排気速度 Pumping Speed

■真空の圧力単位について 　新計量法による圧力の単位には、ＳＩに ■各圧力単位における大気圧の値 係る計量単位としてPa（パスカル）、N/m2 絶対圧表記 ゲージ圧表記 （ニュートン毎平方メートル）およびba（r バー 単位 読み方 ル）が用いられるほか、非ＳＩ単位として、 大気圧 真空圧力 真空圧力範囲 絶対真空 大気圧 範囲 絶対真空 生体内の圧力に Torr（トール）が、そして血 Pa（N/m2） パスカル 101325 ←→ 0 0 ←→ -101325 圧にmmHg（水銀柱ミリメートル）が認めら kPa キロパスカル 101.3 ←→ 0 0 ←→ -101.3 れています。 M Pa メガパスカル 0.101 ←→ 0 0 ←→ -0.101 　真空圧力の表記には、次の二通りの方法が bar バール 1.013 ←→ 0 0 ←→ -1.013 あります。真空業界では、絶対圧力を使用し mbar ミリバール 1013 ←→ 0 0 ←→ -1013 ますが、他の業界ではゲージ圧が多く使われ るので、資料やカタログをご覧になるときは、 Torr トール 760 ←→ 0 0 ←→ -760 どちらの方法で圧力が表記されているか確認 mmHg ミリメータ水銀柱 760 ←→ 0 0 ←→ -760 する必要があります。 mmH2O ミリメータ水柱 （Aq） （アクア） 10342 ←→ 0 0 ←→ -10342 １.　絶対真空を０（ゼロ）とした絶対圧 atm 気圧 1 ←→ 0 0 ←→ -1 　　単位の後にaまたはabsと記す ps（i bf/in2） ポンド毎平方インチ 14.696 ←→ 0 0 ←→ -14.696 　　（省略されることが多い） ２.　大気圧を０（ゼロ）としたゲージ圧 kgf/cm2 キログラム毎平方センチメートル 1.0332 ←→ 0 0 ←→ -1.0332 　　単位の後にGまたはGaugeと記す 　　（省略されることが多い） ■単位の比較 （絶対真空） 減圧（真空圧） （大気圧） 加圧 100 200 300 400 500 600 700 760 Torr abs トール （mmHg abs） （ミリメータHg） 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1 1.013 bar abs バール 0 10×103 20×103 30×103 40×103 50×103 60×103 70×103 80×103 90×103 100×103 101325 Pa abs パスカル 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 101.32 kPa abs キロパスカル 0 0.01 0.02 0.03 0.04 0.05 0.06 0.07 0.08 0.09 0.1 0.101 MPa abs メガパスカル 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1 1.1 1.2 2 キログラム毎平方kg/cm abs センチメートル Torr G -760 -700 -600 -500 -400 -300 -200 -100 0 トール （mmHg） （ミリメータHg） -1.01 -0.9 -0.8 -0.7 -0.6 -0.5 -0.4 -0.3 -0.2 -0.1 0 bar G バール -101325 -90×103 -80×103 -70×103 -60×103 -50×103 -40×103 -30×103 -20×103 -10×103 0 Pa G パスカル -101 -90 -80 -70 -60 -50 -40 -30 -20 -10 0 9.8 19.6 kPa G キロパスカル -101×10-3 -90×10-3 -80×10-3 -70×10-3 -60×10-3 -50×10-3 -40×10-3 -30×10-3 -20×10-3 -10×10-3 0 9.8×10-3 19.6×10-3 MPa G メガパスカル -1 -0.9 -0.8 -0.7 -0.6 -0.5 -0.4 -0.3 -0.2 -0.1 0 0.1 0.2 kg/cm2 G キログラム毎平方センチメートル ■単位換算表 From To Pa（N/m 2） Tor（r mmHg） atm mbar ps（i bf/in2） kgf/cm2 mH2O（15°） 絶　対1圧 P力a（N/m2） 11×1031 7.50× -3 -6 -2 -4 -5 -421×103 31×10310 41×103 9.5817××10130 61×103 1710×103 81×110.345×911×0103 101×11.0023×10 1.02×10 1 Tor（r mmHg） 133.32 1 1.316×10-3 1.33 1.93×10-2 1.359×10-3 1.36P×a 1a0b-2s0 11.3 21.3 31.3 41.3 51.3 61.3 71.3 81.3 91.3 101.3 1 atm 1.013×105 760 1 1.013×103 14.696 1.033 10kP.3a4 abs 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 1 mbar 100 0.750 9.87×10-4 1 1.45×10-2 1.02×10-3 10.206×10-3 1 ps（i bf/in2） 6.89×103 51.71 6.8×10-2 68.9 1 7.031×10-2 0.703 1 kgf/cm2 9.8×104 735.56 0.968 9.81×102 14.223 1 10 1 mH2O 9.8×103 73.49 9.68×10-2 98.0 1.421 0.1 1 3

■油回転真空ポンプに関する一般事項 　油回転真空ポンプは、 低真空から高真空（105Pa 〜 ・ガスバラストバルブ 1Pa）までの広い圧力範囲で使用することができます。 　水蒸気を吸引する場合の対策として、ガスバラスト 　ポンプ内部のすき間部分のシールと潤滑のために真 バルブがあります。水蒸気を吸引した場合、ポンプ内 空ポンプ油を使用しています。そのため、次のような の圧縮工程で圧縮され、凝縮して水になりオイルに混 注意が必要です。 入いたします。これを防ぐため、ガスバラストバルブ を開け、圧縮室に適量の空気をいれると、水蒸気は凝 ・真空ポンプ油 縮せずそのまま排出されます。ガスバラストバルブ開 　溶剤あるいは水蒸気など蒸気圧の高い物質が真空ポ のままでは到達圧力が低下いたしますので、通常は引 ンプ油に混入しますと、真空ポンプ油の蒸気圧が高く き始めの水蒸気の多い段階のみガスバラストバルブを なり、性能が低下するだけでなく、サビの発生、スラッ 開け、ある程度圧力が下がったら閉じておきます。 ジの発生などにより機械的な故障を起す原因になりま す。これらの物質を吸引する場合は、ポンプを保護す ・オイルミストについて るため凝縮器（コンデンサ）などを取付けるか、または 　低真空領域（大気圧〜100Pa）では排気される空気 頻繁に油を交換するようお願いいたします。 の量が多いため、空気流に同伴されて、わずかですが 　空気のみを排気する場合も、長期間使用致しますと ポンプ油がオイルミストとして排出されます。室内を 空気中の水分が少しずつポンプ油に混入し、到達圧力 汚すだけでなく、ポンプ油が減って本体に油の供給が が悪くなります。使用頻度、使用条件によって期間は できなくなります。これを防ぐためポンプの排気口に 一概にはいえませんが、真空ポンプ油は定期的に交換 オイルミストトラップ、オイルミストセパレータの取 する必要があります。また長期間ポンプを使用しない 付をおすすめいたします。（オイルミストトラップは、 場合はポンプ油を抜き取り、新しい油に入れ替えてお 33ページをご参照ください） くことをおすすめいたします。 ■油回転真空ポンプの排気原理 2段式（Two-stage) 　アルバック機工の油回転真空 排気弁 吸気口 油回転真空ポンプの排気状態 ポンプは、ゲーデ型真空ポンプ 排気弁 吸気口 で、動作原理は次の通りです。 ２段式はロータおよびシリンダ を２式そなえ、吸入圧縮排気を ２回くり返しますので、１段式よ 吸入 圧縮1 圧縮2 排気 り高真空が得られます。 ■ドライ真空ポンプの排気原理 ■スクロール型 ［1］ ［2］ ［3］ ［4］ ［5］ 　ドライ真空ポンプ ■多段ルーツ型ドライ真空ポンプ ① ロータがケーシング内部で互いに反対方向に回転 します。 V A A A V A ② 吸引ガスは、図[1]〜 [2]にいたる間に、葉端A・ B V AB V B B V B Bとケーシングの壁面で囲まれた容積 “V”で捕捉さ れ、[3]〜 [5]を経て吐出口に到達し、吐出されます。 ［１］ ［２］ ［３］ ［４］ ［５］ 4 | SMALL VACUUM PUMPS CATALOG V A A A V B V B B ［１］ ［２］ ［３］ A A V B V B ［４］ ［５］

①ポンプヘッド ⑤ダイアフラム押え板 は空気の流れを示す。 ②ケーシング ⑥排気弁 はコネクティングロッドの次の工程への動きを示す。 ③コネクティングロッド ⑦吸気弁 工程順序は　1　→ 2　→　3 → 4 　→ 1 ④ダイアフラム 1 吸気工程中間時 2 吸気工程最終時（下死点） ⑤ ⑥ ⑦ ① ⑦は引き込まれて 　開く。 ⑥が引きつけられて ⑦は完全に開く。 　閉じる。 ⑥が閉じたまま。 ③ ④ ② 3 排気工程中間時 4 排気工程最終時（上死点） ⑦は押されて 　閉じたまま。 ⑦は押されて閉じる。 ⑥は押されて ⑧が押されて開く。 　完全に開く。 ■ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 排気口 吸気口 吸入弁 吐出弁 ①ポンプヘッド ④ダイアフラム ⑦吸気弁 は空気の流れを示す。 ②ケーシング ⑤ダイアフラム押え板 はコネクティングロッドの次の工程への動きを示す。 ③コネクティングロッド ⑥排気弁 工程順序は　1　→ 2　→　3 → 4 　→ 1 1 吸気工程中間時 2 吸気工程最終時（下死点） 3 排気工程中間時 4 排気工程最終時（上死点） ダイアフラム ⑤ ⑥ ⑦ ① コネクティング ロッド ダイアフラム 回転軸中心 偏芯カム 回転軸中心 ③ ④ ② 排気口 吸気口 ⑦は引き込まれて開く。 ⑦は完全に開く。 ⑦は押されて閉じる。 ⑦は押されて閉じたまま。 ⑥が引きつけられて閉じる。 ⑥が閉じたまま。 ⑧が押されて開く。 ⑥は押されて完全に開く。 ■揺動ピストン型 ■回転翼型 ■メカニカルブースタポンプ ピ ローター シリンダー ス 　ドライ真空ポンプ 　ドライ真空ポンプ ト 　反対方向に回転するまゆ形ロー ン 吸入弁 ターを90°位相をずらせて取り付けま 吐出弁 吸気口 す。ローターはシリンダーと接触する排気口 ことなく気体輸送します。 A B 　この形式のポンプは、大気に放 シリンダー ピストン コネクティング 出する他の形式のポンプ（例えば油 ロッド パッキング シリンダー回転軸中心 回転真空ポンプなど）を補助ポンプと 偏芯カム ローター して使用し、高真空側に用います。 C 回 ベーン D 転 構造的に摺動部がなく、高速回転が可能で高排気速度のものがで 軸 Vタンク容積 きます。 P1初期圧力（L） （Pa） 中 心 t ＝ Sポンプ排気速度× 2.303 log 最終圧力排気時間 （L/min） P2（Pa） （min） ■ポンプ選定のしおりt0＝ t1 ＋ t2 ＋ t3　＋ …… 下記の計算式と機種別排気速度曲線により、使用目的によるポンプが選定できます。 Vタンク容積 初期圧力1．排気時間、排気速度の計算式 （L） P1（Pa）t ＝ t0＝ t1 ＋ t2 ＋ t3　＋ ……Sポンプ排気速度× 2.303 log排気時間 （L/min） P2最終圧力（Pa） （min） example 1 50リットルの容器を大気圧から10,000Paまで５分で減圧したい。どのポンプを選べばいいでしょうか？ （L／min） 50Hz 140 図の通り、10,000Pa で23L/min 以上 120 の排気速度が必要ですから、DA-30D V 50 P1 100,000DA-121D S＝ × 2.303 log 100 以上のポンプをお選びください。ただ t 5 P2 10,000 80 し、配管コンダクタンスや漏れ等を考 60 DA-60D DAT-50D 40 慮して、実際には安全率を見込んでお DA-30D S ≒ 23 L/min (at 10,000Pa) 20 DA-20D 選びください。 0 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 （kPa） 圧力 ※圧力表記は絶対圧表記となります。 Pressure example 2 80リットルのタンクを、大気圧から13kPa vS= ×2.303Log P1　初期圧力 まで減圧するのに要する時間は？ t P2　最終圧力 ポンプはDA-121Dを使用する。 大気圧 90kPa S1=124L/min t1= 80 101325 124 2.303 log 90000 =0.08 80 90000 (L/min) 50Hz 90kPa × 80kPa S2=123L/min t2= 123 2.303 log =0.08140 80000 80kPa × 70kPa S3=122L/min t3= 80 2.303 log 80000 =0.09 120 122 70000 70kPa ×60kPa S4=120L/min t4= 80 2.303 log 70000100 120 60000 =0.10 80 60kPa × 80 60000 50kPa S5=116L/min t5= 116 2.303 log 50000 =0.13 60 50kPa × 40kPa S6=111L/min t6= 80 111 2.303 log 50000 40000 =0.16 40 40kPa × 30kPa S7=108L/min t7= 80 108 2.303 log 40000 30000 =0.21 20 30kPa × 20kPa S8=96L/min t8= 80 96 2.303 log 30000 0 20000 =0.34 0 20 40 60 80 100 (kPa) 圧力 20kPa × 13kPa S9=86L/min t9= 80 86 2.303 log 20000 13000 =0.40Pressure t0 = t1 + t2 ～ + t9 = 1.59min 5 排気速度 Pumping Speed 排気速度 Pumping Speed

2．真空により、吸着する場合の計算式 ●真空吸着 パイプ 　真空吸着とは、真空と大気圧との差圧を利用して物体を真空側に吸い付ける 真空状態 漏れが無いこと ことです。大気圧は１kg/cm2です。したがって差圧による力は、絶対真空（真 空圧力０）の場合は１kg/cm2、真空圧力50,662Pa（1/2気圧）の場合は0.5kg/ cm2となります。 大気の圧力 ●実際の吸着 　実際に吸着する際は、一般的に吸着パット、吸着ブロックが利用されます。 刃物 真空ポンプへ 真空ポンプへ 吸着用ブロック 加工物 吸着パッド 吸着用ブロック 真空ポンプへ 工作機械テーブル 　真空吸着の力は、真空ポンプの性能と吸着パＷッ＝ト理や論吸の着吸ブ着力ロ（ッkgク）の吸着面積により決まります。 吸着パ（ッドＰのo場－合Pの）吸着面積Ａの考え方 Ｐo＝大気圧（101,325P多a孔）ブロックの場合の吸着面積Aの考え方 Ｗ＝ ×A×Ｔ Ｐ＝吸着パットの圧力（Pa） Ｐo Ａ＝吸着パットの面積（cm2） 真空ポンプへ Ｔ＝大気圧による力（1kg/cm2） φD φd φd φd 吸着前はＡ＝πd2/4 実際に吸着するとＡ＝πD2/4 Ａ＝πd2/4×n（n：穴の数）となる 　計算式では次の通りです。 ●実際の計算式 ●安全率 （Ｐo－P） Ｗ＝ ×A×Ｔ ワーク上面より吸着する場合 ワーク側面より吸着する場合 Ｐo 理論計算値×３ 理論計算値×６ Ｗ＝理論の吸着力（kg） Ｐo＝大気圧（101,325Pa） Ｐ＝吸着パットの圧力（Pa） Ａ＝吸着パットの面積（cm2） Ｔ＝大気圧による力（1kg/cm2） 0.5kgのワークを上面より吸着する場合、吸着パットの面積は？ exam吸pl着e 3パット0の.5k圧g力のをワ4ー0ク,0を00上P面aとよすりる吸。着する場合、吸着パットの面積は？　吸着パットの圧力を40,000Paとする。 Ｐo×Ｗ 101,325×0.5 A＝ ＝ ＝ 0.83（cm真2空） （Ｐo－P）×Ｔ （101,325－40,000）×1 ワークを上面より吸着しているので、0.83×3＝2.49cm2 となります。 ※圧力表記は絶対圧表記となります。 真空 真空 Tips 大気圧 大気圧 大気圧 ■アンローダーバルブ アンローダーバルブ作動図 　アンローダーバルブは、 真空 真空 ダイアフラム型ドライ真空 ポンプを止めた際、ポンプ ヘッド内部に大気をすばや く導入し、ポンプヘッド内 大気圧 大気圧真空 真空 部と外部の差圧をなくし、 大気圧 大気圧 大気圧 ポンプの起動特性を改善す 大気圧 大気圧 大気圧 るものです。 大気圧－大気圧＝０＜起動トルク アンローダーバルブ作動図 6 | SMALL VACUUM PUMPS CATALOG 真空 大気圧 大気圧 大気圧 大気圧 大気圧 大気圧－大気圧＝０＜起動トルク

ドライ真空ポンプ ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 　ド • DAP-6D • DAP-12S ラ DAP·DA • DAP-9D-DC24 イSeries • DAP-18S-DC24 真 • DA-15D • DA-30S 空ポ ン 特　　　　長 プ ●豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプの ●２段排気方式は、１段排気方式より低い圧力（良い真空） 　スタンダードタイプ ●自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計 ●接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ ●大気圧からの作動が可能 ●用途に合わせて選べる豊富なラインナップ ●シンプル構造で、メンテナンスが容易 ●１段排気方式は、２段排気方式より大きい排気速度 DAP-6D DAP-12S DAP-9D-DC24 DAP-18S-DC24 DA-15D DA-30S 仕　　様 型　　式 DAP-6D DAP-12S DAP-9D-DC24※3 DAP-18S-DC24※3 DA-15D DA-30S Unit 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz － － 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 実効排気速度 L/min 6 7 12 14 9 18 12 15 24 30 到達圧力※1 Pa（kPa）6.65×10（3 －94.7）24.0×10（3 －77.3）6.65×10（3 －94.7）24.0×10（3 －77.3）6.65×10（3 －94.7）26.6×10（3 －74.7） 単相、100V、10W、4P 単相、100V、10W、4P ブラシレスDCモータ、14W、4P ブラシレスDCモータ、14W、4P 単相、100V、39/43W、4P 単相、100V、39/43W、4P 使用電動機 コンデンサ運転 コンデンサ運転 24V 24V コンデンサ運転 コンデンサ運転 全負荷電流 A 0.5 0.5 1.3 1.4 0.79 0.82 0.79 0.82 質量 kg 1.9 1.9 1.75 1.75 3.9 3.9 吸・排気口径 （メネジサイズ） mm (Rc 1/8) ※2 (Rc 1/8)※2 (Rc 1/8)※2 (Rc 1/8)※2 O.D.φ9×I.D.φ5 O.D.φ9×I.D.φ5 使用雰囲気温度範囲 ℃ 0〜 40 0 〜 40 0 〜 40 0 〜 40 7 〜 40 7 〜 40 最大寸法 mm 91(W)×163(L)×100.6(H) 91(W)×163(L)×100.6(H) 83.5(W)×165(L)×123.8(H) 83.5(W)×165(L)×123.8(H) 132(W)×203(L)×182(H) 132(W)×203(L)×182(H) RoHS対応 ● ● ● ● ● ● ※1：到達圧力の（　）内はゲージ圧表示 ※2：吸気管および排気管は付属していません。 ※3：DAP-9D-DC24・DAP-18S-DC24は装置組込み用の製品です。電源用リード線のみ付属しています。ゴム足は付属していません。 対応規格／電圧 排気速度曲線 型　式 認証取得 CE自己宣言 DC24V 1φ100V 1φ115V 1φ200V 1φ220V 1φ230V （L／min） 50Hz30 DAP-6D － － － ● － ○ ○（220-230V） DAP-12S － － － ● － ○ ○（220-230V） 25 DAP-9D-DC24 TUV・cTUVus ● ● － － － － － DA-30S DAP-18S-DC24 TUV・cTUVus ● ● － － － － － 20 DA-15D － － － ● － ○ ○ － DAP-18S-DC24 DA-30S － － － ● － ○ ○ － 15 ●：標準　　○：オプション対応　　－：対応不可 DA-15D 10 DAP-9D-DC24 ご注意 「DA-15D」「DA-30S」の大気圧近辺での連続運転はお避けください。 DAP-12S 5 DAP-6D 0 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 （kPa） 圧力 Pressure ■より詳細な情報はHPへ➡http://www.ulvac-kiko.com　　外観図はP.37に掲載しています。 7 排気速度 Pumping Speed

　 ドライ真空ポンプ ダイアフラム型ドライ真空ポンプド ラ イ DA·DAT • DA-30D • DA-60S真空 Series • DAT-50D • DAT-100S ポ ン プ 特　　　　長 ●豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプの ●２段排気方式は、１段排気方式より低い圧力（良い真空） 　スタンダードタイプ ●自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計 ●接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ ●大気圧からの作動が可能 ●用途に合わせて選べる豊富なラインナップ ●シンプル構造で、メンテナンスが容易 ●１段排気方式は、２段排気方式より大きい排気速度 DA-30D DA-60S DAT-50D DAT-100S 仕　　様 型　　式 DA-30D DA-60S DAT-50D※3 DAT-100S※3 Unit 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 実効排気速度 L/min 30 36 60 72 50 55 100 110 到達圧力※1 Pa（kPa） 6.7×10（3 －94.6） 21.3×10（3 －80.0） 3.3×10（3 －98.0） 13.3×10（3 －88.0） 使用電動機 単相、100V、200W、4P 単相、100V、200W、4P 単相、100V、200W、4P 単相、100V、200W、4P分相始動 分相始動 分相始動※2 分相始動※2 全負荷電流 A 5.6 5.0 5.6 5.0 5.6 5.0 5.6 5.0 質量 kg 11.0 11.0 11.0 11.0 吸・排気口径 （メネジサイズ） mm O.D.φ9×I.D.φ5（Rc 1/4） O.D.φ9×I.D.φ5（Rc 1/4） O.D.φ12×I.D.φ8.5（Rc 1/4）O.D.φ12×I.D.φ8.5（Rc 1/4） 使用雰囲気温度範囲 ℃ 7〜 40 7 〜 40 7 〜 40 7 〜 40 最大寸法 mm 212(W)×278(L)×224.5(H) 212(W)×278(L)×224.5(H) 150(W)×232(L)×305(H) 150(W)×232(L)×305(H) RoHS対応 ● ● ● ● ※1：到達圧力の（　）内はゲージ圧表示 ※2：電源プラグおよび電源コードは付属していません。電源用リード線のみ付属しています。 ※3：ダイアフラムの材質をEPDMに変更した物もご用意しております。注：EPDM仕様は到達圧力が若干悪くなります。 対応規格／電圧 排気速度曲線 型　式 認証取得 CE自己宣言 1φ100V 1φ115V 1φ200V 1φ220V 3φ200-220V （L／min） 50Hz 120 DA-30D － － ● － ○ ○ － DA-60S － － ● － ○ ○ － 100 DAT-50D － － ● － ○ ○ － DAT-100S DAT-50DA TUV・cTUVus ● － － － － ● 80 DAT-100S － － ● － ○ ○ － DAT-100SA TUV・cTUVus ● － － － － ● 60 DA-60S ●：標準　　○：オプション対応　　－：対応不可 DAT-50D 40 DA-30D 20 0 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 圧力 （kPa） Pressure ■より詳細な情報はHPへ➡http://www.ulvac-kiko.com　　外観図はP.37 〜 38に掲載しています。 8 | SMALL VACUUM PUMPS CATALOG 排気速度 Pumping Speed

ドライ真空ポンプ ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 　ド ラ DA • DA-20D • DA-40S イSeries • DA-41D • DA-81S 真空 ポ ン 特　　　　長 プ ●豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプの ●大気圧からの作動が可能 　スタンダードタイプ ●シンプル構造で、メンテナンスが容易 ●接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ ●DA-20D・DA-40Sはアンローダーバルブ（オプション）を内 ●用途に合わせて選べる豊富なラインナップ 蔵することにより、ポンプ停止時にポンプ内部に大気を導入 ●１段排気方式は、２段排気方式より大きい排気速度 し、ポンプの起動特性が改善 ●２段排気方式は、１段排気方式より低い圧力（良い真空） ●DA-41D・DA-81S はバランスポートを内蔵しているため、 ●自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計 真空状態からの再起動が可能 DA-20D DA-40S DA-41D DA-81S 仕　　様 型　　式 DA-20D DA-40S DA-41D DA-81S Unit 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 実効排気速度 L/min 20 24 40 46 40 46 75 85 ※1 5.33×10（ 3 －96.0） 19.9×10（3 －81.4） 到達圧力 Pa（kPa） 3 ※2 3 ※2 3.3×10（ 3 －98.0） 13.3×10（3 －88.0） ［9.33×10（－92.0）］ ［22.6×10（－78.7）］ 単相、100V、60W、4P 単相、100V、60W、4P 単相、100V、100W、4P 単相、100V、100W、4P 使用電動機 コンデンサ運転 コンデンサ運転 コンデンサ運転 コンデンサ運転 全負荷電流 A 1.6 1.6 2.5 2.7 2.5 2.7 質量 kg 7.2 7.2 10.3 10.3 吸・排気口径 （メネジサイズ） mm O.D.φ9×I.D.φ5（Rc 1/4） O.D.φ9×I.D.φ5（Rc 1/4） O.D.φ12×I.D.φ8（G1/4） O.D.φ12×I.D.φ8（G1/4） 使用雰囲気温度範囲 ℃ 7〜 40 7 〜 40 0 〜 40 0 〜 40 最大寸法 mm 118(W)×242(L)×178(H) 128(W)×242(L)×178(H) 157(W)×336.5(L)×217(H) 181(W)×336.5(L)×217(H) RoHS対応 ● ● ● ● ※1：到達圧力の（　）内はゲージ圧表示 ※2：アンローダーバルブ（オプション）付の場合の到達圧力 対応規格／電圧 排気速度曲線 型　式 認証取得 CE自己宣言 1φ100V 1φ115V 1φ200V 1φ220V （L／min） 50Hz90 DA-20D － － ● ○ ○ ○ 80 DA-20DA TUV ● ● － － － DA-20DB TUV ● － ● － － 70 DA-81S DA-20DC TUV ● － － － ● 60 DA-40S － － ● ○ ○ ○ 50 DA-40SA TUV ● ● － － － DA-40SB TUV ● － ● － － 40 DA-41D DA-40SC TUV ● － － － ● 30 DA-40S DA-41D － － ● － ○ ○ 20 DA-20D DA-81S － － ● － ○ ○ 10 ●：標準　　○：オプション対応　　－：対応不可 0 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 圧力 （kPa） Pressure ■より詳細な情報はHPへ➡http://www.ulvac-kiko.com　　外観図はP.38に掲載しています。 9 排気速度 Pumping Speed

　 ドライ真空ポンプ ダイアフラム型ドライ真空ポンプド ラ イ DA • DA-60D • DA-120S真空 Series • DA-121D • DA-241S ポ ン プ 特　　　　長 ●豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプの ●大気圧からの作動が可能 　スタンダードタイプ ●シンプル構造で、メンテナンスが容易 ●接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ ●DA-60D・DA-120S はアンローダーバルブを内蔵している ●用途に合わせて選べる豊富なラインナップ ため、真空状態からの再起動が可能 ●１段排気方式は、２段排気方式より大きい排気速度 ●DA-121D・DA-241Sはバランスポートを内蔵しているため、 ●２段排気方式は、１段排気方式より低い圧力（良い真空） 真空状態からの再起動が可能 ●自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計 DA-60D DA-120S DA-121D DA-241S 仕　　様 型　　式 DA-60D DA-120S DA-121D DA-241S Unit 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 実効排気速度 L/min 60 72 120 144 120 145 240 260 到達圧力※ Pa（kPa） 3.32×10（3 －98.0） 13.3×10（3 －88.0） 3.3×10（3 －98.0） 16.0×10（3 －85.3） 単相、100V、200W、4P 単相、100V、200W、4P 単相、100V、400W、4P 単相、100V、400W、4P 使用電動機 コンデンサ運転 コンデンサ運転 コンデンサ運転 コンデンサ運転 全負荷電流 A 5.0 5.0 4.8 5.8 5.2 6.0 質量 kg 19.0 19.0 26.0 26.0 吸・排気口径 （メネジサイズ） mm O.D.φ14×I.D.φ9（G3/8） O.D.φ14×I.D.φ9（G3/8） O.D.φ16×I.D.φ12（G1/2） O.D.φ16×I.D.φ12（G1/2） 使用雰囲気温度範囲 ℃ 7〜 40 7 〜 40 0 〜 40 0 〜 40 最大寸法 mm 156(W)×358(L)×238(H) 162(W)×358(L)×238(H) 193.5(W)×411(L)×285(H) 207(W)×411(L)×285(H) RoHS対応 ● ● ● ● ※：到達圧力の（　）内はゲージ圧表示 対応規格／電圧 排気速度曲線 型　式 認証取得 CE自己宣言 1φ100V 1φ115V 1φ200V 1φ220V 1φ230V （L／min） 50Hz 300 DA-60D － － ● － ○ ○ － DA-120S － － ● － ○ ○ － 250 DA-121D － － ● ○ ○ ○（220-230V） DA-121DC TUV・cTUVus ● ● － － － － DA-241S DA-121DD TUV・cTUVus ● － ● － － － 200 DA-121DE TUV・cTUVus ● － － ● － － DA-121DF TUV・cTUVus ● － － － ●（220-230V） 150 DA-241S － － ● ○ ○ ○（220-230V） DA-241SC TUV・cTUVus ● ● － － － － 100 DA-241SD DA-121DTUV・cTUVus ● － ● － － － DA-120S DA-241SE TUV・cTUVus ● － － ● － － 50 DA-60D DA-241SF TUV・cTUVus ● － － － ●（220-230V） ●：標準　　○：オプション対応　　－：対応不可 0 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 圧力 （kPa） Pressure ■より詳細な情報はHPへ➡http://www.ulvac-kiko.com　　外観図はP.38 〜 39に掲載しています。 10 | SMALL VACUUM PUMPS CATALOG 排気速度 Pumping Speed

ドライ真空ポンプ ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 　ド ラ DAL • DAL-181D イSeries • DAL-361S 真空 ポ ン 特　　　　長 プ ●豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプの ●２段排気方式は、１段排気方式より低い圧力（良い真空） 　スタンダードタイプ ●自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計 ●接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ ●大気圧からの作動が可能 ●用途に合わせて選べる豊富なラインナップ ●シンプル構造で、メンテナンスが容易 ●１段排気方式は、２段排気方式より大きい排気速度 DAL-181D DAL-361S 仕　　様 型　　式 DAL-181D DAL-361S Unit 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 実効排気速度 L/min 180 210 360 390 到達圧力※1 Pa（kPa） 3.3×10（3 －98.0） 17.3×10（3 －84.0） 使用電動機 3相、200V、500W、4P※2 3相、200V、500W、4P※2 全負荷電流 A 2.4 2.9 2.4 2.9 質量 kg 37.0 37.0 吸・排気口径 （メネジサイズ） mm O.D.φ21×I.D.φ15（G1/2） O.D.φ21×I.D.φ15（G1/2） 使用雰囲気温度範囲 ℃ 7〜 40 7 〜 40 最大寸法 mm 388(W)×523.6(L)×274(H) 388(W)×523.6(L)×274(H) RoHS対応 ● ● ※1：到達圧力の（　）内はゲージ圧表示 ※2：電源プラグおよび電源コードは付属していません。電源用端子台に接続して下さい。 対応規格／電圧 排気速度曲線 型　式 認証取得 CE自己宣言 1φ100V 1φ200V 3φ200V 3φ220V （L／min） 50Hz400 DAL-181D － － － － ● － 350 DAL-361S － － － － ● － DAL-361S ●：標準　　○：オプション対応　　－：対応不可 300 250 200 DAL-181D 150 100 50 0 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 圧力 （kPa） Pressure ■より詳細な情報はHPへ➡http://www.ulvac-kiko.com　　外観図はP.39に掲載しています。 11 排気速度 Pumping Speed

　 ドライ真空ポンプ ダイアフラム型ドライ真空ポンプド ラ イ DAP • DAP-15真空 Series • DAP-30 ポ ン プ 特　　　　長 ●配管の接続により、真空ポンプまたは加圧ポンプとして使用 ●自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計 可能 ●大気圧からの作動が可能 ●接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ ●シンプル構造で、メンテナンスが容易 DAP-15 DAP-30 仕　　様 型　　式 DAP-15※2 DAP-30 Unit 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 実効排気速度 L/min 15 18 30 36 到達圧力※1 Pa（kPa） 39.9 × 103（－ 61.4） 33.3 × 103（－ 68.0） 加圧圧力（ゲージ圧） MPa 0.15 0.15 使用電動機 単相、100V、40W、4P、コンデンサ運転 単相、100V、90W、4P、コンデンサ運転 全負荷電流 A 1.0 2.0 質量 kg 3.6 5.0 吸・排気口径 （メネジサイズ） mm O.D. φ 9× I.D. φ 5（Rc 1/4） O.D. φ 9× I.D. φ 5（G1/4） 使用雰囲気温度範囲 ℃ 7〜 40 7 〜 40 最大寸法 mm 115(W) × 178.5(L) × 153.5(H) 142(W) × 215(L) × 180(H) RoHS対応 ● ● ※1：到達圧力の（　）内はゲージ圧表示 ※2：ゴム脚は付属していません。 対応規格／電圧 排気速度曲線 型　式 認証取得 CE自己宣言 1φ100V 1φ115V 1φ200V 1φ220V （L／min） 50Hz35 DAP-15 － － ● － － － DAP-30 － － ● － － － 30 DAP-30 ●：標準　　○：オプション対応　　－：対応不可 25 20 15 DAP-15 10 5 0 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 0 0.5 1.0 1.5 2.0 （kPa） （×10-1MPa） 圧力 Pressure ■より詳細な情報はHPへ➡http://www.ulvac-kiko.com　　外観図はP.39に掲載しています。 12 | SMALL VACUUM PUMPS CATALOG 排気速度 Pumping Speed

ドライ真空ポンプ ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 　ド ラ DAU·MD • DAU-20 • DAU-100 イ Series • MD4UNT 真空 ポ ン 特　　　　長 プ ●接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ ●自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計 ●到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ ●大気圧からの作動が可能 ●広域型ターボ分子ポンプの補助ポンプに使用可能 ●シンプル構造で、メンテナンスが容易 DAU-20 DAU-100 MD4UNT 仕　　様 型　　式 DAU-20 DAU-100※2 MD4UNT Unit 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 実効排気速度 L/min 20 23 100 110 60 70 到達圧力※1 Pa（kPa） 200（ －101.1） 266（ －101.1） 100（ －101.2） 使用電動機 単相、100V、80W、4P 単相、100V、300W、4P 単相、100-230V、250W、4Pコンデンサ運転 コンデンサ運転 コンデンサ始動・運転 全負荷電流 A 1.46 6.2 5.5 5.7/3.0 5.7/5.7/3.0（100-115/200-230V） （100-115/120/200-230V） 質量 kg 7.5 24.0 16.4 吸気口径（メネジサイズ） mm KF-16 O.D.φ10×I.D.φ6（Rc 1/8） KF-16 排気口径（メネジサイズ） mm サイレンサ付 使用雰囲気温度範囲 ℃ 5〜 40 7 〜 40 10 〜 40 最大寸法 mm 161(W)×327(L)×217(H) 190(W)×437(L)×310(H) 239(W)×325(L)×198(H) RoHS対応 ● ● ● ※1：到達圧力の（　）内はゲージ圧表示 ※2：ゴム脚は付属していません。 対応規格／電圧 排気速度曲線 型　式 認証取得 CE自己宣言 1φ100V 1φ115V 1φ200V 1φ220V 1φ230V （L／min） 50Hz120 DAU-20 － － ● ○ ○ ○ ○ 110 DAU-20A TUV・cTUVus ● ● － － － － 100 DAU-100 DAU-20B TUV・cTUVus ● － ● － － － 90 DAU-20C TUV・cTUVus ● － － ● － － 80 DAU-20D TUV・cTUVus ● － － － ● － 70 DAU-20E TUV・cTUVus ● － － － － ● 60 DAU-100 － － ● － ○ － － MD4UNT MD4UNT 50－ ● ●（100-120V） ●（200-230V） 40 ●：標準　　○：オプション対応　　－：対応不可 30 20 DAU-20 10 ご注意 「MD4UNT」を200Vで使用する場合、付属の100V用電源コードの先端 0 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 プラグを切断し、200Vに適した先端処理が必要です。 圧力 （kPa） 先端プラグの最大使用電圧は125Vのため、200Vでは使用できません。 Pressure ■より詳細な情報はHPへ➡http://www.ulvac-kiko.com　　外観図はP.39に掲載しています。 13 排気速度 Pumping Speed

　 ド ドライ真空ポンプ ダイアフラム型ドライ真空ポンプ ラ イ 真 空 DTU·MD-C • DTU-20 Series • MD4UCNT ポ ン プ 特　　　　長 ●有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応した、ドライ真空ポンプ ●自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計 のケミカルタイプ ●大気圧からの作動が可能 ●到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ ●シンプル構造で、メンテナンスが容易 DTU-20 MD4UCNT 仕　　様 型　　式 DTU-20 MD4UCNT Unit 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 実効排気速度 L/min 20 23 50 60 到達圧力※ Pa（kPa） 200（ －101.1） 150（ －101.2） 単相、100V、80W、4P 単相、100-230V、250W、4P 使用電動機 コンデンサ運転 コンデンサ始動・運転 5.7/3.0 5.7/5.7/3.0 全負荷電流 A 1.46 （100-115/200-230V） （100-115/120/200-230V） 質量 kg 7.5 14.3 吸気口径（メネジサイズ） mm O.D.φ10×I.D.φ6（Rc 1/8） O.D.φ11×I.D.φ6.5 排気口径（メネジサイズ） mm 使用雰囲気温度範囲 ℃ 5〜 40 10 〜 40 最大寸法 mm 161(W)×327(L)×217(H) 243(W)×325(L)×198(H) RoHS対応 ● ● ※：到達圧力の（　）内はゲージ圧表示 対応規格／電圧 排気速度曲線 型　式 認証取得 CE自己宣言 1φ100V 1φ115V 1φ200V 1φ220V 1φ230V （L／min） 50Hz70 DTU-20 － － ● ○ ○ ○ ○ DTU-20A TUV・cTUVus ● ● － － － － 60 DTU-20B TUV・cTUVus ● － ● － － － MD4UCNT 50 DTU-20C TUV・cTUVus ● － － ● － － DTU-20D TUV・cTUVus ● － － － ● － 40 DTU-20E TUV・cTUVus ● － － － － ● MD4UCNT － ● ●（100-120V） ●（200-230V） 30 ●：標準　　○：オプション対応　　－：対応不可 20 DTU-20 10 0 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 ご注意 「MD4UCNT」を200Vで使用する場合、付属の100V用電源コードの先端 圧力 （kPa） プラグを切断し、200Vに適した先端処理が必要です。 Pressure 先端プラグの最大使用電圧は125Vのため、200Vでは使用できません。 ■より詳細な情報はHPへ➡http://www.ulvac-kiko.com　　外観図はP.40に掲載しています。 14 | SMALL VACUUM PUMPS CATALOG 100 90 80 70 60 50 40 30 20 10 0 排気速度 Pumping Speed

ドライ真空ポンプ ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 　ド ラ DTC • DTC-22 • DTC-41 イSeries • DTC-60 • DTC-120 真空 ポ ン 特　　　　長 プ ●有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応した、ドライ真空ポンプ ※DTC-120は、外国為替及び外国貿易法の規定により、戦略 のケミカルタイプ 物資等輸出規制品に該当 ●自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計 　日本国外へ持ち出す際は、日本国政府の輸出許可申請等の手続 ●大気圧からの作動が可能 きが必要 ●シンプル構造で、メンテナンスが容易 DTC-22 DTC-41 DTC-60 DTC-120 仕　　様 型　　式 DTC-22 DTC-41 DTC-60 DTC-120 Unit 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 実効排気速度 L/min 20 24 40 46 60 70 120 140 到達圧力※ Pa（kPa） 1.0×10（3 －100.3） 1.0×10（3 －100.3） 1.0×10（3 －100.3） 1.0×10（3 －100.3） 単相、100V、50W、4P 単相、100V、100W、4P 単相、100V、200W、4P 単相、100V、400W、4P 使用電動機 コンデンサ運転 コンデンサ運転 コンデンサ運転 コンデンサ運転 全負荷電流 A 1.3 2.2 2.3 3.8 3.9 5.1 6.0 質量 kg 7.3 10.3 18.0 27.5 吸・排気口径 （メネジサイズ） mm O.D.φ10×I.D.φ6（G1/4） O.D.φ10×I.D.φ6（G1/4） O.D.φ14×I.D.φ9（G3/8） O.D.φ16×I.D.φ10（G1/2） 使用雰囲気温度範囲 ℃ 0〜 40 0 〜 40 0 〜 40 0 〜 40 最大寸法 mm 142(W)×288.5(L)×202(H) 155(W)×336.5(L)×217(H) 158(W)×340(L)×242(H) 203(W)×411(L)×300(H) RoHS対応 ● ● ● ● ※：到達圧力の（　）内はゲージ圧表示 対応規格／電圧 排気速度曲線 型　式 認証取得 CE自己宣言 1φ100V 1φ115V 1φ200V 1φ220V 1φ230V （L／min） 50Hz140 DTC-22 － － ● ○ ○ ○ ○ DTC-22A TUV・cTUVus ● － ● － － － DTC-22B TUV・cTUVus ● － － － ● － 120 DTC-22C TUV・cTUVus ● － － － － ● DTC-120 DTC-41 － － ● － ○ ○ ○（50Hz） 100 DTC-41A － ● ● － － － － DTC-41B － ● － － － － ●（50Hz） DTC-60 － － ● ○（60Hz） ○ ○ － 80 DTC-120 － － ● ○ ○ ○ ○ DTC-120D TUV・cTUVus ● ● － － － － 60 DTC-120E TUV・cTUVus ● － ● － － － DTC-60 DTC-120F TUV・cTUVus ● － － ● － － DTC-120G TUV・cTUVus ● － － － ●（220〜 230V） 40 DTC-41 20 DTC-22 ●：標準　　○：オプション対応　　－：対応不可 0 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 圧力 （kPa） Pressure ご注意 「DTC-60」「DTC-120」は、自動生産ラインなどの24時間連続運転や到達 圧力付近以外での連続運転は、短期間でポンプが故障する可能性があります ので、連続運転でのご使用はお控えください。 ■より詳細な情報はHPへ➡http://www.ulvac-kiko.com　　外観図はP.40に掲載しています。 15 排気速度 Pumping Speed

　 ドライ真空ポンプ 揺動ピストン型ドライ真空ポンプド ラ イ DOP • DOP-40D • DOP-80S真空 Series • DOP-80SP • DOP-120S ポ ン プ 特　　　　長 ●大排気量でコンパクトサイズ ●自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計 ●接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ ●大気圧からの作動が可能 ●用途に合わせて選べる豊富なラインナップ ●シンプル構造で、メンテナンスが容易 ●DOP-80SP は、ピストン構造を生かした加圧ポンプの専用 タイプ DOP-40D DOP-80S DOP-80SP DOP-120S 仕　　様 型　　式 DOP-40D DOP-80S DOP-80SP DOP-120S Unit 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 実効排気速度 L/min 40 44 80 88 80 84 120 140 到達圧力※1 Pa（kPa） 1.2×10（3 －100.1） 5.33×10（3 －96.0） 加圧専用 8.0×10（3 －93.3） 加圧圧力（ゲージ圧） MPa ― ― 0.5 ― 単相、100V、210W、4P 単相、100V、210W、4P 単相、100V、300W、4P 使用電動機 ※2 3相、200-220V、120W、4P ※3 コンデンサ運転 コンデンサ運転※2 コンデンサ運転※2 1.4/1.6 全負荷電流 A 3.2 3.9 3.2 3.9 5.0 5.5 1.4 （200V/220V) （200V) 質量 kg 7.0 7.0 9.0 6.4 吸・排気口径 （メネジサイズ） mm O.D.φ9×I.D.φ5（Rc 1/4） O.D.φ9×I.D.φ5（Rc 1/4） O.D.φ9×I.D.φ5（Rc 1/4） (Rc1/4) 使用雰囲気温度範囲 ℃ 7〜 40 7 〜 40 7 〜 40 7 〜 40 最大寸法 mm 160(W)×270(L)×179(H) 160(W)×270(L)×179(H) 168.5(W)×288(L)×181(H) 139.5(W)×255(L)×167(H) RoHS対応 ● ● ● ● ※1：到達圧力の（　）内はゲージ圧表示 ※2：電源用リード線のみ付属しています。 ※3：電源用端子台に接続して下さい。 対応規格／電圧 排気速度曲線 3φ （L／min） 50Hz 型　式 認証取得 CE自己宣言 1φ100V 1φ115V 1φ200V 1φ220V 140 90 200-220V DOP-40D 80－ － ● ○ ○ ○ － 120 DOP-120S DOP-80S － － ● ○ ○ ○ － 70 100 DOP-80SPDOP-80SP － － ● － ○ ○ － 60 DOP-120S TUV・cTUV ● － － － － ● 80 50 ●：標準　　○：オプション対応　　－：対応不可 DOP-80S 60 40 30 40 DOP-40D 20 20 ご注意 「DOP-40D」「DOP-80S」「DOP-80SP」を装置等に固定される際は、必 10 ず防振ゴムを取り付けてください。防振ゴムの取付ネジサイズはM5× 0 0 P0.8となります。また、ポンプ側へ取付けられる防振ゴムのネジの長さは 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 0 2 4 6（kPa） （×10-1Mpa） 10mmを超えないようにお願いいたます。詳細につきましては、お問い合 圧力 わせください。 Pressure ■より詳細な情報はHPへ➡http://www.ulvac-kiko.com　　外観図はP.40 〜 41に掲載しています。 16 | SMALL VACUUM PUMPS CATALOG 排気速度 Pumping Speed

ドライ真空ポンプ 揺動ピストン型ドライ真空ポンプ 　ド ラ DOP • DOP-181SA • DOP-301SB イSeries • DOP-400SB • DOP-420SA 真空 ポ ン 特　　　　長 プ ●大排気量でコンパクトサイズ ●自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計 ●接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ ●大気圧からの作動が可能 ●用途に合わせて選べる豊富なラインナップ ●シンプル構造で、メンテナンスが容易 DOP-181SA DOP-301SB DOP-400SB DOP-420SA 仕　　様 型　　式 DOP-181SA DOP-301SB DOP-400SB DOP-420SA Unit 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 実効排気速度 L/min 180 200 300 330 400 440 420 460 到達圧力※1 Pa（kPa） 10.0×10³（ －91.3） 8.0×10³（ －93.3) 12.0×10³（ －89.3) 17.3×10³（ －84.0) 使用電動機 単相、100V、400W、4P※2 3相、200-230V、400W、4P※3 3相、200-220V、400W、4P※3 3相、200-220V、550W、4P※3 2.1 全負荷電流 A 6.3 5.8 2.5 2.4 2.8/2.7 3.5 3.1/3.2 （200V/220V）（200V/220V/230V) （200V) （200V/220V) （200V) （200V/220V) 質量 kg 12.0 20.0 23.0 33.0 吸・排気口径 O.D.φ16×I.D.φ12mm (Rc 3/8) 適合チューブ外径φ16 O.D.φ26×I.D.φ20（メネジサイズ） （Rc1/2) （Rc1/2) （Rc3/4) 使用雰囲気温度範囲 ℃ 7〜 40 0 〜 40 0 〜 40 0 〜 40 最大寸法 mm 172(W)×266(L)×235(H) 315(W)×443(L)×231(H) 316(W)×434(L)×231(H) 310(W)×523(L)×253(H) RoHS対応 ● ● ● ● ※1：到達圧力の（　）内はゲージ圧表示 ※2：電源用リード線のみ付属しています。 ※3：電源プラグおよび電源コードは付属していません。電源用端子台に接続して下さい。 対応規格／電圧 排気速度曲線 CE 3φ 3φ （L／min） 50Hz 型式 認証取得 1φ100Ｖ 1φ115Ｖ 1φ200Ｖ 1φ220Ｖ 450 自己宣言 200-220V 200-230V DOP-420SA DOP-181SA TUV・cTUVus ● ● － － － － － 400 DOP-181SB TUV・cTUVus ● － ● － － － － 350 DOP-400SB DOP-181SC TUV・cTUVus ● － － ● － － － 300 DOP-181SD TUV・cTUVus ● － － － ● － － DOP-301SB DOP-181SE 250TUV・cTUVus ● － － － － ● － DOP-301SB TUV・cTUVus ● － － － － － ● 200 DOP-301SVB TUV・cTUVus ● － － － － － ● DOP-181SA 150 DOP-400SB TUV・cTUVus ● － － － － ● － 100 DOP-420SA TUV ● － － － － ● － ●：標準　　○：オプション対応　　－：対応不可 50 ご注意 「DOP-181S シリーズ」を装置等に固定される際は、必ず防振ゴムを取り付 0 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 けてください。防振ゴムの取付ネジサイズはM6× P1.0となります。詳細 圧力 （kPa） につきましては、お問い合わせください。 Pressure ■より詳細な情報はHPへ➡http://www.ulvac-kiko.com　　外観図はP.41に掲載しています。 17 排気速度 Pumping Speed

　 ドライ真空ポンプ 回転翼型ドライ真空ポンプド ラ イ DSB • DSB-151 • DSB-251真空 Series • DSB-451 • DSB-601 ポ ン プ 特　　　　長 ●大排気量でコンパクトサイズ ●大気圧からの作動が可能 ●設備に合わせて吸排気口位置を選択可能 ●シンプル構造で、メンテナンスが容易 ●接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ DSB-151 DSB-251 DSB-451 DSB-601 仕　　様 型　　式 DSB-151 DSB-251 DSB-451 DSB-601 Unit 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 設計排気速度 L/min 167 200 267 317 417 500 667 800 到達圧力 Pa 15.0×103 15.0×103 12.0×103 12.0×103 3相、200-277V/346-480V 3相、200-277V/346-480V 3相、200-277V/346-480V 3相、200-277V/346-480V 使用電動機 370W、4P※ 550W、4P※ 900W、4P※ 1,250W、4P※ 2.15-2.7（200-240V）2.25-1.9（200-277V）2.95-3.7（200-242V）3.45-2.75（200-277V）5.0-5.7（200-242V） 5.3-4.7（200-277V） 5.2-6.2（200-240V） 7.3-5.5（200-277V） 全負荷電流 A 1.25-1.55（346-420V）1.3-1.1（346-480V） 1.7-2.15（346-420V） 2.0-1.6（346-480V） 2.9-3.3（346-420V） 3.1-2.7（346-480V） 3.0-3.6（346-420V） 4.2-3.2（346-480V） 質量 kg 22.0 26.0 31.0 38.0 吸・排気口径 O.D.φ21×I.D.φ16 O.D.φ21×I.D.φ16 O.D.φ27×I.D.φ21 O.D.φ27×I.D.φ21 （メネジサイズ） mm （G 1/2） （G 1/2） （G 3/4） （G 3/4） 使用雰囲気温度範囲 ℃ 7〜 40 7 〜 40 7 〜 40 7 〜 40 最大寸法 mm 239(W)×413(L)×260(H) 239(W)×436(L)×260(H) 253(W)×496(L)×282(H) 253(W)×546(L)×282(H) RoHS対応 ― ― ― ― ※：電源プラグおよび電源コードは付属していません。電源用端子台に接続して下さい。 対応規格／電圧 排気速度曲線 型　式 認証取得 CE自己宣言 1φ100V 1φ200V 3φ200V系 3φ400V系 （L／min） 50Hz800 DSB-151 － ● ― ― ● ● DSB-251 － ● ― ― ● ● 700 DSB-451 － ● ― ― ● ● 600 DSB-601 DSB-601 － ● － － ● ● ●：標準　　○：オプション対応　　－：対応不可 500 400 DSB-451 300 200 DSB-251 100 DSB-151 0 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 圧力 （kPa） Pressure ■より詳細な情報はHPへ➡http://www.ulvac-kiko.com　　外観図はP.41 〜 42に掲載しています。 18 | SMALL VACUUM PUMPS CATALOG 排気速度 Pumping Speed

ドライ真空ポンプ スクロール型ドライ真空ポンプ 　ド ラ DIS • DIS-90 • DIS-251 イSeries • DIS-501 真空 ポ ン 特　　　　長 プ ●大排気量でコンパクトサイズ ●ドライ真空ポンプとしては、最高レベルの到達圧力 ●エアーフラッシュにより、水分凝縮を抑止 DIS-90 DIS-251 DIS-501 仕　　様 型　　式 DIS-90 DIS-251 DIS-501 Unit 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 設計排気速度 L/min 90 108 250 300 500 600 到達圧力 Pa 5.0 1.6 1.0 単相 単相、100/115/200/230V、150W、4P 単相、100/115/200/230V、400W、4P 単相、100/115/200/230V、600W、4Pコンデンサ始動・運転※1 コンデンサ始動・運転※1 コンデンサ始動・運転※1 使用電動機 3相 ― 3相、200/208/230/380/400/415/460V 3相、200/208/230/380/400/415/460V400W、4P※1 600W、4P※1 単相 2.6/1.3/1.6 2.1/2.2/1.1/1.1 4.8/2.6/2.4 4.8/4.3/2.8/2.4 8.5/4.3/3.9 10.0/8.6/4.8/4.0（100/200/230V）（100/115/200/230V）（100/200/230V）（100/115/200/230V）（100/200/230V）（100/115/200/230V） 全負荷電流 A 3相 ― 1.6/0.9/0.9/1.0 1.9/1.9/1.8/1.0 2.7/1.57/1.57/1.63 2.8/2.6/2.5/1.47（200/380/400/415V）（200/208/230/460V）（200/380/400/415V）（200/208/230/460V） 単相 14.0 25.0 44.0 質量 kg 3相 ― 23.0 38.0 吸・排気口径 mm 吸気口　KF-25　　排気口　KF-16 吸気口　KF-25　　排気口　KF-16 吸気口　KF-40　　排気口　KF-25 使用雰囲気温度範囲 ℃ 5〜 40 5 〜 40 5 〜 40 水蒸気処理量 g/day ≦5（AF開時）※2 ≦25（AF開時）※2 ≦25（AF開時）※2 単相 214(W)×308(L)×225(H) 252(W)×400(L)×336(H) 290(W)×443(L)×397(H) 最大寸法 mm 3相 ― 252(W)×370(L)×336(H) 292(W)×372(L)×397(H) RoHS対応 ● ● ● ※1：電源プラグおよび電源コードは付属していません。電源用端子台に接続して下さい。 ※2：AF＝エアーフラッシュ 対応規格／電圧 排気速度曲線 型　式 認証取得 CE自己宣言 1φ100V系 1φ200V系 3φ200V系 3φ400V系 （L／min） 50Hz1000 DIS-90 CSA ● ● ● ― ― DIS-251 CSA ● ● ● ● ● DIS-501 DIS-501 CSA ● ● ● ● ● DIS-251 ●：標準　　○：オプション対応　　－：対応不可 100 DIS-90 10 1 1 10 100 1000 10000 100000 圧力 （Pa） Pressure ■より詳細な情報はHPへ➡http://www.ulvac-kiko.com　　外観図はP.42に掲載しています。 19 NL／min 排気速度 Pumping Speed

　 ドライ真空ポンプ スクロール型ドライ真空ポンプド ラ イ 真 空 DISL • DISL-101 Series • DISL-503 ポ ン プ 特　　　　長 ●大排気量でコンパクトサイズ ●高湿ガスに強い真空ポンプ ●エアーフラッシュにより水分凝縮を抑止 DISL-101 DISL-503 仕　　様 型　　式 DISL-101 DISL-503 Unit 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 設計排気速度 L/min 100 120 430 520 到達圧力 Pa 20.0 30.0 単相、100/115/200/230V、300W、2P 3相、200/380/400/415V、 3相、200/220/230/460V、 使用電動機 コンデンサ始動・運転※1 900W、2P※1 1,100W、2P※1 3.2/1.6/2.0 3.7/3.4/1.8/1.7 3.7/1.88/1.87/1.88 4.1/3.9/3.8/1.92 全負荷電流 A （100/200/230V） （100/115/200/230V） （200/380/400/415V） （200/220/230/460V） 質量 kg 15.0 34.0 吸・排気口径 吸気口　KF-25（Rc3/8） 吸気口　KF-25（Rc1/2） (内部メネジサイズ) mm 排気口　KF-16 排気口　KF-25 使用雰囲気温度範囲 ℃ 5〜 40 5 〜 40 水蒸気処理量 g/day ≦100（AF開時）※2 ≦250（AF開時）※2 最大寸法 mm 210(W)×358(L)×215(H) 317(W)×521(L)×280(H) RoHS対応 ● ● ※1：電源プラグおよび電源コードは付属していません。電源用端子台に接続して下さい。 ※2：AF＝エアーフラッシュ 対応規格／電圧 排気速度曲線 型　式 認証取得 CE自己宣言 1φ100V系 1φ200V系 3φ200V系 3φ400V系 （L／min） 50Hz 1000 DISL-101 CSA ● ● ● － － DISL-503 cTUV ● － － ● ● DISL-503 ●：標準　　○：オプション対応　　－：対応不可 100 DISL-101 10 1 1 10 100 1000 10000 100000 圧力 (Pa) Pressure ■より詳細な情報はHPへ➡http://www.ulvac-kiko.com　　外観図はP.42 〜 43に掲載しています。 20 | SMALL VACUUM PUMPS CATALOG 排気速度 Pumping Speed