ウエハ・ガラスパネル搬送用ハンド

工場のFA化に貢献する　　　　　　　　　のメカトロ機器 ウエハ・ガラスパネル搬送用ハンド お客様のご希望に合った仕様でご提供します。 枚葉型 エッジクランプ式ウエハハンド ● ウエハを表裏面非接触にてカセットや各種ステージに搬送することが可能です。 ● あらゆる搬送姿勢や高速搬送に対応可能です。 ● 6インチ・8インチ・12インチ・18インチ　各サイズ専用ハンド WHAシリーズ WHFシリーズ アーム側のみ駆動式 アームとフォーク両方駆動式 φ300mmウエハ用 φ200mmウエハ用 WHA-300AS WHF-200AS For φ300mm silicon wafer For φ200mm silicon wafer エッジクランプ Vノッチ対応 開閉確認センサ対応 エッジクランプ オリフラ対応 Vノッチ対応 開閉確認センサ対応 ※イラストはイメージです。 バッチ型 ウエハハンド ● 吸着・エッジクランプ・落とし込み　各搬送方式特殊対応いたします。 ● ウエハ2枚～25枚一括搬送。 WHBシリーズ ご希望の一括搬送枚数分ハンドユニット化 φ300mm×25枚ウエハ用 WHB-300AS-25 For a batch of silicon wafers ※イラストはイメージです。 ガラスパネル搬送ハンド ● ガラス基板・液晶パネル・太陽電池パネル・自動車用ガラスなどのガラス搬送用ハンドを特殊対応いたします。 ● フローティング吸着パッドにより確実に保持。 ● CFRP製アームにより、軽量かつ高剛性。 ● PDP、LCD、OELD用ガラス各機種対応。 ● 耐熱仕様、ダブルアーム仕様、ワーク確認センサ、 特 長 　 アライメントセンサ、各機種対応可能。 WHKシリーズ LCHシリーズ ウエハ・太陽パネル 液晶ガラス、有機EL 搬送ハンド ディスプレイ搬送ハンド ガラスパネル搬送ハンド LCH-800AS ※使用例 For Liquid Crystal Display

特　長 枚葉型　 WHAシリーズ バッチ型　WHBシリーズ ● サイドアーム側のみ駆動式エッジクランプ ● 吸着・エッジクランプ・おとしこみ各方式特殊対応実績豊富 ● ウエハサイズφ200、φ300ともに特殊対応実績豊富 ● ウエハ希望枚数一括搬送可能（ウエハ枚数 2枚～25枚） ● クリーン度クラス1対応 枚葉型　 WHFシリーズ その他　 WHKシリーズ ● サイドアーム側とメインフォーク側の両方駆動式エッジクランプ 　　　　 LCHシリーズ 　（ センタクランプ式） ● 吸着方式 ● 各種ステージに置かれているウエハを上からクランプし搬送可能 ● ウエハ用や液晶ガラス、太陽パネル用様々な形状や大きさに特殊対応 ● ウエハサイズφ200、φ300ともに特殊対応実績豊富 　 実績豊富 ● クリーン度クラス1対応 仕　様 型　式 WHA-200AS WHA-300AS WHF-200AS WHF-300AS WHB-□□□AS WHK-□□□AS LCH-□□□AS 搬送ワーク ウエハ ウエハ ウエハ ウエハ ウエハ ウエハ・太陽パネル 液晶ガラスなど ワークサイズ φ200 φ300 φ200 φ300 各サイズ 各サイズ 各サイズ 搬送方式 エッジクランプ エッジクランプ エッジクランプ エッジクランプ おとしこみ・吸着・エッジクランプ 吸着 吸着 搬送枚数 1枚 1枚 1枚 1枚 2枚～25枚 1枚 1枚 駆動方式 閉方向 スプリング（クランプ方式）開方向 バキューム圧 -60KPa～95KPa（負圧シリンダ採用） 動作ストローク 10mm ※詳細につきましては（クランプ7mm クランプ代3mm） お問い合わせください 把持力 2.4N～1.9N クリーン度 クラス1（吸引要） フォーク材質 CFRP 駒・仮受け座・パット PEEK 本体重量 約0.4Kg 約0.5Kg 約1.2Kg 約1.7Kg オプション 開閉確認センサー 型式選定 型　式 ウエハ／パネルサイズ 搬送枚数 センサー・個数 特　殊 枚葉型……… WHA ｰ 200AS ｰ ET2LS2 ｰ Z バッチ型…… WHB ｰ 300AS ｰ 25 ｰ ET2LS2 ｰ Z その他……… WHK/LCH ｰ 200AS ｰ Z 型　式 ウエハサイズ 搬送枚数 センサー・個数 特　殊 記　号 名　称 記　号 名　称 2～25 記　号 名　称 WHA ウエハ用枚葉型 片側駆動式エッジクランプ 150AS φ150／　6インチ ET3 無接点3芯ストレート WHF ウエハ用枚葉型 両側駆動式エッジクランプ 200AS φ200／　8インチ ET3L 無接点3芯L字 WHB ウエハ用バッチ型 300AS φ300／12インチ ET2 無接点2芯ストレート WHK ウエハ・太陽パネル用 吸着式 450AS φ450／18インチ ET2L 無接点2芯L字 LCH 液晶ガラス・有機ELディスプレイ用 吸着式 パネルサイズ S1 センサー1個 □□□AS パネルの横幅寸法表記になります S2 センサー2個 特殊 ●ユーザー様の仕様に合わせて設計製作いたします ●取扱店 メカトロ機器 ハンド＆チャック 工場の省人化をめざす [お問い合わせは、お近くの営業所までどうぞ。]　URL http://konsei.co.jp ●メカトロ機器営業本部（幸田工場） 〒444-0124　愛知県額田郡幸田町深溝一本樹11-1 TEL（0564）62-0428（ 代） FAX（0564）62-6614 ●メカトロ機械営業本部（浜町工場） 〒443-0036　愛知県蒲郡市浜町73番4 TEL（0533）67-1111（ 代） FAX（0533）67-1117 ●オプトロ機器営業本部（坂本工場） 〒443-0002　愛知県蒲郡市清田町大口3-1 TEL（0533）66-6588（ 代） FAX（0533）66-6589 ●東京支店（東京工場） 〒211-0012　神奈川県川崎市中原区中丸子171 TEL（044）422-2338（ 代） FAX（044）434-1654 ●大阪営業所 〒575-0003　大阪府四條畷市岡山東1-10-5忍ヶ丘センタービル503号 TEL（072）877-9199（ 代） FAX（072）877-9188 ●本庄営業所 〒369-0306　埼玉県児玉郡上郷町大字七本木字下原2377-22 TEL（0495）33-5975（ 代） FAX（0495）33-6015 ●九州営業所 〒818-0132　福岡県大宰府市国分1丁目8番31号松島第2ビル1F2号 TEL（092）918-5454 FAX（092）918-5455 ●KONSEI　USA　Inc. 401　Commerce　Parkway　Hodgenville,KY,42748 TEL+1-270-358-0145 FAX+1-270-358-0171 SAN-1210-30A ※このカタログに記載の内容を予告なく一部変更する場合があります。