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多層膜同時測定、光学定数（n,k）測定
TohoSpec3100は、ナノメトリクス社より技術移管された光干渉式膜厚測定装置です。
多数の納入実績を誇る業界標準機で、測定再精度2Å以下を実現、リニアアレー受光素子を採用しています。
高信頼性、高精度、高速をコンセプトとしており、多層膜同時測定や光学定数（n,k）測定に利用可能なモデルです。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 光干渉式膜厚測定装置 TohoSpec3100 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 725Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 東朋テクノロジー株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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