【X線・放射線の新しい代替え技術！】TeraMetrix社TRay5000システム概要　データシート

T-Ray® 5000 システム概要 T-Ray® 5000インテリジェント テラヘルツコントローラ（TCU）は、 Gauge® Sensor Configuration のコア部分です。 TCUは、短パルスレーザ、 時間遅延レール、データ収集用電子機器及び強力な計算エンジンで構成され ています。構成に応じて10msまたは1msの波形取得時間で、インテリジェン トTCUは最速のフル機能を備えたタイムドメインのテラヘルツコントローラ です。 TCUは、産業及びサイエンスにおけるアプリケーションの両方での使用に適 しており、THz生成及び検出のすべての側面を監視並び制御します。正確に制御 された光信号をテラヘルツ送信機と受信機、又はT-Gauge®センサヘッドに送信し、テラヘルツ信号の生成と受信を可能 にします。収集された波形はコントロールユニット内で最大1 KHzの速度で処理されるT-Ray®5000は、利用可能な最速 のテラヘルツシステムの1つになります。 T-Gauge®センサヘッドにより生成後、T-Ray®5000コントロールユニットによって処理されるデータにより、製品の 複数の測定を同時に行う事ができます。1つのT-Gauge®センサは、サンプルの坪量、厚さ、多層厚さ、及び密度を単一の 光路で測定できます。 現在、TCUには異なる高速遅延（HSD）を持つ4つのバリエーションがあり、波形の長さと速度を決定します。どのTCU の構成がニーズに最適であるかは、次の要因に基づいています: • サンプルの厚み: 表面・裏面の2つの反射は時間ウィンドウ内にある必要があります。 • 要求される測定レート: 高速測定が必要な場合は、1000 Hzシステムを使用する必要がある場合があります。 • 波形の平均化: いくつかの困難な測定では、帯域幅（波形平均化）又は精度（測定平均化）を改善するために、いく つかの測定値を一緒に平均化する事が役立ちます。これには1000 Hzシステムが必要な場合があり、平均化しても 少なくとも100 Hzの測定レートが維持されます。 • HSDと波形取得レートのバランス: TCUの特定の波形取得レートにおけて、より短いHSDタイムベースが常に最高のパフ ォーマンスが得られます。（例：1000Hzにおける80ps及び100Hzにおける320ps） その他、以下図のように透過と反射の両方のイメージングを可能にするX-Yレールによるイメージングシステムと同様に、 分光測定を可能にする別個の送信モジュールと受信モジュールが使用できます。 T-RAY® 5000 シリーズ http://www.cornestech.co.jp ctl-inspection@cornes.jp / T-Ray® 5000

産業機材営業本部 検査機器東京チーム 〒105-0014 東京都港区芝3-5-1 コーンズハウス Tel: 03-5427-7560 http://www.cornestech.co.jp/ ctl-inspection@cornes.jp T-Gauge® インテグレートセンサの一覧 TeraMetrixは、様々な市場及びアプリケーション向けに世界中で展開されているシステムを提供するために、様々なセンサを備えた 堅牢な製品群を開発しています。ニーズに最適なセンサの決定には、個々の層の厚さと、求めている測定の種類（厚さ、坪量、密度） に基づきます。 スタンダード オンラインセンサヘッド (HXC50yn) HXC50ynオンラインセンサヘッドは、T-Ray®5000テラヘルツシステム用の堅牢な工場向け強化ト ランシーバです。厚さ、多層厚み及び坪量を反射測定で簡単に取得できます。様々なレンズを使用し て、測定スポットサイズと測定距離（25.4, 76.2及び、152.4mm）を調整できます。 THXC50ynは、50umまでの層厚を測定するために十分な帯域幅を提供します。 VRS搭載 オンラインセンサヘッド (HXC51yn) HXC51yn *オンライン センサヘッドは、標準のオンライン センサーヘッド（HXC50yn）に仮想基 準面（VRS）を搭載した機能を追加しています。厚さ、多層厚さ、坪量、密度の反射測定を簡単に取 得できます。VRSを使用すると、センサと製品間の間隔を狭める事なく、非接触でキャリブレーショ ン無しに厚さ測定だけでなく、坪量と密度の測定も可能にしています。 T-Ray®5000コントロールユニットに接続すると、HXC51ynは各層の表面の詳細な反射測定を提供 します。 VRS搭載 オンラインEPGセンサヘッド (HXC53y2) HXC53y2オンラインEPGセンサヘッドの使用により、標準のHXC50ynオンラインセンサヘッドよ りも薄い層を測定できます。より高い帯域幅とより高いSN比により、EPGはテラヘルツによるプロ セス制御という、新しいアプリケーションを提供します。帯域幅が広く、S / N比が高いため、EPG はテラヘルツプロセス制御の新しいアプリケーションに利用できます。 T-Ray® 5000コントロールユニット（TCU）に接続すると、EPGは積層製品の詳細な片面測定が可能 になります。金属・複合基板及びフィルム上のコーティングは、10umまで測定することができ、 25umの埋め込み層も測定できます。 Class I Div 1 (CID1) 対応センサ (SCS500n) アプリケーションが爆発性環境にある場合、塗装ブースやコーティング施設などの可燃性雰囲気で 動作する事ができるT-Gauge防爆対応厚さ測定システム（SCS500n）があります。 送信機と受信機 は、密閉されたステンレス製筐体に安全・確実に取り付けられ、レンズは溶剤に耐えるようにテフロ ンコーティングされています。危険エリア内のすべてのコンポーネントはCID1基準を満たしています。 センサは、ロボットに取り付け可能で本質安全防爆になるように設計されています。 シングルポイントゲージ-Single Point Gauge (SPG500n) 可搬型コーティング測定又は、欠陥検出が必要となるアプリケーションの場合、SPG500nは25um までのコーティングに使いやすい機能を提供し、トリガを引くと最大3つの選択した測定値を画面に 表示できます。 シングルポイント及び連続測定モードが利用可能で、測定結果はUSBキーに自動的に記録できます。 ラインスキャンゲージ-Line Scan Gauge (LSG500n) LSGは、50.8mm又は76.2mmのラインに沿ってビームをスキャンする事により、可搬での実用 性を拡大し、テスト対象のリアルタイムの断面画像（bスキャン）を提供します。個々の波形を分 析して各層の測定値を提供し、個々のb-スキャン画像又はb-スキャンビデオを取得できます。 LSGは50umまでの層を測定できます。 T-RAY® 5000 シリーズ http://www.cornestech.co.jp ctl-inspection@cornes.jp / Sensors