非平衡プラズマの数値解析に優れたシミュレーションソフトウェア
◇『Particle-PLUS』の特徴
・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元)3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとしてカスタマイズも可能です
◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など
【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能
※詳しくはお気軽お問い合わせください
https://www.wavefront.co.jp/
MAIL:sales@wavefront.co.jp
このカタログについて
| ドキュメント名 | 粒子法プラズマ解析ソフトウェア 『Particle-PLUS』 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 710.2Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社ウェーブフロント (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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粒子法プラズマ解析ソフトウェア
Particle-PLUS
製品概要
『Particle-PLUS』は粒子法を用いた低圧プラズマ・希薄流体解析ソフトウェアで2D,3D両方の解析が可能です。
流体モデルでは計算できない低圧のプラズマシミュレーションが可能です。
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。
特徴
【特徴】
❖プラズマシミュレーション を行うための、複数のソフトウェアから成るパッケージ
❖粒子法で非平衡モデルを解くことで、低圧下や壁近傍での現象を精度良く解析
❖成膜プロセス等で重要となる 表面到達イオンのエネルギー分布や入射角度分布も算出
❖充実した技術サポート により、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方でも安心
【主な機能】
・時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな計算時間幅で安定に時間発展
を求めることが可能
・中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルでも複雑な反応過程を精度良く、計算速度も速い
・中性ガスモジュールでは、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
・マグネトロンスパッタ装置などにおいて、スパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
求める事ができ、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能
主な事例
軸対称高周波マグネトロンスパッタリング
スパッタ原子の密度 イオンエネルギースペクトル 電子密度分布 磁場分布 電位分布
分布と速度ベクトル
標的上イオン流束分布
3次元マグネトロンスパッタリング
電子数密度 (横断面) エロージョン分布 磁束密度 (縦断面)
円形ターゲットのスパッタリング
電子数密度 (縦断面)
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