残留ガス分圧計付真空計　Smart Vacuum Gauge SC-22

これ一台で真空度も気体成分も 測れます Smart Vacuum Gauge SC-22 （残留ガス分圧計付真空計） RGA（Q マス）の働かない荒引き真空でも気体成分計測、リークチェックができます コールドカソードゲージがベースなので、フィラメントが無くタフな環境でも使用できます Sm art Vacuum Gauge SC-22 は VISTA 株式会 社が開発した新方式の、残留ガス成 分と全圧（真空度）の両方を測れる自動真空 計です 。(略称 S Gauge) 全圧 真空度は組込みのワイドレンジ真空 計で大 気圧から超高真空まで測定ができ、 残留ガス成分の測定は約 50Pa 以下で自動 的に開 始されます。真空引きから大気開放ま での過 程で電源は常時 ON のままで OK。操 作は一 切不要です。PC にグラフ表示とデー タの記 録が出来ます。 従来のガス分析計（Q マス）が動作不可能 な荒引 圧力でも気体成分計測やリークチェッ クがで きます。 バーグラフ画面 トレンドグラフ画面 装置取付例 面倒な操作は不要 ポータブル 大気圧から全圧測定が行われ、成分計測は約 小さな S Gauge と PC（タブレットでも OK）を持ち歩 50Pa 以下で自動的に始まり、圧力が上昇すると自 けば、どこでも簡単に圧力測定、残留ガス計測、リ 動的 に停止しますので操作は不要です。 ークチェックが行えます。NW25 フランジで真空と接 バーグ ラフ、トレンドグラフで表示ができます。 続。フィールドサービスの道具としても利用可。 低真空でも残留ガス測定が可能 タフで汚れにも強い 約 50 Pa の低真空から残留ガス成分測定が可能。 フィラメントが無いので汚れにも強くフィラメントが切 Q マ スでは不可能な荒引中でも異常検出やリーク れる心配もありません。汚れてもユーザーご自身で チェッ クができます。封じ切り真空系でも測定可。 簡単に分解クリーニングができます。 www.vista-vac.com Vacuum Instruments for Science and Technology Applications

応用例 漏れが発生したため全圧 ■装置の異常を素早く検知 よりも２桁下で窒素、酸素 S Gauge で残留ガスの成分を監視し、リークや 分圧が上昇し始めたが全 全圧 水蒸気のガス放出など真空装置の健全状態を排 圧に変化はない 気の途中でいち早く知ることができます。 水蒸気 右図は真空度が約 1x10-1Pa に下がった時の分 圧測定の一例です。320sec を過ぎたあたりで窒素 酸素 や酸素分圧が上昇し始めたことからリークの発生 が分かりますが、全圧よりも 2 桁低い値なので全 窒素 アルゴン 圧では全く変化が見えません。 このように、真空計だけでは分からない小さなリ ークの発生も、S Gauge で監視していれば見逃す ことはありません。 ■簡単にリークチェック S Gauge ではヘリウムやアルゴンガスを吹き付 全圧 けてリーク箇所を探すこともできます。 窒素 右の図ではアルゴンを漏れ箇所に吹き付けたと きの気体成分の変化を S Gauge のトレンドグラフモ アルゴン ードで観測したものです。 アルゴンが漏れ箇所にあたると、アルゴン分圧 アルゴン吹き が立ち上がり(窒素ガスは減少)漏れ箇所が分かり リーク箇所にア 付け終了 ルゴン吹き付け ました。 リークを止めるとアルゴンが減り、全圧や窒素成 分も正常に下がり、水蒸気が主成分になりました。 さらに到達圧力を下げるには水蒸気のガス放出を 減らさなければならないことが分かります。 S Gauge の測定原理 S Gauge には全圧真空計であるコール ドカソードゲージが組み込まれています。 リークを止めた S Gauge はこの真空計の気体放電の色で 水蒸気 気体成分を見分けています。光の色（波 長）が気体によって異なることを利用して います。S Gauge のスペクトルモード画面 で気体成分の波長を見ることもできます。 気体成分測定部は大気圧側に設けて アルゴン ヘリウム あるので、真空内の気体で汚染されるこ ともなく、汚れに影響されない測定が可能 です。コールドカソードゲージはフィラメン トが無く丈夫で、ハードな用途に使用でき 窒素 酸素 ます。 放電の色 スペクトルモード画面 お問い合わせ 【販売代理店】 VISTA 株式会社 〒403-0005 山梨県富士吉田市上吉田 6-9-2 TEL:0555-23-0501 FAX:0555-72-8581 E-Mail: sales@vista-vac.com www.vista-vac.com Vacuum Instruments for Science and Technology Applications