プロセス酸素分析計　MKI-6

ＭＫＩ－６coming soon プロセス酸素分析計 ＭＫＩシリーズは、各種製造プロセスで酸化防止のために使われる不活性ガスの 酸素濃度監視に最適な分析計です。装置に供給されるガスだけでなく、装置内 の雰囲気も計測でき、お客様の製品・部品の品質確保や歩留まり向上に貢献し ます。 特徴 ● エアー校正が可能　校正用ガス不要 ● 微量の溶剤混入でもガス測定可能 ● レンジ設定 　４レンジ任意設定（０ - １０ｐｐｍ ～ ２．５%間） ● オートレンジ機能付き　従来品手動切替 ● 濃度アラーム機能・接点出力 ● ポンプ内蔵　 用途 設置例 酸素モニター 酸化防止雰囲気ガス（窒素など）の酸素モニター 炉 各種熱処理炉、窒素リフロー炉など 装置 ＵＶ装置、ＥＢ装置 研究開発 各種膜、フィルム処理の酸素濃度管理、グローブボックスなどの雰囲気制御

サンプルガス条件 測定ガス Ｎ 、Ａｒ ２ （注）次のようなガスが含まれている場合、酸素指示が正常に出ない可能性があります。 （ＣＯ、その他酸性ガス、可燃性ガス、ハロゲン化合物、 有機溶剤、半導体材料ガス　等） 測定ガス流量 ０．５ Ｌ／ｍiｎ．（規定範囲： ０．３ ～ １Ｌ／ｍiｎ．） 測定ガス圧力 大気圧（ｍａｘ．９．８ｋＰａＧ以下） 測定ガス温度 - ５ ～ ４５℃ 水分 Ｄｒｙ（- ６０℃　Ｄ．Ｐ．以下） ダスト 無し （フィルター等で除去） 仕様 測定原理 クラーク型ガルバニ電池式（隔膜式） 型式 ＭＫＩ－６ 測定レンジ ＣＡＬ（Ａｉｒ校正レンジ） 　レンジ ４　： １％（ ～ 2.5%） 　レンジ ３　： １，０００ｐｐｍ（ ～ ２，５００ｐｐｍ） 　レンジ ２　： １００ｐｐｍ（ ～ ２５０ｐｐｍ） 　レンジ １　： １０ｐｐｍ（ ～ ２５ｐｐｍ） 　※オートレンジ機能付き 　 （注）１０ｐｐｍレンジ設定の場合、諸条件あり 精度（再現性） ±３％ Ｆ．Ｓ． 応答速度 ２０秒以内（９０ %応答） ※時定数により変化 アナログ出力 ＤＣ ４ ー ２０ｍＡ、絶縁出力、最大負荷抵抗７５０Ω 接点出力 レンジ接点 接点容量：ＡＣ １２５Ｖ ／ ０．３Ａ、ＤＣ ３０Ｖ／ １Ａ 電源 マルチ電源：ＡＣ ８５ ～ ２６４Ｖ、５０／６０Ｈｚ 消費電力 約２０ＶＡ デジタル表示器 有効数字４桁、デジタルＬＥＤ ガス出入口継手 Ｒｃ１／８（メネジ） 周囲温度 ０ ～ ４０℃：レンジフルスケールが２０ｐｐｍ以上 ０ ～ ３０℃間で一定：レンジフルスケールが２０ｐｐｍ未満 寸法／重量 約３７６（Ｗ）× ３３０（Ｄ）× １７７（Ｈ）ｍｍ　／　６．５ｋｇ 日本エア・リキード株式会社 工業事業本部 ■ 分析機器部 ■ 筑波テクノロジーセンター 〒108-8509 東京都港区芝浦3-4-1 グランパークタワー 〒300-2635 茨城県つくば市東光台5-9-8 TEL : 03-6414-6751 FAX : 03-5232-4310 TEL : 029-847-9803 FAX : 029-847-8674