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銅エッチング液濃度制御装置 SEEDA-CU型

製品カタログ

銅膜のエッチング加工は、プリント基板や半導体・詠唱基板等の製造工程で幅広く採用

・エッチングの組成
1.酸化剤 無機系過酸化物、有機系過酸化物
2.酸化銅溶解剤 各種キレート剤系有機酸類、銅錯化機能を有する各種有機酸類
・「酸化剤と酸化銅溶解剤」を補給制御することで、加工液の更新頻度を大幅に延ばすことが可能である。

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このカタログについて

ドキュメント名 銅エッチング液濃度制御装置 SEEDA-CU型
ドキュメント種別 製品カタログ
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