膜の密着性改善・基板表面のクリーニングに最適
弊社が開発したイオンソースのISGシリーズは
膜のイオンアシストから基板の表面改質まで幅広くご使用頂けます。
ニュートラライザーを当社独自で改良し確実な着火と長時間の
安定放電を可能としており、
また、ISGシリーズは広いビーム照射範囲を持ち、
膜厚分布の均一性に長けています。
サイズはΦ130,180,230と用途に応じて選択可能です。
◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 【高出力・広範囲イオンソース】 ISGシリーズ |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 618.1Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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