基板表面のクリーニング、アッシング処理に！
φ4、φ6インチ基板への残渣除去、表面改質、アッシング
処理をするための装置です。
コンパクトな設計でウェハー2枚同時処理が可能です。
さらに自動搬送機構の搭載で基板の割れ防止、作業時間の削減を実現します！
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 【基板表面処理なら】プラズマクリーナー SPE-2136A |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 750.2Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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