蒸着、スパッタでは困難な高曲率レンズ、ボールレンズへの成膜に最適
ALD装置の新たなラインナップに光学に特化した装置 Genesis-ARが登場
複雑かつ3D形状に対応でき、低温(100℃以下)で均一にコーティングすることができます。
また、他にも
①従来の成膜技術では難しかったボールレンズ、高曲率レンズにも対応可能
②バッチ内、バッチ間膜厚分布に優れている
③熱に弱い樹脂基板などにも対応可能
などといった特徴がございます。
◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 【複雑かつ3D形状に対応】光学薄膜形成装置 Genesis-AR Series |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 589Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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