LED 光学多層DBR 膜形成用真空蒸着装置
Al膜を使ってLEDの発光効率を高める方法には、限界があります。
さらに、Al膜は、LEDに悪さをすることがあります。
熱変形による応力で、製品劣化の原因になることも。
そこで、DBR(誘電体多層膜ミラー)膜の出番。
熱変形による劣化が少なくて済み、
Al膜よりもLEDの発光効率を無理なく高めることができます。
Sapio DBRは、そんなLED の発光効率を
高めるDBR膜の成膜に最適な装置です。
1バッチあたりのΦ2インチウエハーの処理数は400枚、
Φ4インチウエハーの処理数は110枚。
高い量産性能を持っております。
また、膜厚の再現性にも優れており、
膜厚分布±1.5%以内の実績がございます。
条件によってはバッチ間の保証も可能です。
その他、気になる点がございましたら、
お気軽にお問い合わせくださいませ。
◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 【Al膜からDBR膜に移行するなら】Sapio-DBR |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 417.3Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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