真空ポンプには適材適所がある
真空装置には真空ポンプが搭載されています。
稼働させることで装置内を真空状態にできます。
このような機能を持つ真空ポンプですが、
実は油回転ポンプ・ドライポンプ・ターボ分子ポンプ・クライオポンプなど
様々な種類があります。
そしてポンプそれぞれに長所と短所があり、
装置の用途によって選び分ける必要があります。
そこで、今回は真空ポンプの特徴について紹介致します。
装置を選定する際の一助にしていただければと思います。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 真空ポンプについての基礎知識 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | ハンドブック |
| ファイルサイズ | 921.3Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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真空ポンプについての基礎知識
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はじめに
真空装置において、とても重要な役割を果たしているのが、
真空ポンプです。真空ポンプは真空状態を作り出す、
重要な部品です。しかしながら、どれを使っても良いという
わけではなく、用途によって使い分ける必要があります。
今回は、そんな真空ポンプの特徴についてご紹介いたします。
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真空とは
真空とは、
通常の圧力より低い圧力の
気体で満たされた空間の状態
(JIS Z 8126-1 真空技術 – 用語 – 第1部：一般用語より)
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真空ポンプとは
そのため真空ポンプは、
真空を作るためのポンプと言うより、
空間から気体を除去する機能を持つポンプ
と言う方が適切です。
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真空ポンプの種類
気体輸送式ポンプ
→ 気体を排出するポンプ
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真空ポンプの種類
気体輸送式ポンプ
→ 気体を排出するポンプ
例) 油回転ポンプ 油拡散ポンプ
ルーツポンプ ターボ分子ポンプ
ドライポンプ
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真空ポンプの種類
ため込み式ポンプ
→ 気体をため込むポンプ
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真空ポンプの種類
ため込み式ポンプ
→ 気体をため込むポンプ
例) ソープションポンプ
スパッタイオンポンプ
ゲッタポンプ クライオポンプ
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真空ポンプの動作圧力
出典：第25回真空基礎講習会 真空ウォーキングコース(一般社団法人 日本真空工業会)
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代表的なポンプの特徴
油回転ポンプ
単独で大気圧から中真空領域まで作動するポンプ。
大気圧から作動できないポンプと組み合わせて、
補助ポンプとして使われることも多い。
1
動作範囲：大気圧 ～ 10 Pa
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代表的なポンプの特徴
油回転ポンプ
主に3つのタイプがある。
回転翼形 揺動ピストン形 カム形
出典：https://ulvac-kiko.com/support/pump06_oil_rotary.html
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代表的なポンプの特徴
油回転ポンプ
長所 短所
・安価、コンパクトで ・真空ポンプのオイルの
据付が簡単。 取り扱いが煩雑。
・10Paの真空が簡単に
得られる。
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代表的なポンプの特徴
ドライポンプ
内部通路に一切油を使用しないポンプ。
接ガス部に油を使用していないため、クリーンな真空を得る
ことができる。
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動作範囲：大気圧 ～ 10 Pa
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代表的なポンプの特徴
ドライポンプ
複数のタイプがある。今回はその一例をご紹介。
スクロール型 揺動ピストン型 カム形
出典：https://ulvac- 出典：https://ulvac- 出典：https://ulvac-
kiko.com/support/pump04_scroll.html kiko.com/support/pump02_rocking_piston.html kiko.com/support/pump03_rotary.html
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代表的なポンプの特徴
ドライポンプ
長所 短所
・油を使用しないため、 ・物によっては、
クリーンな真空を得られる。 内部部品が摩耗しやすい。
・油を使うポンプより、
メンテナンスが容易。
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代表的なポンプの特徴
メカニカルブースターポンプ
排気速度を飛躍的に増大させる働きをもったポンプ。
油回転ポンプ、ドライポンプなど他のポンプと組み合わせて
使い、排気速度が落ちる圧力領域の排気速度を高められる。
3 -1
動作範囲：10 ～ 10 Pa
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代表的なポンプの特徴
メカニカルブースターポンプ
内部にある2個のロータが、駆動
ギアにより互いに反対方向に回転。
気体は、ロータとケーシング間に
閉じ込められ、ロータの回転で
排気口から排出される。
出典：https://ulvac-
kiko.com/support/pump07_mechanical.html
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代表的なポンプの特徴
メカニカルブースターポンプ
長所 短所
3 -1
・10 Pa～10 Paでの ・単体では大気圧から
排気速度を飛躍的に 作動できない。
向上させられる。
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代表的なポンプの特徴
油拡散ポンプ
油蒸気のジェット噴射を利用して気体分子に運動量を与え、
排気側に移送して排気するポンプ。単独での使用はできず、
補助ポンプとして油回転ポンプ等との併用が必要。
-1 -6
動作範囲：10 ～ 10 Pa
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代表的なポンプの特徴
油拡散ポンプ
本体底部にある油がヒーターに
より加熱され蒸気となる。蒸気が
ジェット部より超音速で噴射する
ことで、気体は押し込まれ排気口
へと運ばれる。
出典：https://ulvac-
kiko.com/support/pump08_defujon.html
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