二種類の膜を両面に成膜可能
仕込室にトレーをセットすれば後は全自動で成膜！！
トレーを複数搭載可能なので大気開放する必要もなく金属膜、または
酸化膜(オプション)を一気に成膜します。
トレー内・トレー間分布が±1.5%以下、高使用効率カソード搭載、
ラック&ピニオン方式採用の当社ベストセラー装置です。
また、サイズもコンパクトなので(W1200×D2500×H1440)
量産用だけでなく試作・研究開発用にもご使用頂けます。
◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 【両面成膜が可能なロードロック式スパッタ装置】 SPH-2500-Ⅱ型 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1.4Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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