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ガラス基板、樹脂基板などへ反射防止膜、BPF、LPF、コールドミラー、UV/IRカットなどの成膜に最適
20バッチ連続で成膜を実施しても乱れない再現性。
真空槽が汚れていても、
特性に限らず安定した膜質を得る事ができます。
◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
このカタログについて
ドキュメント名 | 【安定した膜厚と低パーティクル】 光学薄膜用蒸着装置 Sapio1300/1550 |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 633Kb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |